一种化学机械抛光半导体晶片用的抛光液

    公开(公告)号:CN101235255B

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN200810010596.8

    申请日:2008-03-07

    IPC分类号: C09G1/02 H01L21/304

    摘要: 本发明一种化学机械抛光半导体晶片用的抛光液,属于化学机械抛光用的抛光液,特别涉及II-VI族化合物半导体晶片化学机械抛光用的抛光液领域。抛光液的pH值为0.5~7,粒径为5~20nm。抛光液组成成分是按重量百分比,其中磨料5-40%,表面活性剂0.1-10%,分散剂0.1-10%,螯合剂0.1-10%,氧化剂0.1-5%,pH调节剂0.1-5,其余为去离子水。本发明不腐蚀设备,不污染环境。抛光去除率高,达到200nm/min,抛光样品表面粗糙度低,可达到粗糙度Ra值在10埃以下。抛光液的配制方便,成本低,抛光后的表面无划痕和腐蚀坑等缺陷。

    一种生产大豆蛋白寡肽的方法

    公开(公告)号:CN1439720A

    公开(公告)日:2003-09-03

    申请号:CN03110987.X

    申请日:2003-01-30

    IPC分类号: C12P21/02

    摘要: 本发明属于酶催化技术领域。主要涉及酶解大豆蛋白制备寡肽(小于10个氨基酸的肽)的方法。其主要技术特征是,以大豆浓缩蛋白、大豆分离蛋白、脱脂大豆粉、大豆粕、豆饼中的任何一种为原料,在不外加碱的pH值渐变条件下,利用碱性蛋白酶与酸性蛋白酶或/和中性蛋白酶的协同水解作用得到寡肽。蛋白酶协同作用水解条件为温度30-70℃,时间2-24小时。底物浓度20-100克/升。本发明效果和优点是整个水解过程中不用向水解液中补加碱溶液,因此简化了产品的下游处理工艺,并有利于降低寡肽的生产成本。

    修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置

    公开(公告)号:CN100590795C

    公开(公告)日:2010-02-17

    申请号:CN200810228498.1

    申请日:2008-10-31

    摘要: 本发明修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置属于半导体加工领域,特别涉及修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置。首先通过基片的中心建立一个三维正交坐标系,X轴和Y轴分别垂直于基片的两个边,利用单晶定向仪确定基片在XOZ面偏离X轴角度和YOZ面上偏离Y轴角度,把基片放在塑料薄片方孔内,使基片要矫正的表面朝外,插好塑料管后,开启真空泵;夹具基体形状为T形结构,孔A、B和C的中心连线构成等腰直角三角形。本发明修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置保证基片在加工的过程中发生晶面偏差时能够同时在两个方向上进行修正,夹具结构简单,安装方便。

    一种生产大豆蛋白寡肽的方法

    公开(公告)号:CN1183258C

    公开(公告)日:2005-01-05

    申请号:CN03110987.X

    申请日:2003-01-30

    IPC分类号: C12P21/02

    摘要: 本发明属于酶催化技术领域。主要涉及酶解大豆蛋白制备寡肽(小于10个氨基酸的肽)的方法。其主要技术特征是,以大豆浓缩蛋白、大豆分离蛋白、脱脂大豆粉、大豆粕、豆饼中的任何一种为原料,在不外加碱的pH值渐变条件下,利用碱性蛋白酶与酸性蛋白酶或/和中性蛋白酶的协同水解作用得到寡肽。蛋白酶协同作用水解条件为温度30-70℃,时间2-24小时。底物浓度20-100克/升。本发明效果和优点是整个水解过程中不用向水解液中补加碱溶液,因此简化了产品的下游处理工艺,并有利于降低寡肽的生产成本。

