一种电子束激发荧光成像和荧光光谱测量装置及其方法

    公开(公告)号:CN107941831A

    公开(公告)日:2018-04-20

    申请号:CN201610894552.0

    申请日:2016-10-13

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 朱瑞 徐军 刘亚琪

    CPC classification number: G01N23/22

    Abstract: 本发明公开了一种电子束激发荧光成像和荧光光谱测量装置及其方法。本发明的电子束激发荧光成像和荧光光谱测量装置包括:扫描电子显微镜系统、扫描信号发生器、荧光收集耦合传输系统、荧光强度探测器、荧光光谱探测器、扫描同步信号采集器、协同控制与数据处理输出系统;本发明采用模块化的构架,各模块的配置调整及后续升级非常灵活便利;各模块在协同控制与数据处理输出系统的统一同步协调控制下相互配合工作,保证严格的时序和逻辑顺序,并能够通过反馈交互信号检测各模块的运行情况,最终实现高精度的电子束激发荧光成像和荧光光谱测量;荧光收集耦合传输系统能够和荧光光谱探测器极大提高了扫描电子显微镜的分辨率。

    一种单个微纳米结构转移装置及其转移方法

    公开(公告)号:CN106430084B

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201611019900.6

    申请日:2016-11-18

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 朱瑞 徐军 刘亚琪

    Abstract: 本发明公开了一种单个微纳米结构转移装置及其转移方法。本发明巧妙地设计了具有周期性凸起平台和坐标标记的微纳结构中转基片,通过显微镜实时观察以及原位操纵微纳操纵器,实现单个微纳米结构的精确定点转移;一方面,在微纳结构中转基片上能够完成对微纳米结构的初步表征分析;另一方面,在显微镜的原位观察下,通过坐标标记原位查找待转移的单个微纳米结构,并能够通过微纳操纵器的转移探针将其从微纳结构中转基片上提取出来,再精确转移至目标衬底基片上的指定位置,转移定位精度能够优于1微米;此外,本发明的转移方法采用了静电吸附的原理,在保证转移探针的尖头探针清洁的情况下,不会在微纳米结构转移过程中引入不明杂质。

    一种扫描电镜样品台定位装置及其定位方法

    公开(公告)号:CN105225909A

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201510592044.2

    申请日:2015-09-17

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 朱瑞 徐军 刘亚琪

    Abstract: 本发明公开了一种扫描电镜样品台定位装置及其定位方法。本发明的定位装置包括:摄像头、图像采集系统调节架、图像采集系统基台、样品台座、定位样品、图像控制器和数据处理及输出系统;本发明通过引入定位样品台,结合图像采集与处理过程,采用扫描电镜样品台坐标系标定方法,实现了样品台上不同样品位置的定位,省去了在扫描电镜小视野中通过小范围移动样品台来进行样品寻找和定位的繁琐且易出错的过程,实现样品的准确、快速定位,极大提高了扫描电镜实验效率,能够为扫描电镜用户节省大量样品搜索与定位所花费的时间与费用。

    一种场发射电子源发射体表面涂层处理装置及其处理方法

    公开(公告)号:CN103956312A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201410158109.8

    申请日:2014-04-18

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种场发射电子源发射体表面涂层处理装置及其处理方法。本发明的处理装置包括:反应室、真空抽气系统、真空度测量系统、供氧系统、电子源电源、加热带、观察窗和比色测温仪。本发明采用反应室连接真空抽气系统、真空度测量系统和供氧系统,能够对氧化环境、真空度、温度和处理时间的精密控制;实现在单晶钨丝的表面形成均匀的氧化锆涂层,显著的降低了单晶钨丝作为发射体的攻函数,从约4.7eV降低到约2.8eV,有利于发射体中电子的场致发射,也降低了发射体尖端需加载的电场强度的要求,减少了发射体尖端放电的危险,通过这种方法制备的场发射电子源的工作时间超过2000小时,有效地延长了场发射电子源的工作寿命。

    一种场发射电子源发叉钨丝成型装置

    公开(公告)号:CN102496541B

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN201110406532.1

    申请日:2011-12-08

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明公开了一种场发射电子源发叉钨丝成型装置。本发明的焊接装置包括:刀片;底座;控制刀片向下挤压深度的刀片架组;包括一对间距可调的左固定托和右固定托的间距调节组;以及一对用于放置钨丝的钨丝定位片。本发明的成型装置,可以在5°-95°角度范围内的任意角度对钨丝进行精确的弯曲,既能精确保证弯曲角度也能精确保证V型叉具有相同的长度;并且可多根钨丝一次同时成型,极大的提高了发叉钨丝成型的精度和一致性,同时也大大的提高了V型发叉钨丝制作效率,为确保后续焊接和安装精度提供了保证。

    一种单个微纳米结构转移装置

    公开(公告)号:CN206278904U

    公开(公告)日:2017-06-27

    申请号:CN201621241534.4

    申请日:2016-11-18

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 朱瑞 徐军 刘亚琪

    Abstract: 本实用新型公开了一种单个微纳米结构转移装置。本实用新型的转移装置包括:显微镜、微纳操纵器固定架、微纳操纵器、转移探针和微纳结构中转基片;微纳结构中转基片具有周期性凸起平台和坐标标记,通过显微镜实时观察以及原位操纵微纳操纵器,实现单个微纳米结构的精确定点转移;在微纳结构中转基片上能够完成对微纳米结构的初步表征分析;并且在显微镜的原位观察下,通过坐标标记原位查找待转移的单个微纳米结构,并通过微纳操纵器的转移探针将其从微纳结构中转基片上提取出来,再精确转移至目标衬底基片上的指定位置,转移定位精度能够优于1微米;采用静电吸附的原理,在保证转移探针的尖头探针清洁的情况下,不会在转移过程中引入不明杂质。

    一种桌上型显微分析制样用手套箱

    公开(公告)号:CN207155843U

    公开(公告)日:2018-03-30

    申请号:CN201721016449.2

    申请日:2017-08-15

    Applicant: 北京大学

    Inventor: 朱瑞 徐军 刘亚琪

    Abstract: 本实用新型公开了一种桌上型显微分析制样用手套箱。本实用新型的手套箱装置包括:主箱体、送样门、防腐蚀垫、照明装置、放大观察装置和排气装置;本实用新型在功能上一方面能够保证显微分析制样操作人员的安全,避免毒性粉末颗粒、易飞溅尖锐碎屑以及有毒性及腐蚀性的化学药品等的伤害;另一方面,能够保证样品在制备过程中不受外界污染;在设计上符合显微分析制样实验要求,灵活轻便,配置全面,巧妙设计了便捷的送样门,结合了照明和放大观察装置,并设计了实用高效的排气装置。本实用新型整体使用便捷,能够进行高效率样品制备,以及具有结构紧凑,占空间小,成本低等特点。

Patent Agency Ranking