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公开(公告)号：CN108918366A
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201810448777.2
申请日：2018-05-11
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC分类号： G01N15/06
摘要： 一种基于锁相放大技术的浊度传感器，涉及浊度检测领域。本发明是为了解决现有采用散射式方法的浊度传感器检测浊度，散射式方法的浊度传感器存在体积大、分辨率低、光损耗大、检测精度低的问题。光源舱体与探测舱舱体之间采用管体连接，光电探测器和光源信号解调处理电路均设置于探测舱舱体内，光源、光源舱密封光窗、光电探测器和探测舱密封光窗共轴，光源调制电路产生频率激励信号来驱动光源发光，该光依次透过光源舱密封光窗、待测水体和探测舱密封光窗，被光电探测器接收，光源信号解调处理电路从光电探测器中提取被待测水体吸收后的微弱光信号，从微弱光信号中分析待测水体对光源的吸光度，从而得到待测水体的浊度。它用于检测水体浊度。
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公开(公告)号：CN108470823A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201810327626.1
申请日：2018-04-12
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/29
摘要： 一种用于高分子薄膜的高压电极化系统，本发明属于高分子压电材料有序取向领域，具体涉及一种用于高分子薄膜的高压电极化系统。本发明有效保证待极化样品极化后β向晶体方向性一致性均匀分布、样品极化区域形态多样化、且避免单点电晕极化存在的单一场强过大使得样品被击穿导致成品率下降，从而有效提高了极化的成品率。该极化系统由高压极化电源、高压电极、极化电场组件、薄膜极化组件和加热装置组成；所述极化电场组件由极化平板上电极和极化平板下电极组成；所述薄膜极化组件由主极化硅片和底板极化硅片组成。本发明用于生产高分子极化薄膜。
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公开(公告)号：CN106996797B
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201710303174.9
申请日：2017-05-02
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
摘要： 一种光纤传感探头，属于光纤传感技术领域，其要解决的问题是：现有反射式强度调制型光纤传感器可检测的动态信号的动态范围小，频率范围小，信噪比低；现有反射式强度调制型光纤传感器用于检测静态或者准静态信号时，其检测结果的精度低，且易受光源强度变化和环境温度变化的影响。本发明的主要内容为：第一发射端的纤芯上刻有光纤光栅，压力敏感膜片将经第一发射端出射的光信号反射至第一接收端和第二接收端，在压力敏感膜片偏离初始位置时，入射至第一接收端的光信号与入射至第二接收端的光信号能够构成差分信号。第二发射端的端面与压力敏感膜片的反射面构成法布里‑珀罗干涉腔。本发明适用于光纤传感器。
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公开(公告)号：CN105043930B
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201510443576.X
申请日：2015-07-24
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC分类号： G01N9/24
摘要： 微结构碱金属气室碱金属蒸汽原子密度的检测装置和方法，涉及微结构碱金属气室的检测技术领域。它为了解决现有碱金属气室检测装置只能逐个对气室进行检查，导致光路调制耗时且检测成本高，不能保证各气室单元检测的一致性的问题。微结构碱金属气室与光电管阵列具有相似性，经气室出射的光束通过凸透镜聚焦后分别透射到相应的光电管，采集信号处理电路将检测信号与标准气室的检测信号进行对比和分析，最终实现各气室单元的碱金属蒸汽原子密度的检测。本发明适用于芯片原子钟、微结构原子磁力仪、微型原子陀螺等微结构设备的检测，特别适用于将圆片级微结构碱金属气室作为磁阵列成像敏感单元的成像系统的检测。
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公开(公告)号：CN107128871A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710325754.8
申请日：2017-05-10
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
CPC分类号： B81B7/0074 , B81B7/0087 , B81B7/02 , B81C1/00261 , B81C2203/0172
摘要： 一种基于MEMS原子芯片的物理封装件及其封装方法，它涉及一种物理封装件及其封装方法。本发明为了解决现有的微型碱金属原子汽室在传感器系统应用过程中存在加热功耗过大及磁干扰的问题。封装件：陶瓷外壳分别与上、下透光窗密封连接，上支撑膜和下支撑膜粘接在微结构原子芯片的上、下表面，微结构原子芯片与内连接支架连接，上支撑膜与下支撑膜粘接在封装腔体内部的陶瓷外壳的基座上。方法：将下透光窗和密封陶瓷外壳密封，将上支撑膜和下支撑膜粘在微结构原子芯片上，上支撑膜与下支撑膜固定连接，微结构原子芯片与内连接支架固定连接，上支撑膜和下支撑膜的加热与测温器引线均与内电极相连，内电极与外电极连接。本发明用于微机电系统领域。
