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公开(公告)号:CN113120854B
公开(公告)日:2024-01-23
申请号:CN202110235018.X
申请日:2021-03-03
Applicant: 复旦大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列,PMUT单元包括依次叠层的基底(1)、电隔离层(2)、下电极(3)、压电层(4)、上电极从其底部沿轴向向上开设有一盲孔式空腔形成背腔,所述的背腔中填充背衬材料(8)。PMUT阵列包括若干按行列依次排列的PMUT单元。与现有技术相比,本发明背衬结构可以将PMUT阵列带宽提高一倍以上,并且同时满足相控阵对单元间距的要求。(5)、钝化层(6)和引线层(7),所述的基底(1)上
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公开(公告)号:CN116764922A
公开(公告)日:2023-09-19
申请号:CN202310564462.5
申请日:2023-05-18
Applicant: 复旦大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明属于微机电技术领域,具体为一种平面式双压电材料驱动的微机械超声换能器。本发明微机械超声换能器由换能器单元经延拓组成的二维结构;换能器单元结构包括双压电叠层、中性层、空腔和衬底;双压电叠层包含内外两个压电叠层,第一个压电叠层包括圆形上电极层、圆形压电层与底电极层,第二个压电叠层包括环形上电极层、环形压电层与底电极层;中性层在双压电叠层下方,为后者提供支撑作用;空腔为复合薄膜提供振动空间;衬底与空腔的结构互补,为整体结构提供固定支撑作用;本发明具有双压电叠层的换能器单元,弥补采用单一压电材料的传统器件的发射或接收性能短板,提高换能器的发射—接收环路灵敏度,提升其回波超声成像的质量。
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公开(公告)号:CN111541425B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN202010281221.6
申请日:2020-04-11
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于电子技术领域,具体为一种基于耦合传输线的阻抗匹配电路。本发明阻抗匹配电路包括:一对差分耦合传输线,用于实现差分源阻抗与差分负载阻抗之间的阻抗匹配;初级并联电容,用于调整所述阻抗匹配电路初级的品质因数;次级并联电容,用于调整所述阻抗匹配电路次级的品质因数;初级馈电传输线,用于所述阻抗匹配电路初级的直流馈电;次级馈电传输线,用于所述阻抗匹配电路次级的直流馈电。本发明用极小的尺寸同时实现了射频功率放大器的阻抗匹配、直流馈电与直流隔离,并可以通过调整所述初级并联电容与所述次级并联电容的数值调整所述阻抗匹配电路的工作带宽。
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公开(公告)号:CN115314049A
公开(公告)日:2022-11-08
申请号:CN202210809385.0
申请日:2022-07-10
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种基于电压抬升技术的全摆幅输入电压时间转换器。本发明电压时间转换电路由差分结构组成,包括工作方式和电路连接完全相同的两个单端电路:P端和N端;每个单端结构包括:电压抬升采样模块、放电电流源、阈值电压检测模块;电压输入信号VinP和VinN依次经过级联的电压抬升采样模块、放电电流源和阈值电压检测模块,最终产生时间输出信号start和stop;本发明通过前端的电压抬升采样模块,将输入信号整体向上进行电平移位,保证电流镜中的晶体管在放电过程中始终处于饱和区范围,可以将输入信号摆幅扩宽至全摆幅,大大提高了电压时间转换器的线性度和输出时间范围。
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公开(公告)号:CN115055356A
公开(公告)日:2022-09-16
申请号:CN202210658442.X
申请日:2022-06-10
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微机电技术领域,具体为一种具有环状压电层的微机械超声换能器。本发明换能器是由换能器单元延拓形成的二维阵列;换能器单元包括压电环、复合薄膜、电容腔体和衬底;压电环包含电极层与压电层;复合薄膜包括电极层和中性层;衬底中间部分为中空圆柱形腔体,底部为电极层,中空腔体和电极层形成电容腔体;复合薄膜中的电极层和压电环中的电极层构成电极对,通过施加直流偏置电压以及交流耦合信号,对压电层的形态进行静态和动态的控制与激励;复合薄膜中的电极层与电容腔体中的电极层构成静电力驱动所需的电极对,通过施加直流偏置电压以及交流耦合信号,对复合薄膜的形态进行静态和动态的控制与激励。本发明可实现高性能超声信号收发。
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公开(公告)号:CN111865344B
