公开(公告)号：CN203929026U

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201420255041.0

申请日：2014-05-16

申请人： 新特能源股份有限公司

发明人： 杨勇 ,  谭忠芳 ,  呼维军 ,  王文 ,  梁立刚 ,  高向阳

IPC分类号： G01B11/08

摘要： 本实用新型提供一种多晶硅棒生长直径的测量装置，包括：测微尺，其水平地固定在还原炉的视窗外；光学镜片单元，能够沿测微尺水平移动，用于将其视野拉近以放大或者推远以缩小通过其观察到的多晶硅棒，并能得出缩放倍数，且光学镜片单元的背离视窗一侧的镜片上设置有标记，以标定其视野内的多晶硅棒的左、右边缘的位置；计算单元，与显示单元相连，用于根据标记分别对准多晶硅棒的左边缘位置处和右边缘位置处时，光学镜片单元沿测微尺水平移动的距离和光学镜片单元的缩放倍数计算出多晶硅棒的生长直径，并输出至显示单元；显示单元，用于显示多晶硅棒的生长直径。本实用新型所述装置能够在多晶硅的生产过程中准确测量多晶硅棒的生长直径。

公开(公告)号：CN203811088U

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201420152952.0

申请日：2014-03-31

申请人： 新特能源股份有限公司

发明人： 杨勇 ,  谭忠芳 ,  呼维军 ,  梁立刚 ,  王文

IPC分类号： G01B5/08

摘要： 本实用新型提供一种用于监测硅棒的生长直径的装置，包括石墨卡帽和垂直安装于石墨卡帽之上的监测棒，所述监测棒和石墨卡帽的轴心平行设置，且所述监测棒与石墨卡帽的轴心之间的距离略大于硅棒的预设半径，所述硅棒形成于石墨卡帽的轴心位置处。本实用新型所述用于监测硅棒的生长直径的装置能够很好地监测硅棒，尤其是原料硅棒的生长直径。