    一种能减轻色变的大豆蛋白酶解方法

    公开(公告)号:CN1491572A

    公开(公告)日:2004-04-28

    申请号:CN03134188.8

    申请日:2003-08-28

    IPC分类号: A23J3/16 A23J3/34 A23L1/272

    摘要: 本发明属于酶催化技术领域,涉及一种能减轻色变的酶水解大豆蛋白制备小于10个氨基酸的寡肽混合物的方法。其主要技术特征是,在不外加碱的pH值渐变条件下进行蛋白质水解的同时,向水解罐中引入能阻止还原糖与氨基酸及蛋白质的氨基之间发生美拉德反应的抑制剂。本发明的效果和益处是,可以使大豆蛋白水解物的下游处理既省去脱盐步骤,又省去脱色步骤。

    一种生产胶原蛋白寡肽的方法

    公开(公告)号:CN1434124A

    公开(公告)日:2003-08-06

    申请号:CN03110986.1

    申请日:2003-01-30

    IPC分类号: C12P21/02

    摘要: 本发明属于酶催化技术领域。主要涉及酶解猪皮胶原制备寡肽(小于10个氨基酸的肽)的方法。其主要技术特征是,以猪皮胶原为原料,在不外加碱的pH值渐变条件下,利用碱性蛋白酶与酸性蛋白酶或/和中性蛋白酶的协同水解作用得到寡肽。用于酶解的猪皮原料为新鲜猪皮,蛋白酶协同作用水解条件为温度30-70℃,时间2-12小时。底物浓度20-100克/升。本发明的效果和优点是整个水解过程中不用向水解液中补加碱溶液,因此简化了产品的下游处理工艺,并有利于降低寡肽的生产成本。

    一种能减轻色变的大豆蛋白酶解方法

    公开(公告)号:CN1256032C

    公开(公告)日:2006-05-17

    申请号:CN03134188.8

    申请日:2003-08-28

    IPC分类号: A23J3/16 A23J3/34

    摘要: 本发明属于酶催化技术领域,涉及一种能减轻色变的酶水解大豆蛋白制备小于10个氨基酸的寡肽混合物的方法。其主要技术特征是,在不外加碱的pH值渐变条件下进行蛋白质水解的同时,向水解罐中引入能阻止还原糖与氨基酸及蛋白质的氨基之间发生美拉德反应的抑制剂。本发明的效果和益处是,可以使大豆蛋白水解物的下游处理既省去脱盐步骤,又省去脱色步骤。

    一种生产胶原蛋白寡肽的方法

    公开(公告)号:CN1209465C

    公开(公告)日:2005-07-06

    申请号:CN03110986.1

    申请日:2003-01-30

    IPC分类号: C12P21/02

    摘要: 本发明属于酶催化技术领域。主要涉及酶解猪皮胶原制备寡肽(小于10个氨基酸的肽)的方法。其主要技术特征是,以猪皮胶原为原料,在不外加碱的pH值渐变条件下,利用碱性蛋白酶与酸性蛋白酶或/和中性蛋白酶的协同水解作用得到寡肽。用于酶解的猪皮原料为新鲜猪皮,蛋白酶协同作用水解条件为温度30-70℃,时间2-12小时。底物浓度20-100克/升。本发明的效果和优点是整个水解过程中不用向水解液中补加碱溶液,因此简化了产品的下游处理工艺,并有利于降低寡肽的生产成本。

    修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置

    公开(公告)号:CN101393856A

    公开(公告)日:2009-03-25

    申请号:CN200810228498.1

    申请日:2008-10-31

    摘要: 本发明修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置属于半导体加工领域,特别涉及修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置。首先通过基片的中心建立一个三维正交坐标系,X轴和Y轴分别垂直于基片的两个边,利用单晶定向仪确定基片在XOZ面偏离X轴角度和YOZ面上偏离Y轴角度,把基片放在塑料薄片方孔内,使基片要矫正的表面朝外,插好塑料管后,开启真空泵;夹具基体形状为T形结构,孔A、B和C的中心连线构成等腰直角三角形。本发明修正基片晶面偏差的加工方法及夹具装置保证基片在加工的过程中发生晶面偏差时能够同时在两个方向上进行修正,夹具结构简单,安装方便。