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公开(公告)号：CN106932354A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710343550.7
申请日：2017-05-16
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
摘要： 一种TOC水质监测传感器，属于水质监测领域。解决了现有技术中紫外吸收式TOC检测设备存在弱光信号提取难的问题。本发明提出采用紫外光光源作为检测光源，绿光光源作为补偿光源，设计三个舱体分段式结构，紫外光光源、2号绿光电探测器和1号TEC恒温控制器均设置在紫外光探测舱体内；绿光光源、1号紫外光电探测器和2号TEC恒温控制器均设置在绿光探测舱体内，且紫外光的发射与接收方向跟绿光的发射与接收方向正好相反，使得各自的光电探测器不会接收到另一种光源发出的光信号，减少其它光信号的干扰。本发明主要用于水质监测。
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公开(公告)号：CN103954346B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201410208529.2
申请日：2014-05-16
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC分类号： G01H3/00
摘要： 具有目标定位及判别功能的磁复合三维矢量水听器及该水听器的目标定位及判别方法,涉及一种自主定位及目标判别的磁复合三维MEMS矢量水听器，属于水声传感器技术领域。解决了现有单个矢量水听器能对空间目标进行定位的精度差和目标判别不准确的问题，本发明包括3个MEMS加速度传感器、2个声压水听器、磁方位传感器、正交调整架、信号处理电路和声学透声灌封材料的外壳，3个MEMS加速度传感器、2个声压水听器和磁方位传感器均固定在正交调整架。本发明适用于进行水下目标的探测。
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公开(公告)号：CN105236350A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510689597.X
申请日：2015-10-21
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 一种蓝宝石压力敏感芯片的直接键合方法，本发明属于MEMS工艺技术领域，它为了解决现有工艺难以实现蓝宝石压力敏感结构中蓝宝石晶片的直接键合，以及制备得到的压力传感器的工作温度较低的问题。直接键合方法：一、对一片蓝宝石晶片刻蚀出凹腔，然后进行预划片；二、两片蓝宝石晶片置于稀硫酸中形成羟基层；三、两片蓝宝石晶片对准叠放进行预键合；四、对预键合的蓝宝石晶片在1150～1350℃的温度下持续加热进行高温键合；五、退火处理；六、切割成芯片。本发明在直接键合时采用热辐射和加热台两种加热方式，并通过预划片的方式提升键合成功率，该蓝宝石压力敏感芯片的结构中不使用粘合剂或者中间层，工作温度可达到1500℃左右。
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公开(公告)号：CN105043930A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510443576.X
申请日：2015-07-24
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC分类号： G01N9/24
摘要： 微结构碱金属气室碱金属蒸汽原子密度的检测装置和方法，涉及微结构碱金属气室的检测技术领域。它为了解决现有碱金属气室检测装置只能逐个对气室进行检查，导致光路调制耗时且检测成本高，不能保证各气室单元检测的一致性的问题。微结构碱金属气室与光电管阵列具有相似性，经气室出射的光束通过凸透镜聚焦后分别透射到相应的光电管，采集信号处理电路将检测信号与标准气室的检测信号进行对比和分析，最终实现各气室单元的碱金属蒸汽原子密度的检测。本发明适用于芯片原子钟、微结构原子磁力仪、微型原子陀螺等微结构设备的检测，特别适用于将圆片级微结构碱金属气室作为磁阵列成像敏感单元的成像系统的检测。
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公开(公告)号：CN104591080A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510060998.9
申请日：2015-02-05
申请人： 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 一种提高金-金热压键合强度的方法，它涉及一种提高金-金热压键合强度的方法。本发明是要解决现有硅微机械传感器利用高温高压进行金-金热压键合，在器件键合面积及键合设备提供压力一定情况下因为作用在键合面上的压力过小无法实现键合的问题。方法：加速度传感器上电极和下电极金属层制作通过两次光刻工艺制作完成，第一次光刻完成器件所需的设计图形，第二次光刻完成进行金-金热压键合所需的图形，金-金热压键合图形面积远小于器件设计图形面积。本发明用于提高金-金热压键合强度。
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