公开(公告)号：CN210512934U

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201921505072.6

申请日：2019-09-10

申请人： 常山弘远电子有限公司

发明人： 王坚红 ,  徐明成 ,  陈锋 ,  黄国军 ,  王锋

IPC分类号： G01B5/06

摘要： 本实用新型公开了一种晶圆的厚度测量装置，涉及精密测量仪器领域。包括台架、测量架、固定测量杆、活动测量杆、测量表，测量架竖直安装在台架上，测量架的中间设有一个跑道型的测量通孔，固定测量杆安装在测量架上，活动测量杆安装在测量架上，与固定测量杆的位置相对应，活动测量杆中设有弹簧，弹簧将活动测量杆顶出与固定测量杆的伸出位置相互接触，相互接触位置设为零点值，测量表设置在测量架中活动测量杆处的外侧边，测量表与所述活动测量架相互连接，本实用新型能够通过测量表的测针与硬质合金头点对点测量，具有最大减少因晶圆翘曲造成的测量误差、减少晶圆与传统的测量器具造成的损伤、全面测量晶圆每个区域的优点。

公开(公告)号：CN210223970U

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201921603104.6

申请日：2019-09-25

申请人： 常山弘远电子有限公司

发明人： 王坚红 ,  徐明成 ,  陈锋 ,  黄国军 ,  王锋

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677

摘要： 本实用新型涉及晶圆分裂设备技术领域，尤其涉及一种晶圆旋转底座裂片装置,解决现有技术中存在的晶圆裂片品质不良的缺点，包括固定圆盘、旋转圆盘和滚压装置，固定圆盘上设有固定轴，且固定圆盘上设有多个磁铁块，旋转圆盘的底部设有滚动轴承，且固定轴由滚动轴承固定承载，旋转圆盘底部设有多个磁铁块，滚压装置包括把手、安装框、和滚压筒，滚压筒通过转轴转动连接在安装框之间，且把手设置在安装框上，安装框的两侧均设有侧固定块，且侧固定块的下端设有弹簧，且弹簧的下端设有导向滚轮，本实用新型结构简单，操作方便，旋转定位精准，从而使得晶圆裂片方向定位精准，有效地提高了裂片后晶粒的良品率。