公开(公告)号：CN101325227A

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200810040632.5

申请日：2008-07-16

Applicant: 上海大学

Inventor： 王林军 ,  赖建明 ,  黄健 ,  唐可 ,  管玉兰 ,  夏义本

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种ZnO/纳米金刚石薄膜紫外光探测器制备方法，属纳米无机化合物能源材料制造工艺技术领域。该方法是将ZnO薄膜以磁控溅射法沉积在纳米金刚石薄膜上，以高纯ZnO陶瓷靶为溅射靶材，通入氩气，调节流量为40标准毫升/分；调节反应气压为0.3Pa；溅射功率300W；溅射时间1.5小时；采用了剥落光刻技术在高度定向的ZnO薄膜表面实现微米级的叉指电极，制备共面栅ZnO/纳米金刚石薄膜共面栅紫外光探测器。

公开(公告)号：CN101310812A

公开(公告)日：2008-11-26

申请号：CN200810033866.7

申请日：2008-02-26

Applicant: 上海大学

Inventor： 史伟民 ,  王林军 ,  张瑜 ,  郑耀明 ,  郭余英

IPC: B01D7/00

Abstract: 本发明涉及一种真空升华提纯方法及装置，属物理气相沉积技术领域。该提纯过程采用两步真空升华工艺，第一次升华温度控制在有机材料升华点以下30～40℃，为进一步去除杂质，须采用第二次低温真空升华；第二次升华温度控制在有机材料升华点以下80～100℃。本发明的装置主要包括有具有沉积腔体的玻璃容器、加热炉、真空抽气系统、温度控制系统，其结构简单，易于操作，可重复使用；适合于有机材料的提纯。

公开(公告)号：CN101235485A

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN200810034108.7

申请日：2008-02-29

Applicant: 上海大学

Inventor： 胡广 ,  祝雪丰 ,  王林军 ,  黄健 ,  徐金勇 ,  夏义本

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/02 ,  C23C16/52 ,  C23C16/56

Abstract: 本发明涉及一种纳米金刚石薄膜窗口的制备方法，属化学气相沉积工艺及激光窗口材料制作技术领域。本发明通过对热丝化学气相沉积工艺的改进，采用了负偏压来增强金刚石薄膜在生长过程中的气相沉积；在钽丝和硅片底座之间施加上负偏压。高温电离的等离子体(主要是H+)。在电压作用下，向硅衬底的轰击大大加强，因而提高了硅衬底上金刚石核的成核密度和均匀化，从而降低薄膜的表面粗糙度，减少膜表面光的散射和反射，进而提高了膜表面对光的透过率。另外，通过采用氢气刻蚀和退火处理，减少了金刚石薄膜的石墨含量，大大提高了金刚石薄膜的光透过率，符合作为激光窗口材料的要求。

公开(公告)号：CN1928151A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200610029240.X

申请日：2006-07-21

Applicant: 上海大学

Inventor： 王林军 ,  夏义本 ,  赵平 ,  刘健敏 ,  苏青峰

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/02 ,  C23C16/50 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明涉及一种厚度可控的三层式金刚石薄膜的制备方法，属无机非金属材料化学气相沉积工艺技术领域。本发明主要解决金刚石薄膜粗糙度与厚度之间的矛盾，采用现有的热丝化学气相沉积实验装置，调节控制碳源浓度、沉积温度、反应气压、施加偏压等参数，在硅片上沉积三层式金刚石薄膜。本发明方法可直接得到厚度大且非常平整的金刚石膜，因而不需要对该薄膜进行后期抛光处理。

公开(公告)号：CN1286351C

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN200410016257.2

申请日：2004-02-12

Applicant: 上海大学

Inventor： 王林军 ,  夏义本 ,  张明龙 ,  汪琳 ,  杨莹

IPC: H05K1/03 ,  C23C16/27

Abstract: 本发明涉及一种微条气体室探测器基板的制造方法，它是采用热丝化学气相沉积法由硅基片上沉积CVD金刚石膜而制成。先对n型(100)单晶硅基片预处理，然后放入热丝化学气相沉积装置的真空反应室中充入反应气体乙醇和氢气，经氢等离子体清洗、碳化、偏压增强成核、生长四个过程制得基板毛胚，再经激光法抛光和清洁处理而制得。本发明通过控制金刚石晶粒的择优生长和采用激光抛光法两种途径获得高质量、低表面粗糙度的金刚石薄膜基板，可克服目前探测器电荷积累效应大和基板不稳定性，是一种理想的微条气体室探测器基板。本发明制作工艺简单、成本低廉、实用性强和无毒无害。

