公开(公告)号：CN101957479B

公开(公告)日：2011-10-05

申请号：CN201010243050.4

申请日：2010-07-27

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  严英占 ,  闫树斌 ,  刘俊 ,  张文栋 ,  张会新 ,  吉喆 ,  赵敏 ,  刘正 ,  李杰 ,  张宇光 ,  李鹏

IPC: G02B6/28

Abstract: 本发明提供了温度调制光学微腔耦合系统的输出方法及其耦合结构，主要特点是在耦合系统一侧有微型加热器，微型加热器导线连接温控装置，并由光学透明封装材料将整个光学微腔、耦合器和微型加热器被包容在封装体内；其方法的特点就是通过调整及控制光学微腔耦合系统的温度来调整和稳定光学微腔耦合系统的输出。它解决了一直以来是本技术领域中相关器件研制的技术难题，提供了切实可行的，结构简单的技术方案。

公开(公告)号：CN101871950A

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：CN201010210072.0

申请日：2010-06-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  严英占 ,  闫树斌 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  吉喆 ,  刘正 ,  赵敏 ,  李杰 ,  贾鹏飞

IPC: G01P15/03 ,  G02B6/34

Abstract: 本发明涉及基于集成输入输出端的光学谐振腔微加速度计，包括光学谐振腔、悬臂梁、基底、质量块、输入光栅、输出光栅、输入光波导和输出光波导；所述悬臂梁的一端与基底相连，另一端与质量块连接，悬臂梁用刻蚀形成，光学谐振腔被刻蚀在悬臂梁的上表面，光学谐振腔为平面跑道形的形状；其特点是该光学谐振腔微加速度计由上而下有三层结构，光学谐振腔是集成输入输出端的，光学输入口与输出口通过光栅结构与光学谐振腔集成一体；输入光波导与输出光波导与光学谐振腔成也为一体；本发明是利用现代MEMS加工技术制成的，可适用于磁场环境复杂，真空环境中的振动，冲击等加速度的测量。

公开(公告)号：CN101419161B

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200810079658.0

申请日：2008-10-24

Applicant: 中北大学

Inventor： 熊继军 ,  严英占 ,  闫树斌 ,  杨玉华 ,  吉喆 ,  王少辉 ,  王宝花 ,  姜国庆 ,  任小红

IPC: G01N21/31

Abstract: 本发明涉及基于平面环形微腔的气体检测方法及气体传感器，主要特点是采用两个平面环形微腔与双锥光纤构成的耦合器，一个为检测气体耦合器，另一个为真空环境中耦合器；该气体检测方法是基于倏逝波对不同气体的吸收作用改变了透射光谱峰值的原理，利用待检测气体的检测气体耦合器所透射光谱与真空环境中耦合器所透射光谱进行对比，并由二者的光谱变化来实现检测待测气体的种类和浓度。由该方法设计的气体传感器具有响应时间短、结构相对简单，对于浓度极低的剧毒有害气体也有极高的灵敏性等优点。

公开(公告)号：CN101793520A

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：CN201010106223.8

申请日：2010-01-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  张文栋 ,  闫树斌 ,  薛晨阳 ,  丑修建 ,  赵敏 ,  严英占 ,  石云波 ,  仝晓刚

IPC: G01C19/64 ,  G02B6/28 ,  G02B6/34

Abstract: 本发明涉及光学领域和微机电领域，具体是一种基于光学微腔的集成光波导陀螺。解决了现有光纤陀螺仪性能提高受光纤环质量限制、不利于光纤陀螺仪在高精度领域应用等问题，包括光源、分束器、由信号处理单元和两个光电探测器构成的光检测装置，还包括采用MEMS加工工艺在半导体衬底上加工得到的光学微腔、平行对称设置于光学微腔两侧的光波导，两光波导分别与光学微腔构成光波导-微腔耦合结构，分束器的两出射口分别经入射光纤与两光波导的入射端一一对应建立两路入射光路，两光波导的出射端分别经出射光纤与光检测装置中两光电探测器的输入端一一对应建立两路出射光路。本发明结构合理、简单，灵敏度高，应用范围广，能适合应用于高精度测量领域。

公开(公告)号：CN101387496B

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200810079473.X

申请日：2008-09-25

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  闫树斌 ,  吉喆 ,  严英占 ,  王少辉 ,  王宝花 ,  姜国庆

IPC: G01B11/02 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明涉及基于集成面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器，它包括平面环形微腔、光波导、基底、与光波导相连的入射光纤及出射光纤，所述平面环形微腔与光波导的光相耦合；其特点是所述微位移传感器还有悬臂梁与探针，悬臂梁的一端连接在基底上，另一端为自由端；所述探针在悬臂梁的下表面自由端前部中间位置，悬臂梁和探针均用刻蚀形成；所述平面环形微腔与光波导均被刻蚀在悬臂梁的上表面；是利用现代MEMS加工技术制成的，可适用于磁场环境复杂，真空环境，被测物体范围广，除普通的金属，非金属物质表面外，也可对生物细胞进行表面测量。其测量精度可达10-4埃。

公开(公告)号：CN101349780B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200810079330.9

申请日：2008-08-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  闫树斌 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  严英占 ,  吉喆 ,  王少辉 ,  姜国庆 ,  王宝花

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/13 ,  G02F1/35 ,  H01S5/10 ,  H01S3/08

Abstract: 本发明涉及微型光学谐振器-光学微腔，具体是一种平面环形微腔的制造方法。解决了以现有加工方法加工制得的环形微腔未能获得超高品质因数Q值的问题，采用以下制造步骤：1、在硅基上热生长出二氧化硅层，去离子水和丙酮清洗，氮气烘干，高温炉内烘烤；2、利用刻蚀工艺将硅基上的二氧化硅层刻蚀成圆盘状；3、对硅基进行各向同性腐蚀以在圆盘状二氧化硅层下方形成光滑的圆台状支柱；4、采用激光器以高斯热分布模式经汇聚透镜对圆盘状二氧化硅层进行表面热处理，使圆盘状二氧化硅层中心表面塌陷形成环状腔体。具有良好的光学特性、光学存储作用、超高品质因数，在非线性光学、光子学、量子电动力学、高灵敏度微光学器件等领域具有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN101387496A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：CN200810079473.X

申请日：2008-09-25

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  闫树斌 ,  吉喆 ,  严英占 ,  王少辉 ,  王宝花 ,  姜国庆

IPC: G01B11/02 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明涉及基于集成面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器，它包括平面环形微腔、光波导、基底、与光波导相连的入射光纤及出射光纤，所述平面环形微腔与光波导的光相耦合；其特点是所述微位移传感器还有悬臂梁与探针，悬臂梁的一端连接在基底上，另一端为自由端；所述探针在悬臂梁的下表面自由端前部中间位置，悬臂梁和探针均用刻蚀形成；所述平面环形微腔与光波导均被刻蚀在悬臂梁的上表面；是利用现代MEMS加工技术制成的，可适用于磁场环境复杂，真空环境，被测物体范围广，除普通的金属，非金属物质表面外，也可对生物细胞进行表面测量。其测量精度可达10－4埃。