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公开(公告)号：CN100468519C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200410059318.3
申请日：2004-06-15
申请人： 日立环球储存科技荷兰有限公司
发明人： 丹尼尔·W.·贝德尔 , 理查德·萨伊奥 , 詹姆斯·D.·加拉特 , 帕特里克·R.·韦布 , 张思扬
CPC分类号： G11B5/313 , G11B5/3123 , G11B5/3163 , Y10T29/49021 , Y10T29/49032 , Y10T29/4906 , Y10T29/49064 , Y10T29/49073
摘要： 本发明提供一种制造磁头的线圈结构的系统和方法。最初淀积绝缘层，在绝缘层上淀积光致抗蚀剂层。此外，将硅电介质层淀积在光致抗蚀剂层上，作为硬掩模。接着，将硅电介质层遮蔽。随后，利用反应离子刻蚀(即，CF4/CHF3)在硅电介质层中形成多个沟槽。接着，使用硅电介质层作为硬掩模，利用，例如，H2/N2/CH3F/C2H4还原化学的反应离子刻蚀，将沟槽图案转移到光致抗蚀剂层上。为了得到具有所需纵横比的最优沟槽轮廓，沟槽形成包括形成第一角度的第一片段和形成第二角度的第二片段。此后，将导电种子层淀积在沟槽中，沟槽充满导电材料以形成线圈结构。接着，可以使用化学机械抛光使导电材料平面化。
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公开(公告)号：CN100466422C
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200410085203.1
申请日：2004-09-30
申请人： 通用电气公司
IPC分类号： H02K15/10
CPC分类号： H02K3/345 , H02K3/34 , Y10T29/49009 , Y10T29/49012 , Y10T29/49064 , Y10T29/49194
摘要： 一种绝缘定子汇流条(20)和将外部绝缘件(24)敷贴在一裸定子汇流条(22)上以限定该绝缘定子汇流条(20)的方法。该外部绝缘件(24)包围该裸汇流条(22)的外周面，并沿该汇流条(22)的纵向长度延伸。该外部绝缘件(24)包括至少一个挤压部件(26、28、126、226)，例如单个挤压部件(126、226)、两个单独的挤压部件(26、28)等，该至少一个挤压部件包含电绝缘材料(34)，该至少一个挤压部件(26、28、126、226)包括相对的平行于汇流条纵向长度的一对相对边缘(40、42、140、142、240、242)。这些边缘(40、42、140、142、240、242)被连接在一起，使得该至少一个挤压部件(26、28、126、226)完全包围汇流条(22)的外周面。
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公开(公告)号：CN1256718C
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN200410045258.X
申请日：2004-06-04
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
发明人： 矢泽久幸
IPC分类号： G11B5/31
CPC分类号： G11B5/33 , Y10T29/49032 , Y10T29/4906 , Y10T29/49064 , Y10T29/49146 , Y10T29/49155 , Y10T29/49162
摘要： 一种薄膜结构体及其制造方法，该薄膜结构体，在上层部(86)，侧边缘部(86a)比基底部(81)的侧边缘部(81b)向外侧伸出而形成延出部(86b)，线圈绝缘层(绝缘层)(57)也存在延出部(86b)的下方。由于在突起部(87)的延出部(86b)的下方也存在线圈绝缘层(绝缘层)(57)，所以突起部(87)的周围的机械强度提高。从而，在保护层(绝缘层)(61)不易生成裂纹，而提高导通连接结构的耐蚀性。因此，这种薄膜结构体，机械强度高，并能够用于导通连接。
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公开(公告)号：CN1604431A
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN200410085203.1
申请日：2004-09-30
申请人： 通用电气公司
IPC分类号： H02K15/10
CPC分类号： H02K3/345 , H02K3/34 , Y10T29/49009 , Y10T29/49012 , Y10T29/49064 , Y10T29/49194
摘要： 一种绝缘定子汇流条(20)和将外部绝缘件(24)敷贴在一裸定子汇流条(22)上以限定该绝缘定子汇流条(20)的方法。该外部绝缘件(24)包围该裸汇流条(22)的外周面，并沿该汇流条(22)的纵向长度延伸。该外部绝缘件(24)包括至少一个挤压部件(26、28、126、226)，例如单个挤压部件(126、226)、两个单独的挤压部件(26、28)等，该至少一个挤压部件包含电绝缘材料(34)，该至少一个挤压部件(26、28、126、226)包括相对的平行于汇流条纵向长度的一对相对边缘(40、42、140、142、240、242)。这些边缘(40、42、140、142、240、242)被连接在一起，使得该至少一个挤压部件(26、28、126、226)完全包围汇流条(22)的外周面。
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公开(公告)号：CN1573937A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410045258.X
申请日：2004-06-04
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
发明人： 矢泽久幸
IPC分类号： G11B5/31
CPC分类号： G11B5/33 , Y10T29/49032 , Y10T29/4906 , Y10T29/49064 , Y10T29/49146 , Y10T29/49155 , Y10T29/49162
摘要： 一种薄膜结构体及其制造方法，该薄膜结构体，在上层部(86)，侧边缘部(86a)比基底部(81)的侧边缘部(81b)向外侧伸出而形成延出部(86b)，线圈绝缘层(绝缘层)(57)也存在延出部(86b)的下方。由于在突起部(87)的延出部(86b)的下方也存在线圈绝缘层(绝缘层)(57)，所以突起部(87)的周围的机械强度提高。从而，在保护层(绝缘层)(61)不易生成裂纹，而提高导通连接结构的耐蚀性。因此，这种薄膜结构体，机械强度高，并能够用于导通连接。
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公开(公告)号：CN1151063A
公开(公告)日：1997-06-04
申请号：CN95117557.2
申请日：1995-11-29
申请人： 汤姆森多媒体公司
发明人： 弗朗索瓦·莫里斯 , 让-马尔克·古特里埃 , 弗朗索瓦-夏维埃·皮罗
IPC分类号： G11B5/00
CPC分类号： G11B5/127 , G11B5/17 , G11B5/3103 , G11B5/313 , G11B5/3183 , G11B5/4969 , Y10T29/49044 , Y10T29/49064 , Y10T29/49066
摘要： 制造磁记录/读出磁头的方法包括下列步骤：在具有第一面及与该第一面对立的第二面的衬底的第一面上或该面中制做励磁线圈；在该衬底的第一面或第二面上制做至少两个由一气隙隔开的磁极；从与载有磁极的一面相对立的面上通过衬底钻出孔腔，使孔腔及磁极的底部之间可形成磁连接—在孔腔中及位于孔腔之间的衬底区域中沉积一层高磁导率材料。用于磁带录象机，计算机外围设备及专业记录机器的磁记录/读出磁头的制做。
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公开(公告)号：CN1004035B
公开(公告)日：1989-04-26
申请号：CN87100502
申请日：1987-01-27
申请人： 株式会社日立制作所
IPC分类号： G11B5/31
CPC分类号： G11B5/17 , G11B5/31 , Y10T29/49044 , Y10T29/49062 , Y10T29/49064
摘要： 一种薄膜磁头，在其由第一和第二磁层构成的磁路中，带有两层导体层。该磁路在其与录制介质相对的一侧，有着第一和第二磁层在基本等于缝隙深度的长度上相互对应的部分，而非磁性缝隙层插入其间，另外还有着上述两磁层相互连接的前部。缝隙层的边缘构成了磁路的缝隙。如上配置的薄膜磁头可在不减少其生产量的情况下实现高密度录制。
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