公开(公告)号：CN110957233A

公开(公告)日：2020-04-03

申请号：CN201910904935.5

申请日：2019-09-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 久野和哉 ,  清富晶子 ,  野田康朗 ,  滨本启佑 ,  西山直

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明提供基片检查方法、基片检查装置和存储介质。基片检查方法包括：第一步骤，其使保持翘曲量已知的基准基片的保持台旋转，拍摄基准基片的端面；第二步骤，其对第一步骤中获得的拍摄图像进行图像处理，获取基准基片的端面的形状数据；第三步骤，其使保持被处理基片的保持台旋转，拍摄被处理基片的端面；第四步骤，其对第三步骤中获得的拍摄图像进行图像处理，获取被处理基片的端面的形状数据；和第五步骤，其在第一步骤的保持台的旋转位置与第三步骤的保持台的旋转位置相同的条件下，求取第二步骤获取的形状数据与第四步骤获取的形状数据的差，由此计算被处理基片的翘曲量。本发明能够高精度地测量晶片的翘曲。

公开(公告)号：CN101752218B

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN200910246546.4

申请日：2009-11-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 岩永修儿 ,  久野和哉

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/66 ,  G01N21/88

CPC classification number: G06T7/001 ,  G06T7/33 ,  G06T2207/30121 ,  G06T2207/30148

Abstract: 本发明提供基板检查方法、基板检查装置和存储介质。本发明的基板检查方法能够高精度地进行基板的检查。利用摄像照相机对包含三维的世界坐标系的坐标为已知的基准点的夹具进行摄像，取得由摄像元件的像素组指定的图像坐标系上的上述基准点的坐标。然后，将该基准点的坐标向在摄像照相机设定的照相机坐标系的坐标变换，通过计算求出世界坐标系和照相机坐标系的变换参数。然后，使用该变换参数，将对被检查基板进行摄像得到的像素坐标系上的图像数据向世界坐标系上的图像数据变换而进行检查。该世界坐标系的被检查基板的图像，由于能够被抑制由摄像单元的位置和姿势引起的歪斜，所以能够提高被检查基板的检查精度。