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公开(公告)号：CN1161476A
公开(公告)日：1997-10-08
申请号：CN96105669.X
申请日：1996-04-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03G15/00
CPC classification number: C23C16/44 , G03G5/08235 , G03G5/08264 , G03G5/08278
Abstract: 用于生产包括表层的光接收部件的一种工艺，该工艺包括形成包含碳原子、氧原子与氮原子之中至少一种的非单晶材料层，并以含氟原子的气体蚀刻该层，其中形成与蚀刻在一个能够减少其内部压力的反应器中交替地重复进行多次以便在一个衬底上形成表层；以及应用这种光接收部件的电子照相装置和应用这种光接收部件的电子照相方法。
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