公开(公告)号：CN1265210C

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN200310109274.6

申请日：2003-12-11

Applicant: 上海大学

Inventor： 王林军 ,  夏义本 ,  沈沪江 ,  张明龙

IPC: G01T1/24

Abstract: 本发明涉及一种以硅片上定向生长[100]晶面金刚石薄膜为基体材料制成的微条粒子探测器及其制备方法。本发明的微条粒子探测器，包括衬底及其表面涂层以及顶电极和背电极，衬底采用[100]硅片；在该衬底的上表面是[100]定向的金刚石薄膜涂层；在金刚石薄膜涂层的表面是顶电极，顶电极由铬金复合而成，并经光刻处理成条宽和间距均为25μm的微条电极，每条微条电极有镁铝丝引线引出；衬底的下表面是背电极，该背电极也是铬金复合电极。本发明的探测器的制备方法包括如下步骤：氢等离子原位刻蚀、硅表面渗碳、成核过程、金刚石表面生长过程和表面蒸镀铬金复合电极。本发明以硅片上定向生长[100]金刚石薄膜来制备粒子探测器，解决了任意取向多晶金刚石薄膜综合性能差的问题，同时解决了采用探测器级天然金刚石而造成的价格昂贵的问题，降低了生产成本，有利于工业化生产。因而具有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN222182384U

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202420211657.1

申请日：2024-01-29

Applicant: 河北龙凤山辰昕新材料科技有限公司 ,  上海大学(浙江)高端装备基础件材料研究院

Inventor： 徐闰 ,  白佳鑫 ,  邢振国 ,  董瀚 ,  李建民 ,  陈景锋 ,  王林军 ,  郝建锋 ,  徐飞 ,  李道明 ,  闫文凯

IPC: C22B9/04 ,  C22B9/21

Abstract: 一种用于金属表面清洗的真空预处理传输装置，能够通过高压电弧对区熔样件金属棒材进行等离子表面清洗，从而使得被提纯金属表面洁净度大大提高，其特征在于，包括真空预处理腔体，所述真空预处理腔体的上腔盖具有观察窗，所述真空预处理腔体的后侧面与分子泵连接，所述真空预处理腔体内设置有高压电弧放电装置以对待真空区熔金属棒材表面进行等离子清洗，所述真空预处理腔体的底侧面设置有为所述高压电弧放电装置接入电源的电极，所述真空预处理腔体的右侧面通过送样杆法兰连接磁力送样杆，所述真空预处理腔体的左侧面设置有用于连接超高真空区熔工艺室的传输口法兰。

公开(公告)号：CN203359299U

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201320392777.8

申请日：2013-07-03

Applicant: 上海大学

Inventor： 廉斯荻 ,  王林军 ,  陆凯 ,  朱悦 ,  陶超 ,  吴杰

IPC: B65F1/00 ,  B65F1/14

CPC classification number: Y02W30/10

Abstract: 本实用新型公开了一种与智能压缩垃圾箱配套使用的垃圾内桶装置，垃圾内桶的桶身为直筒式，在垃圾内桶的内侧壁上设有向内突起的一系列并列的侧壁肋条，各侧壁肋条的延伸方向相互平行，各侧壁肋条的始末端分别位于垃圾内桶的桶口上缘和桶底位置处，任意相邻的侧壁肋条之间形成流体通道，并且提供了蓄积液体的空间。本实用新型垃圾内桶的强度高，在垃圾桶底部和侧壁上的肋条，可以使垃圾桶桶底部分垃圾无法被压实，既方便倾倒，又可在底部留出一定空间储存垃圾被压缩后分离出的液体，有效防止收集垃圾过程中发生二次污染，并易于与智能压缩垃圾箱和机动转运车辆配合使用，安全，耐用，使用简便，垃圾收集效果好，基本不增加成本，提高生活的质量。