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公开(公告)号:CN117858360A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202410065655.0
申请日:2024-01-16
Applicant: 张江国家实验室
Abstract: 本公开提供一种基于嵌段共聚物导向自组装技术的膜厚调节方法、图案制备方法及引导模板,能够解决稀疏/密集区域刻蚀负载效应的问题。该膜厚调节方法包括以下步骤:在引导模板上制作主图形,主图形包括多个模板孔;根据多个模板孔的分布,在引导模板上的模板孔以外的区域制作引流结构;在衬底上形成薄膜结构来制备基底;将引导模板上的主图形及引流结构图形转移至基底;以及在基底上旋涂嵌段共聚物的溶液,使嵌段共聚物填充在转移至基底上的多个模板孔和引流结构中。
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公开(公告)号:CN117809711A
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN202410089674.7
申请日:2024-01-22
Applicant: 张江国家实验室
IPC: G11C13/00
Abstract: 本发明提供一种存储器的读取电路,包括:参考电阻;开关模块,该开关模块的一侧与所述参考电阻及所述存储器的可变电阻连接,用于对所述参考电阻及所述存储器的可变电阻与钳位模块之间的通断进行控制;钳位模块,该钳位模块的一侧与所述开关模块的另一侧连接,用于在预充电步骤中对该钳位模块与所述开关模块之间的节点的电压进行钳位;交叉耦合输出模块,该交叉耦合输出模块的一侧与所述钳位模块的另一侧连接,用于通过正反馈将所述预充电步骤中形成的差值电流转化成差值为电源电压的输出信号和反相输出信号;以及预充电模块,该预充电模块与所述交叉耦合输出模块的其他侧连接,用于对所述存储器的读取电路进行预充电。
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公开(公告)号:CN117683095A
公开(公告)日:2024-03-12
申请号:CN202211068677.X
申请日:2022-09-02
Abstract: 提供了一种蛋白与核酸连接的方法。具体提供了末端脱氧核苷酸转移酶与核酸化学连接的方法,包括但不限于使用SPDP进行偶联,其特征在于,包括以下步骤:S1,NH2修饰的DNA与SPDP连接得到SPDP修饰的DNA;S2,SPDP修饰的DNA与TdT进行化学键连接,得到TdT‑DNA复合物。S3,测定TdT‑DNA复合物的紫外吸收光谱,确定复合物具体浓度。
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公开(公告)号:CN116937303A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202210355679.0
申请日:2022-04-06
Applicant: 张江国家实验室
Abstract: 本发明涉及一种用于激光扫频的光电集成芯片和系统。该光电集成芯片包括:电光调制器,用于将从主激光器接收到的注入激光输出为多阶边带光谱信号;第一微环谐振腔,耦接至电光调制器并且用于对多阶边带光谱信号进行滤波以输出经滤波的边带光谱信号,经滤波的边带光谱信号包含目标边带;以及第二微环谐振腔,至少具有第一端口、第二端口和第三端口,第一端口耦接至第一微环谐振腔,其中第二微环谐振腔用于将经滤波的边带光谱信号经由第二端口输出至从激光器并且经由第二端口从从激光器接收目标激光以从第三端口输出目标激光,目标激光具有与注入激光的频率不同的频率而其线宽与注入激光的线宽一致。
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公开(公告)号:CN116937302A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202210319945.4
申请日:2022-03-29
Applicant: 张江国家实验室
Abstract: 本公开涉及激光领域,特别涉及一种延时分束透镜阵列、多束延迟泵浦光路装置、激光放大装置、多束延迟泵浦方法以及激光放大方法。其中,延时分束透镜阵列,包括至少两个子透镜,各子透镜的焦距相同,至少两个子透镜之间具有不同厚度,所述延时分束透镜阵列由一块基材一体制造而成,或者由各所述子透镜相互固定连接构成,各所述子透镜的通光面不重叠。通过一体设置的延时分束透镜阵列,能够方便高效的实现分束和延时,调整光线的完美成像位置,提升光束传输质量,避免产生衍射调制,降低了光路复杂度。
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公开(公告)号:CN120068966A
公开(公告)日:2025-05-30
申请号:CN202311606747.7
申请日:2023-11-28
