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公开(公告)号：CN111912683A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010761186.8
申请日：2020-07-31
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于PDMS的块材转移固定方法，具体步骤如下,打开二维转移平台，将平台加热装置温度设置在65度，并使平台的样品台温度维持在65度左右，提前配置好环氧树脂，将清洗干净的放在烘台上95度烘烤2分钟，然后放置在二维转移平台的样品台上，本发明的一种基于PDMS的块材转移固定方法，同时可以使单晶上表面不被环氧树脂覆盖，能够确保与PDMS接触的单晶面不会被环氧树脂覆盖，调节夹片台和样品台的平面的水平位置，使单晶表面与衬底表面平行,在制备电极时侧面固化的环氧树脂，阻挡电极短路单晶的不同层。
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公开(公告)号：CN110455410A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910799322.X
申请日：2019-08-28
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种阵列谐振式太赫兹接收器及其太赫兹光谱仪装置。该太赫兹光谱仪装置基于阵列谐振式太赫兹接收器接收太赫兹波信号。阵列谐振式太赫兹接收器包括由若干组不同谐振频率的天线阵列。天线阵列由谐振单元按N×M行列排列组成。谐振单元为基于电感电容谐振原理的双开口谐振环结构。天线阵列最中心的谐振单元的双开口谐振环结构的中心部设有超导氮化铌热电子测辐射热计，并由超导氮化铌热电子测辐射热计桥接。实验证明，本发明在检测太赫兹光谱信号时具有很高的灵敏度，并且响应速度快，且易于片上集成，制备工艺简单方便，成本低，系统简单，易于推广。
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公开(公告)号：CN107564990B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710621411.6
申请日：2017-07-27
Applicant: 南京大学
IPC: H01L31/09 , H01L31/0232 , G01J11/00 , B82Y30/00
Abstract: 本发明公开了一种双带宽的超导纳米线单光子探测器，包括衬底、第一布拉格反射镜、硅层、二氧化硅层、氮化铌纳米线和第二布拉格反射镜；第一布拉格反射镜和第二布拉格反射镜中均包含有若干个周期的周期性介质层，且第一布拉格反射镜和第二布拉格反射镜所包含的周期数不同；第一布拉格反射镜设置在衬底的上表面，硅层设置在第一布拉格反射镜的上表面，二氧化硅层设置在硅层的上表面，氮化铌纳米线设置在二氧化硅层内部，第二布拉格反射镜设置在二氧化硅层的上表面。本发明的单光子探测器对G652和G655两种单模光纤所对应波段的光子的光子吸收率均超过95%，具有产业应用价值。
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公开(公告)号：CN108535305A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810288730.4
申请日：2018-03-30
Applicant: 南京大学
IPC: G01N23/2276
CPC classification number: G01N23/2276
Abstract: 本发明公开了一种基于元素成像对超导纳米线进行均匀性分析的方法，包括以下步骤：制备需要进行均匀性分析的纳米线条样品；对选定区域选定元素进行AES元素成像；将所得元素分布强度信息导入MATLAB；对所得信息进行横向分析，标定纳米线过渡区宽度参数；对所得信息进行纵向分析，标定纳米线边缘粗糙度参数。本发明提出了标定纳米线均匀性的参数，并通过实例说明给出了详细的分析方法，所得均匀性分析结果与实际超导纳米线制备情况相符，为判别超导纳米线质量提供了直观的标准。
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公开(公告)号：CN108169562A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201810115424.0
申请日：2018-02-06
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种利用微波实时改变机械振子频率的装置，包括：微波源、微波分束器、衰减器、无氧铜腔体、第一级放大器、第二级放大器、矢量网络分析仪、混频器、频谱分析仪和控制电脑，本发明将悬空电容样品作为微机械振子，同时电容的周围存在螺旋电感，螺旋电感与电容共同构成了LC谐振电路。利用微波驱动LC谐振电路形成电磁振荡，同时也会引起电容上极板薄膜的机械振动，这导致了电容上下极板间距离的变化，从而对LC谐振电路的谐振频率产生了调制作用。本发明还公开了一种利用微波实时改变机械振子频率的方法。本发明实现了在低温下通过改变微波的输入功率来调控机械振子的振动频率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106940224A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201710245163.X
