公开(公告)号：CN1716059A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510076638.4

申请日：2005-06-13

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 柳旻成 ,  崔泰荣 ,  李容旭 ,  李宇宰 ,  金保成

IPC: G02F1/136 ,  H01L29/786 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L27/1288 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/124 ,  H01L27/283 ,  H01L51/0036 ,  H01L51/0038 ,  H01L51/0052 ,  H01L51/0053 ,  H01L51/0516 ,  H01L51/0541

Abstract: 一种制造薄膜晶体管阵列面板的方法包括：在衬底上形成栅极线；在栅极线上形成栅极绝缘层；在栅极绝缘层上形成数据线和漏电极；在数据线、漏电极和栅极绝缘层的暴露部分上沉积有机半导体层；在有机半导体层上沉积保护层；在保护层上形成光阻剂，该光阻剂具有正性光敏性；用光阻剂作为蚀刻掩膜蚀刻保护层和有机半导体层；在保护层、数据线和漏电极上形成钝化层，该钝化层具有露出部分漏电极的接触孔；以及在钝化层上形成象素电极，该象素电极与漏电极经接触孔电连接。