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公开(公告)号：CN101317138A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200580051779.9
申请日：2005-10-06
申请人： 西北大学
发明人： 加金德拉·谢卡瓦特 , 维纳亚克·P.·德拉维
IPC分类号： G03H3/00
CPC分类号： G03H3/00 , G01N29/0663 , G01N29/0681 , G01N29/069 , G01N2203/0075 , G01N2203/0094 , G01N2291/012 , G01N2291/014 , G01N2291/0232 , G01N2291/02491 , G01N2291/02827 , G01N2291/0427 , G01Q60/32
摘要： 一种对样品表面采用扫描近场超声波全息术(47)方法以对其弹性和黏弹性变化成像的高空间分辨率相敏技术。扫描近场超声波全息术(47)使用近场方法来测量样品表面(12)超声振动的时间分辨变化。因其去掉了传统的相位分辨声学显微镜(如全息)所需要的远场声学镜头而克服了其空间分辨率限制。
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公开(公告)号：CN108956778A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810878866.0
申请日：2018-08-03
申请人： 德淮半导体有限公司
CPC分类号： G01N29/0681 , G01N29/22
摘要： 本发明技术方案公开了一种超声波扫描显微镜水处理装置、及其使用方法。其中超声波扫描显微镜水处理装置，包括：密闭腔室；入水口，与所述密闭腔室连通，用于将水引入所述密闭腔室内；抽气口，与所述密闭腔室连通，用于将所述密闭腔室抽成低于大气压；出水口，与所述密闭腔室连通，用于将处理后的水输出。本发明技术方案采用水处理装置通过改变压强将水中的空气消除，从而消除在超声波扫描显微镜的超声探头高速移动时产生的气泡，有效地提高了机台的扫描速度及检测效率。
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公开(公告)号：CN107850580A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680033891.8
申请日：2016-06-15
申请人： 索克普拉科学与工程公司
CPC分类号： G01N29/28 , G01N29/0681 , G01N29/221 , G01N29/223 , G01S15/8943 , G10K11/02 , G10K11/357
摘要： 本发明提供了一种用于扫描样本的声学显微镜，所述声学显微镜包括：脉冲发射器，所述脉冲发射器用于生成第一声学脉冲并且沿着传播方向传播所述第一声学脉冲；可旋转镜，所述可旋转镜用于偏转所述第一声学脉冲，所述可旋转镜可围绕基本上正交于所述传播方向的旋转轴线而旋转；声学透镜，所述声学透镜用于将所偏转的第一声学脉冲聚焦在所述样本中并且将由所述样本反射的第二声学脉冲朝向所述可旋转镜传播，所述第二声学脉冲被所述可旋转镜所偏转；脉冲检测器，所述脉冲检测器用于检测所偏转的第二声学脉冲；发射器控制器，所述发射器控制器用于控制所述脉冲发送器并且依据所述可旋转镜的相应的角位置而发出所述第一声学脉冲中的每一者；以及镜控制器，所述镜控制器用于旋转所述可旋转镜，以便沿着扫描方向扫描所述样本。
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公开(公告)号：CN102741650B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201180007676.8
申请日：2011-01-24
申请人： SOITEC公司
CPC分类号： G01B17/06 , G01B21/32 , G01N29/0681 , G01N2291/2697 , G03F7/70616 , G03F7/70633
摘要： 本发明涉及用于估算第一晶片（110）中的非均匀变形的方法，第一晶片通过分子附着力键合至第二晶片（120）。本发明方法包括对多个测量点进行记录的步骤，每一个测量点在局部上表示第一晶片的表面的水平；对第一晶片中经过多个测量点的表面轮廓进行限定的步骤；对第一晶片的表面轮廓进行处理以由此确定特征值的步骤；以及根据特征值对第一晶片中非均匀变形水平进行估算的步骤。本发明还包括能够估算该非均匀变形的装置（147）。
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公开(公告)号：CN101918811B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN200880123561.3
申请日：2008-10-24
申请人： 圣路易斯华盛顿大学
IPC分类号： G01N21/00 , G01N29/00 , G02B27/30 , A61B8/00 , A61B5/1455
CPC分类号： A61B5/0095 , A61B5/0059 , A61B5/0068 , A61B5/0082 , A61B5/02007 , A61B5/14542 , A61B5/14546 , A61B5/444 , A61B5/4848 , A61B8/485 , A61B2090/306 , G01N21/1702 , G01N29/0681 , G01N29/2418 , G01N2291/02836 , G01N2291/02872 , G02B21/0028 , G02B21/008
摘要： 一种共焦光声显微镜系统包括配置成发射光脉冲的激光器、配置成接收光脉冲并且将光脉冲聚焦至对象内的区域中的聚焦组件、配置成接收由对象响应于光脉冲而发射的声波的超声换能器和配置成处理声波并且产生在对象内的区域的图像的电子系统。聚焦组件进一步配置成采用这样的方式将光脉冲聚焦在对象上使得聚焦组件的焦点与至少一个超声换能器的焦点一致。