申请日：2017-04-14
Applicant: 南京大学
IPC: G01J11/00
CPC classification number: G01J11/00
Abstract: 本发明提供一种抗背散射超导单光子探测器，包括时钟信号生成模块、激光器、门控源表及纳米线芯片，所述门控源表包括数模转换芯片和负载电阻，数模转换芯片的输出端通过负载电阻连接纳米线芯片；所述时钟信号生成模块用于为激光器和数模转换芯片提供PWM波信号；所述激光器用于发射光子，所述纳米线芯片用于接收光子；所述门控源表用于控制纳米线芯片工作。本发明可以在探测过程中，屏蔽近距离内的反射光子，使得光子接收不受近距离反射光子的影响，有效解决了超导纳米线单光子探测器背光致盲问题；可以将超导纳米线单光子探测器的应用扩展到浓雾等强背散射环境下激光测距和激光雷达应用，提高了探测器在大气层内使用的可靠性。
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公开(公告)号：CN105158561A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510624971.8
申请日：2015-09-25
Applicant: 南京大学
IPC: G01R23/16
Abstract: 本发明公开了一种基于无氧铜矩形谐振腔的可调传输子量子比特系统，包括：可调传输子量子比特；装配有超导线圈的无氧铜矩形谐振腔；用于屏蔽外部环境磁场的低温磁屏蔽筒；其中，所述可调传输子量子比特置于无氧铜矩形谐振腔内腔体的中心，所述可调传输子量子比特置于低温磁屏蔽筒内。本发明还公开了一种测量基于无氧铜矩形谐振腔的可调传输子量子比特能谱的方法。本发明实现了跃迁频率可调的传输子量子比特，对多量子比特耦合研究和量子调控有重要意义。
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公开(公告)号：CN104630709A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510115066.X
申请日：2015-03-17
Applicant: 南京大学
CPC classification number: C23C14/352 , C23C14/0682
Abstract: 本发明公开了一种利用磁控共溅射法制备铌硅薄膜的方法，包括以下步骤：（1）靶材选取，选取纯度均为99.999%均匀掺杂的块状Nb和Si作为磁控共溅射的靶材，将靶材放入磁控共溅射室；（2）衬底处理，对衬底依次用超声波、丙酮、酒精和氩离子清洗，放入磁控共溅射室；（3）制备铌硅薄膜，磁控共溅射室的真空度小于等于2×10-5 Pa，工作气体是氩气，调节溅射气压、溅射功率、沉积速率和靶材到衬底的距离，经过一定时间溅射制备薄膜。本发明制备出了符合预期，较为稳定的NbSi超导薄膜，并优化获得了最佳制备条件，为制备高灵敏的超导单光子探测器（SNSPD）奠定了基础。
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公开(公告)号：CN102916083B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210406138.2
申请日：2012-10-23
Applicant: 南京大学
CPC classification number: C23C14/021 , C23C14/185
Abstract: 本发明公开了一种基于掺杂的超导铌薄膜材料的纳米线单光子探测器的制备方法，包括如下步骤：将基片超声清洗并吹干；进行Ar离子洗；通过直流磁控溅射的方式生长掺杂的超导Nb薄膜；旋涂电子束抗蚀剂，然后对电子束抗蚀剂进行电子束光刻，在电子束抗蚀剂上绘制出宽度小于或等于100nm的线条图形；用反应离子刻蚀的方式进行刻蚀，将线条图形转移到Nb薄膜上，形成Nb纳米线条；清洗残留的电子束抗蚀剂，并在样品的表面旋涂光刻胶，通过深紫外曝光的方式在光刻胶上形成电极图形；生长电极。本发明克服了现有的Nb材料制备的SNSPD超导转变温度低，临界电流密度低，光响应波长短的难题。
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公开(公告)号：CN104393091A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201410496643.X
申请日：2014-09-25
Applicant: 南京大学
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/08 , G01J5/20 , H01L31/0312 , H01L31/09 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种基于六氮五铌薄膜的室温红外检测器，包括硅衬底，所述硅衬底上的二氧化硅层，所述二氧化硅层上的六氮五铌薄膜热敏层，以及所述六氮五铌薄膜热敏层两端与外部电路相连的金属薄膜电极。本发明还公开了制备上述室温红外检测器的方法。本发明的室温红外检测器工作于室温，具有较高灵敏度，响应速度快，且容易做成大规模阵列芯片。
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