公开(公告)号：CN2929393Y

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200620008180.9

申请日：2006-03-17

申请人： 北京中科信电子装备有限公司

发明人： 彭立波 ,  姚琛 ,  钟新华 ,  唐景庭

IPC分类号： F16K17/04

摘要： 本实用新型涉及应用离子注入机的真空系统过压保护装置，具体为真空用过压流阀，其特征在于由垫圈(1)，KF接口(2)，弹簧(3)，溢流密封盖板(4)，外罩(5)，内六角圆柱头螺钉(6)，O型密封圈(7)和O型密封圈(8)，弹性挡圈(9)，卡套接头(10)。当内部压力高于所调定压力时，自动溢流排气，防止由于过压对部分系统元件的破坏或发生压力爆炸，起到保护真空系统安全运行的作用。

公开(公告)号：CN2906906Y

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200620012983.1

申请日：2006-04-07

申请人： 北京中科信电子装备有限公司

发明人： 伍三忠 ,  戴习毛 ,  钟新华 ,  刘仁杰

IPC分类号： H01J37/04 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

摘要： 本实用新型公开了一种离子源引出电极系统，包括：连接杆、屏蔽筒、减速电极、绝缘子、加速电极座、加速电极。其中所述连接杆连接固定整个引出电极系统；所述减速电极螺钉连接连接杆；所述屏蔽筒安装在减速电极上；所述绝缘子安装在屏蔽筒和加速电极座之间；所述的加速电极镶嵌在加速电极座上。本实用新型结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗离子溅射污染性能特点；加速电极镶嵌式结构更换操作方便，解决了以前一般引出电极系统的缺点和局限性，满足离子注入机高可靠性高标准要求。