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公开(公告)号：CN112240754B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202011284798.9
申请日：2020-11-17
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明涉及一种微小空间三维形貌测量装置，包括光源组件和至少两组探测组件，所述探测组件包括衬底，所述衬底上固设有一层绝缘层，所述绝缘层上设置有若干根相互平行且形状尺寸相同的硅导线，且相邻的硅导线之间距离相等，每根硅导线两端均引出导线与电位测量计相连，所述电位测量计与处理器相连；所述光源组件通过激光对被测样品表面进行逐行扫描，被测样品反射的激光照射到所述探测组件上时，硅导线与衬底之间发生近场耦效应，并使得硅导线与衬底形成的谐振器产生振幅完全抑制，所述处理器根据与硅导线相连的电位测量计输出的连续信号计算出被测样品表面反光点的位置信息。本发明具有体积小、精度高、非接触等优点。
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公开(公告)号：CN118137461A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410146176.1
申请日：2024-02-02
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： H02J3/00
摘要： 本发明涉及一种启动控制装置，包括：电源模块，用来为负载提供第一启动电能；辅助模块，用来检测所述电源模块的供电状态，当电源模块正常供电时利用所述第一启动电能进行储能，当检测到所述电源模块停止供电时，在第一预设时间后释放储存的电能从而为所述负载提供第二启动电能。本发明能够使装置负载持续保持启动的状态，并提高启动安全性。
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公开(公告)号：CN115951431A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211606843.7
申请日：2022-12-14
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G02B1/00
摘要： 本发明涉及一种用于波长相关的3D光开关的微纳结构，包括：衬底；两条硅纳米柱子链，平行设置在所述衬底上；每条硅纳米柱子链包括高度相同的普通柱和缺陷柱，所述普通柱和缺陷柱排成一列，所述缺陷柱设置在所述硅纳米柱子链末端的第一根和第三根的位置；所述缺陷柱的半径大于所述普通柱的半径。本发明能够在不同的输入光相位下进行3D光链路的开关调制，并在不同波长下表现出相反的开关特性。
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公开(公告)号：CN114117762A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111352692.2
申请日：2021-11-16
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明涉及一种易加工的随机形状超原子生成方法、装置及存储介质。其中，方法包括：基于超原子平方反比生成函数生成超原子；基于最小线宽对生成的所述超原子进行筛选，得到符合加工条件的超原子。本发明生成的超原子边界平滑，没有任何倒角，而且这种方法可以自定义最小线宽，将尺寸太小的颗粒或小孔筛除，因此生成的超原子非常易于加工，在超表面的微纳加工方面具有实用价值。
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公开(公告)号：CN112558223B
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202110014152.7
申请日：2021-01-06
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G02B6/14
摘要： 本发明提供一种模式转换器及其制备方法，结构包括：依次连接的第一模式转换区、第二模式转换区、第三模式转换区以及第四模式转换区。其中，并进一步将第一模式转换区设计为非对称的Y分支波导，包括第一波导段和第二波导段，在第二模式转换区设计与弯曲汇聚波导，包括第三波导段和第四波导段，通过第三模式转换区的波导连接及光栅布置方式实现模式转换，形成耦合，包括第五波导段、第六波导段以及光栅区及制备在其中的凹槽结构，最终耦合后的光通过第四模式转换区输出，有效的实现了多模式的复用，有效的将入射的TE0模式的光转换为TE0和TE1混合模式的光输出。
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公开(公告)号：CN113093334A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110472031.7
申请日：2021-04-29
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明提供一种基于TM0模吸收的超导纳米线单光子探测器及探测方法，包括：定向耦合器，用于实现TE0模式至TE1模式的转换；偏振旋转器，与所述定向耦合器连接，用于实现TE1模式至TM0模式的转换；纳米线单光子探测器，与所述偏振旋转器连接，用于实现对TM0模式的吸收及探测。本发明的基于TM0模吸收的超导纳米线单光子探测器结构简单，是在SOI结构的基础上实现TE0模至TM0模的高效转换，并由纳米线单光子探测器快速吸收并探测，不仅极大地缩短了纳米线所需长度，从而降低了纳米线制作所要求的工艺条件，还保护器件避免被刻蚀剂破坏，使得器件工作性能稳定。
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公开(公告)号：CN112558223A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202110014152.7
申请日：2021-01-06
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G02B6/14
摘要： 本发明提供一种模式转换器及其制备方法，结构包括：依次连接的第一模式转换区、第二模式转换区、第三模式转换区以及第四模式转换区。其中，并进一步将第一模式转换区设计为非对称的Y分支波导，包括第一波导段和第二波导段，在第二模式转换区设计与弯曲汇聚波导，包括第三波导段和第四波导段，通过第三模式转换区的波导连接及光栅布置方式实现模式转换，形成耦合，包括第五波导段、第六波导段以及光栅区及制备在其中的凹槽结构，最终耦合后的光通过第四模式转换区输出，有效的实现了多模式的复用，有效的将入射的TE0模式的光转换为TE0和TE1混合模式的光输出。
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公开(公告)号：CN217467402U
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202123001387.7
申请日：2021-12-01
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本实用新型涉及一种硅基耗尽型电光调制器，包括硅层(1‑9)，其特征在于：所述硅层(1‑9)上依次包括P型重掺杂区(1‑5)、P型中等掺杂区(1‑3)、P型轻掺杂区(1‑1)、N型轻掺杂区(1‑2)、N型中等掺杂区(1‑4)和N型重掺杂区(1‑6)；所述P型轻掺杂区(1‑1)与N型轻掺杂区(1‑2)形成至少两个纵向PN结，至少三个横向PN结。本实用新型在低压下具有高带宽的优势，可实现低功耗大规模数据传输。
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公开(公告)号：CN213659006U
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202022656133.8
申请日：2020-11-17
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本实用新型涉及一种对特定方向激光光束敏感的微纳结构，包括衬底，所述衬底上固设有一层绝缘层，所述绝缘层上设置有两根相互平行且形状尺寸相同的硅导线，每根硅导线两端均引出导线与电位测量计相连，当激光照射到硅导线时硅导线与衬底之间发生近场耦效应，且距离激光光源较近的一根硅导线完全抑制，距离激光光源较远的另一根硅导线保持亮度。本实用新型能够对某个特定角度的激光信号进行精确探测以及沿特定方向上进行非接触信号传输。
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公开(公告)号：CN203551595U
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201320724059.6
申请日：2013-11-15
申请人： 江苏尚飞光电科技有限公司 , 中科院南通光电工程中心 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01Q60/18
摘要： 本实用新型提供一种扫描近场光学检测台，包括：本体（22）；所述本体包括相互垂直的XOY面、YOZ面以及ZOX面；所述XOY面、YOZ面以及ZOX面围成一个收容空间；收容于所述收容空间内用于放置工件（17）的矩形工作台（18）；所述矩形工作台包括底面以及相互垂直相邻的四个侧面；所述矩形工作台的底面四角设有与所述本体XOY面固定的四个液压驱动单元（21）；所述矩形工作台相邻的两个侧面分别设有与所述本体YOZ面以及ZOX面固定的两个液压驱动单元（11）；所述本体YOZ面上设有位于所述工件上方的用于实现所述工件在Z轴方向上的定位的喷嘴单元。本实用新型支柱伸长量可调、可测，因此工作台的位移精度较高且控制较为简单；工作台运动的有效行程较大。
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