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公开(公告)号：CN102741650A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201180007676.8
申请日：2011-01-24
申请人： SOITEC公司
CPC分类号： G01B17/06 , G01B21/32 , G01N29/0681 , G01N2291/2697 , G03F7/70616 , G03F7/70633
摘要： 本发明涉及用于估算第一晶片（110）中的非均匀变形的方法，第一晶片通过分子附着力键合至第二晶片（120）。本发明方法包括对多个测量点进行记录的步骤，每一个测量点在局部上表示第一晶片的表面的水平；对第一晶片中经过多个测量点的表面轮廓进行限定的步骤；对第一晶片的表面轮廓进行处理以由此确定特征值的步骤；以及根据特征值对第一晶片中非均匀变形水平进行估算的步骤。本发明还包括能够估算该非均匀变形的装置（147）。
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公开(公告)号：CN105848587B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201480070297.7
申请日：2014-12-11
申请人： 奥林巴斯株式会社
发明人： 村山义彰
CPC分类号： G01N29/0681 , A61B5/0095 , G01N29/032 , G01N29/2418 , G01N29/44 , G01N29/4427 , G01N2291/02483 , G01N2291/0289 , G01N2291/263
摘要： 光声显微镜(10)具有光源(11)、物镜(13)、光扫描部(12)、光声波检测部(15)和计算部(19)。光源(11)射出激励光。物镜(13)使激励光会聚到标本内。光扫描部(12)通过激励光扫描标本。光声波检测部(15)检测光声波。计算部(19)通过相关系数，计算基准位置与计算对象位置的光声波的时间变化而引起的波形的偏差。计算部(19)基于偏差，对计算对象位置处的从基准位置起的深度进行计算。
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公开(公告)号：CN108020596A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201711070555.3
申请日：2017-11-03
申请人： SONIX公司
IPC分类号： G01N29/22
CPC分类号： G01N29/0681 , G01N29/223 , G01N2291/2697 , H01L21/6732 , H01L21/68714 , H01L21/68721
摘要： 一种用于保持样本来利用扫描声学显微镜检查的可调式夹具包括设置在框架的第一端上的第一水平杆和设置在框架的第二端上的第二水平杆。第二水平杆可与框架接合而可在框架的第一端与第二端之间移动。可调式夹具还可包括设置在框架的第一侧和第二侧中的一个或多个上的侧杆，其中第二水平杆的端部可沿侧杆滑动和锁定，以及将第二水平杆的端部可释放地联接到侧杆上的接合机构。
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公开(公告)号：CN106970151A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201710341918.6
申请日：2017-05-16
申请人： 长春工业大学
IPC分类号： G01N29/06 , G01N29/22 , G01N29/265
CPC分类号： G01N29/0681 , G01N29/226 , G01N29/265 , G01N2291/044 , G01N2291/267
摘要： 本发明涉及一种便携式平面搭接短焊缝的相控阵超声定量检测装置及方法，属于焊缝质量无损检测领域。工业计算机内置数据采集卡，并通过数据线分别与相控阵超声采集卡和电源控制模块相连；电源控制模块和相控阵超声采集卡分别与扫查器相连，对扫查器内部的相控阵超声探头发射和接收的信号进行数据采集和传输，电源控制模块对扫查器内部的步进电机进行驱动和起停控制，扫查器内置相控阵超声探头及步进电机，是超声信号的发射/接收/扫查的执行装置。优点在于：实现了用低成本的手持结构对焊缝内部缺陷的高精度全自动定量检测，并通过计算机拟合，形成数值和图像反馈。
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公开(公告)号：CN105849550A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201580003425.0
申请日：2015-01-07
申请人： 奥林巴斯株式会社
发明人： 福岛郁俊
CPC分类号： G01N29/2418 , A61B5/0095 , G01N29/0681 , G02B21/002 , G02B21/0028 , G02B21/0048 , G02B21/008 , G02B21/06 , G02B26/105
摘要： 光声显微镜装置(100)具有：光源(101)，其产生用于产生光声波的激励光；物镜(103)，其使激励光会聚到标本(S)上；扫描部(102)，其使标本(S)上的激励光的会聚位置移动；光声波检测部(202)，其具有检测所产生的光声波的传感器部(201)；以及图像构成部(251)，其基于来自光声波检测部(202)的数据，构成图像，在传感器部(201)中，能够接收入射到传感器部(201)的光声波的范围的角度比与物镜(103)的照明侧的数值孔径对应的角度大。
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