公开(公告)号：CN113497600A

公开(公告)日：2021-10-12

申请号：CN202011011069.6

申请日：2020-09-23

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 林昶贤 ,  李尙泫 ,  金龙石 ,  李成俊 ,  吉宰亨 ,  朴东铉

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/02

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分；金属焊盘，连接到所述第一电极和所述第二电极；以及保护层，设置为至少覆盖所述金属焊盘。

公开(公告)号：CN108123695A

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201711211798.4

申请日：2017-11-28

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  林昶贤 ,  金龙石 ,  韩昇勋 ,  李成俊 ,  尹湘基 ,  金泰润

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/56 ,  H03H9/58

CPC classification number: H03H9/02007 ,  H01L41/047 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/17 ,  H03H9/173 ,  H03H9/174 ,  H03H9/54

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：膜层，与基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的一部分。所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气。所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度。