Applicant: 张江国家实验室
Abstract: 本发明提供一种集成光子放大功能的可扩展片上光电神经元芯片、模块及光子神经网络,其中,该芯片包括:前置光放大器,用于接收光信号并对光信号进行光放大;以及乘加单元,用于对前置光放大器输出的放大光信号进行乘加运算,并输出运算结果,乘加单元包括:第一分光器,用于将放大光信号分成第一光信号和第二光信号,其中,第一光信号输入到多个进行乘加运算的乘法支路,第二光信号作为参考光信号输入到参考支路;第一合束器,用于将乘法支路的输出信号与参考支路的输出信号合并作为运算结果,在参考支路中设有中间光放大器,用于对第二光信号进行光放大。
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公开(公告)号:CN120033520A
公开(公告)日:2025-05-23
申请号:CN202510173357.8
申请日:2025-02-17
Applicant: 中国科学院上海高等研究院 , 张江国家实验室
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明提供一种谐振腔型极紫外自由电子激光器的辐射引出装置,其特征在于,包括分布在谐振腔的主轴的其中一侧的一个或多个第一反射镜,所述第一反射镜设置为接收谐振腔内的辐射光束的一部分,至少通过第一反射镜对谐振腔内的辐射光束的反射来得到引出光束。本发明还提供相应的辐射引出系统和方法。本发明的谐振腔型极紫外自由电子激光器的辐射引出装置使用不挖孔的多层膜反射镜直接从谐振腔内部将所需的FEL辐射引出,该方案避免了谐振腔型FEL装置的谐振腔镜中心打孔,直接从谐振腔内部将所需的FEL辐射引出,减小了FEL的谐振腔镜的制备难度和镀膜的不稳定因素,提高振腔型EUV FEL的辐射输出质量,提高FEL放大增益。
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公开(公告)号:CN119960268A
公开(公告)日:2025-05-09
申请号:CN202510244471.5
申请日:2025-03-03
Abstract: 本发明涉及光学设备技术领域,尤其涉及一种接近式曝光装置及其使用方法。该装置包括底座、固定座、晶圆承片台、掩模台、压电台、测量台和测量单元。晶圆承片台设于固定座上,并能够进行水平移动;掩模台掩模台用于安装和更换掩模并能够进行竖直移动;压电台用于安装硅片并调节硅片与掩模之间的间隙;测量单元用于测量掩模与硅片的相对位置。本发明提供的一种接近式曝光装置及其使用方法,取消了物镜,结构简单,易于实现小型化,造价低廉;可通过测量单元直接测量掩模和硅片的距离,横置式结构可以减少重力对硅片及压电台的影响,掩模和硅片其自身及相互之间距离的温度漂移和纳米抖动明显降低,更便于实现掩模和硅片的调平调焦。
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公开(公告)号:CN119835857A
公开(公告)日:2025-04-15
申请号:CN202411772927.7
申请日:2024-12-04
Applicant: 中国科学院上海高等研究院 , 张江国家实验室
IPC: H05H9/00 , H05H7/22 , G06F30/10 , G06F30/20 , G06F111/04
Abstract: 本发明提供一种用于能量回收型直线加速器的注入器的优化方法,包括:通过现有设计,预估注入部分的出口处的束团参数以及出口到主加速器入口的距离;确定由横向空间电荷力引起的横向的单位长度内所造成的相空间非线性调制量的变换;同时,依据来预估横向空间电荷力在注入器的匹配段和兼并段引起的相空间非线性调制量;在优化注入器装置的注入部分的过程中,在注入部分的原有的约束条件中新增发射度优化函数;随后,使得发射度优化函数趋于0。本发明的优化方法在考虑后续低能区域的横向空间电荷作用的基础上进行注入器装置的注入部分束团优化或筛选,使束团在后续传输中减少横向电荷力的影响,可以有效提升后续辐射段的功率。
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公开(公告)号:CN119696692A
公开(公告)日:2025-03-25
申请号:CN202311244660.X
申请日:2023-09-25
Applicant: 张江国家实验室
IPC: H04B10/50 , H04B10/516 , H01S5/024
Abstract: 本申请涉及一种用于激光通信的发射装置和激光通信设备。发射装置包括:热传导基板,具有第一表面和与第一表面相对的第二表面;光源模块,设置在热传导基板的第一表面上并且用于输出激光束,其中光源模块包括热敏传感器;光子芯片,设置在热传导基板的第一表面上并且用于对激光束进行调制以输出经调制的激光束;耦出模块,布置在光子芯片的输出端以用于将经调制的激光束输出到发射装置外部;以及温度控制器,设置在热传导基板的第二表面上以对热传导基板进行温度控制。
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