基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺

    公开(公告)号:CN101858745B

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN201010210155.X

    申请日:2010-06-21

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺,包括垂直腔面发射激光器、共振腔增强型探测器、输入光栅、输出光栅、环形谐振腔、输入和输出光波导、分光隔离器;所述垂直腔面发射激光器集成在SOI材料顶层硅层,利用硅基与III-V族化合物半导体基芯片间的键合技术形成;所述共振腔增强型探测器集成在SOI材料上硅层,应用键合技术键合到InGaAs等探测物质的有源区上;其特点是所述环形谐振腔为圆环形形状,所述输入光栅,通过分光隔离器,输入和输出光波导与环形谐振腔,输出光栅集成一体。本发明基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺主要应用在外部角速度的测量,可应用于小卫星甚至微型卫星中。

    基于平面环形微腔的气体检测方法及气体传感器

    公开(公告)号:CN101419161A

    公开(公告)日:2009-04-29

    申请号:CN200810079658.0

    申请日:2008-10-24

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及基于平面环形微腔的气体检测方法及气体传感器,主要特点是采用两个平面环形微腔与双锥光纤构成的耦合器,一个为检测气体耦合器,另一个为真空环境中耦合器;该气体检测方法是基于倏逝波对不同气体的吸收作用改变了透射光谱峰值的原理,利用待检测气体的检测气体耦合器所透射光谱与真空环境中耦合器所透射光谱进行对比,并由二者的光谱变化来实现检测待测气体的种类和浓度。由该方法设计的气体传感器具有响应时间短、结构相对简单,对于浓度极低的剧毒有害气体也有极高的灵敏性等优点。

    基于平面环形微腔的悬臂梁式加速度计

    公开(公告)号:CN101403763A

    公开(公告)日:2009-04-08

    申请号:CN200810079681.X

    申请日:2008-10-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及微机械电子技术,具体是一种基于平面环形微腔的悬臂梁式加速度计。解决了现有高灵敏度加速度计加工工艺相对复杂的问题,基于平面环形微腔的悬臂梁式加速度计包括硅基框架、悬臂梁、以及通过悬臂梁支悬于硅基框架中央的质量块,悬臂梁上设有平面环形微腔,硅基框架上沿与对应悬臂梁垂直的方向设置有与对应悬臂梁上平面环形微腔构成平面环形微腔耦合系统的光波导。本发明结构合理、紧凑,加工方便,灵敏度高,完全可以替代现有各类加速度计而应用于各领域当中进行加速度的测量。

    基于高Q光学微腔的温度传感器及分布式温度传感网络

    公开(公告)号:CN102435348B

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201110363600.0

    申请日:2011-11-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明基于高Q光学微腔的温度传感器及其分布式传感网络。传感器包括激光光源、分束器、参考微腔测试系统、探测器、以及参考微腔测试系统;所述的参考微腔系统由耦合器及光学微腔构成,其特点是该系统被低折射率封装起来,并通过温度控制单元实现了该系统的温度的恒定。所述的测试微腔由耦合器以及高Q光学微腔构成,其特点是该系统被低折射率封装起来。本发明提出的传感网络有两种并联和串联构建形式。本发明是利用光学微腔的高Q特性实现的温度的高分辨测试,具有结构简单,分辨率高、成本低等特点。

    掺铒环形微腔激光器
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101359804B

    公开(公告)日:2011-06-15

    申请号:CN200810079409.1

    申请日:2008-09-13

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于微型光电子技术器件制造领域,具体为一种掺铒环形微腔激光器。解决了平面环形微腔在激光器上的应用问题。其特征在于:制造方法为,(1)制作平面环形微腔和制作锥形光纤,微环的大小为外径120μm、内径100μm,锥形光纤的锥区直径为5μm,微环的厚度为2μm,(2)锥形光纤耦合:锥形光纤和硅微环腔的耦合距离为0.5μm形成掺铒环形微腔激光器。本发明制作成了微腔激光器,它实现了对光的控制。本发明低阈值的特性减小了对泵浦光的限制,实现了低功耗从而克服了功耗过大引起的硅环变形的缺陷。加工工艺比硅球微腔激光器的可控性要高很多,相比以前的微腔激光器可实施性大大提高。

    一种关于光学陀螺效应验证的简易结构

    公开(公告)号:CN101949712A

    公开(公告)日:2011-01-19

    申请号:CN201010274552.3

    申请日:2010-09-07

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及陀螺惯性器件,具体是一种关于光学陀螺效应验证的简易结构。本发明解决了现有陀螺惯性器件测量不灵便、灵敏度和分辨率难以进一步提高、成本高、受温度等环境条件变化影响大、以及不易集成的问题。一种关于光学陀螺效应验证的简易结构包括中空转台、固定于中空转台表面圆心处的环形谐振腔、以及与环形谐振腔耦合的双波导;双波导贯穿中空转台表面,中空转台的上下两侧分别设有三通道光纤旋转互连装置和四通道光纤旋转互连装置。本发明有效解决了现有陀螺惯性器件测量不灵便、灵敏度和分辨率难以进一步提高、成本高、受温度等环境条件变化影响大、以及不易集成的问题,适于作为惯导系统中的核心部件。

    基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺

    公开(公告)号:CN101858745A

    公开(公告)日:2010-10-13

    申请号:CN201010210155.X

    申请日:2010-06-21

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺,包括垂直腔面发射激光器、共振腔增强型探测器、输入光栅、输出光栅、环形谐振腔、输入和输出光波导、分光隔离器;所述垂直腔面发射激光器集成在SOI材料顶层硅层,利用硅基与III-V族化合物半导体基芯片间的键合技术形成;所述共振腔增强型探测器集成在SOI材料上硅层,应用键合技术键合到InGaAs等探测物质的有源区上;其特点是所述环形谐振腔为圆环形形状,所述输入光栅,通过分光隔离器,输入和输出光波导与环形谐振腔,输出光栅集成一体。本发明基于环形谐振腔的全固态微光机电陀螺主要应用在外部角速度的测量,可应用于小卫星甚至微型卫星中。

    一种关于光学陀螺效应验证的简易结构

    公开(公告)号:CN101949712B

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201010274552.3

    申请日:2010-09-07

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及陀螺惯性器件,具体是一种关于光学陀螺效应验证的简易结构。本发明解决了现有陀螺惯性器件测量不灵便、灵敏度和分辨率难以进一步提高、成本高、受温度等环境条件变化影响大、以及不易集成的问题。一种关于光学陀螺效应验证的简易结构包括中空转台、固定于中空转台表面圆心处的环形谐振腔、以及与环形谐振腔耦合的双波导;双波导贯穿中空转台表面,中空转台的上下两侧分别设有三通道光纤旋转互连装置和四通道光纤旋转互连装置。本发明有效解决了现有陀螺惯性器件测量不灵便、灵敏度和分辨率难以进一步提高、成本高、受温度等环境条件变化影响大、以及不易集成的问题,适于作为惯导系统中的核心部件。

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