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN202010577618.X
申请日:2020-06-23
Applicant: 复旦大学
IPC: H04B1/16
Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种可变增益和带宽的模拟基带电路。本发明的模拟基带电路包括带宽可调的低通滤波器、可变增益放大器;低通滤波器为五阶切比雪夫Ⅰ型低通滤波器,由一个一阶RC低通滤波器和两个双二次结构组成,置于前级,用于将由混频器输出的信号进行滤波和放大,并提供20dB的恒定增益,通过调节电容值控制低通滤波器的带宽;可变增益放大器共有两级,每级结构相同,置于后级,用于将由低通滤波器输出的信号进行放大,提供从0到18dB的可变增益;每一可变增益放大器的带宽大于前级低通滤波器可调带宽的最大值,以保证系统能够正常工作。本发明模拟基带电路具有带宽宽、增益调节精确、噪声低、功耗小的特点。
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公开(公告)号:CN108809310B
公开(公告)日:2021-03-30
申请号:CN201810598726.8
申请日:2018-06-12
Applicant: 复旦大学
IPC: H03M1/12
Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种无源基于时间交织SAR ADC的带通Delta‑Sigma调制器。其包括一个两路时间交织的SAR ADC;其整体结构为一个两通道的调制器结构,其每一路结构中包括一对差分的噪声整形模块;每一路的SAR ADC中的DAC阵列采用MOM电容,由511个单位电容组成,拥有9比特的输出精度;每一路通道的SAR ADC中还包括一个四输入比较器和逐次逼近的逻辑电路。本发明的调制器将通带从低频转移到了四分之一采样频率处,在需要特定频带的应用的模数转换中,由于采用了SAR ADC的基础结构且用了无源的滤波器结构,大大减小了电路的速度开支和功耗开支。
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公开(公告)号:CN112104372A
公开(公告)日:2020-12-18
申请号:CN202010865758.7
申请日:2020-08-25
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种应用于高速高精度模数转换器中的参考电压缓冲器。本发明提供的参考电压缓冲器包括运算放大器和源级跟随器组成的低速反馈环路,NMOS和PMOS两类源级跟随器组成的开环支路,用于提高参考电压变化响应速度的交叉耦合电容以及衬底调制技术,能够实现比传统方案更快的响应速度。在模数转换器中,参考电压由参考电压缓冲器提供,向负载电容充电或放电。高速高精度模数转换器需要参考电压缓冲器在每次负载电容发生翻转时,对参考电压的变化能够快速响应,并且建立更高的精度。
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公开(公告)号:CN112104365A
公开(公告)日:2020-12-18
申请号:CN202010865738.X
申请日:2020-08-25
Applicant: 复旦大学
IPC: H03M1/12
Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种应用于高速高精度模数转换器中的余量放大器。本发明的余量放大器,以CMOS晶体管作为输入对,采用NMOS和PMOS翻转电压源级跟随器跨导单元相结合的方式来提高传统开环结构的余量放大器的线性度和电流效率;采用不完全建立的工作模式避免开环结构的余量放大器的带宽要求;通过设置开关晶体管,使其工作在动态模式下;通过设置增益调整单元,以克服余量放大器的跨导受到温度、工艺、电源电压波动的影响;本发明可显著降低集成模数转换器余量放大器的功耗。
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公开(公告)号:CN111578969A
公开(公告)日:2020-08-25
申请号:CN202010281707.X
申请日:2020-04-11
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于集成电路技术领域,具体为一种柔性皮肤刺激器。本发明柔性皮肤刺激器包括:由若干刺激单元构成的刺激阵列,输出信号直接作用于受体,同时将信号传递给运算存储终端,控制刺激阵列的栅极偏置电压输入的控制电路;运算存储终端,其输出端与控制电路相连,用以存储读入的信号并反馈给控制电路。本发明通过刺激阵列与受体接触,将触觉信息转化为受体可分辨的电学信号,实现人工触觉信息的精确传导,控制电路依据运算存储终端的反馈信号实现智能调谐的功能,兼具智能调谐、高灵敏度和柔性便携的优势。本发明解决了传统皮肤刺激器体积过大且不具备柔性的问题,将触觉信息传导给皮肤,起到人工触觉的效果,可用于医学诊疗、电子皮肤等多个领域。
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