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公开(公告)号：CN107621248A
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201710576085.1
申请日：2017-07-14
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G05B19/401 , G01B5/008 , G01B21/04 , G01B21/042 , G01B21/20 , G05B19/041 , G05B2219/37043 , G05B2219/37374 , G05B2219/37411 , Y02P90/265
Abstract: 本发明涉及一种形状测量设备的控制方法。根据合成速度矢量V来生成扫描测量中的探测器移位指令：V＝Gf·Vf+Ge·Ve+sg(p)·Gc·Vc2其中：Vf是探测器沿着扫描路径移位所沿着的矢量；Ve是使探测器的向着工件的压入量维持于标准压入量的矢量。Vc2由(Vc1·q)q来表示，Vc1是在校正探测器位置使得触针头沿着扫描轨道取向的方向上的矢量，q是由工件的表面的法线与Vf的外积给出的矢量。将被测面的法线方向指定为Nw，p是Vc和Nw的内积，并且sg(p)是根据p的值而返回+1或-1的函数。
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公开(公告)号：CN1211724A
公开(公告)日：1999-03-24
申请号：CN98119174.6
申请日：1998-09-11
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G05B19/41
Abstract: 这里公开一种探针坐标系统驱动装置,其中,在一坐标测量机里,一探针可沿着与探针的位置一致的方向被驱动,从而通过操作操纵杆可方便地驱动探针。还提供一通过设定仰角α和旋转角β可自由地改变探针位置的探头,而根据设定的角可获得表示与探针位置一致的探针坐标系统的轴的单位方向矢量。将通过因操纵者操纵而由操纵杆工作台输出的三个电信号和三个单位方向矢量的无向积而获得的矢量合成以计算驱动矢量,并按照该驱动矢量控制对坐标测量机的驱动。
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公开(公告)号：CN108458642B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201810090762.3
申请日：2018-01-30
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 野田孝
IPC: G01B5/20
Abstract: 提供一种形状测定装置的控制方法，该形状测定装置能够控制五个轴。形状测定装置包括探针头及坐标测量机，该探针头通过第一驱动轴及第二驱动轴的旋转而改变其姿势，该坐标测量机通过三个平移轴(第三驱动轴至第五驱动轴)而使该探针头的位置变化。将第一旋转轴与第二旋转轴的交点设定为旋转中心Q。首先计算出第一驱动轴至第五驱动轴的每个控制周期的插值点，然后根据考虑第一驱动轴及第二驱动轴的插值点(αi、βi)的值的规定变换式将测定端的插值点的坐标值变换为旋转中心Q的坐标值，并将其设定为控制用插值点Qi。第三驱动轴至第五驱动轴的位置被控制到控制用插值点Qi并且第一驱动轴及第二驱动轴的位置被控制到插值点(αi、βi)。
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公开(公告)号：CN100476348C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200510073330.4
申请日：2005-05-31
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 野田孝
CPC classification number: G01B5/20 , G01B5/008 , G01B21/045 , G05B2219/37359 , G05B2219/37402 , G05B2219/43124
Abstract: 本发明提供一种能够根据被测定物表面的状态，适当地调整仿形速度和采样间隔等测定条件的表面仿形测定装置等。为此，表面仿形测定装置包括：根据在进行仿形扫描的过程中所取得的测定数据，计算扫描地点的曲率半径的曲率半径计算装置(543)；根据所计算出的曲率半径，确定仿形探头的行进速度的行进速度确定部(544)；以及根据所计算出的曲率半径，确定采样间隔的采样间隔确定部(546)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100419371C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200410091666.9
申请日：2004-11-24
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B21/045 , G01B5/20
Abstract: 测量系统包括有驱动仿形测头的三坐标测量机和主机。主机备有修正表(53)和形状解析部(54)。修正表(53)在每个接触方面上都存储了作为修正数据的用于修正测头计数器(415)的计数值的修正系数和与接触部的中心坐标值相对应的到被测量物表面的修正半径r。形状解析部(54)包括接触方向算出部(542)、修正数据选择部(543)和修正运算部(544)。用接触方向算出部(543)算出仿形测头和被测量物(W)的接触方向，修正数据选择部(543)根据该接触方向选择设定在修正表(53)中的修正数据。
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公开(公告)号：CN100348946C
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200410048329.1
申请日：2004-06-17
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 野田孝
CPC classification number: G01B5/008
Abstract: 本发明提供一种表面仿形测量装置，该装置具有仿形测头(2)、驱动机构(12)、操纵杆(32)、行进向量指令部(43)、压入向量指令部(51)、仿形向量指令部(44)、及驱动控制电路(45)；其中，仿形测头具有测头传感器(24)，对被测量物表面进行仿形扫描；驱动机构使仿形测头移动；操纵杆由手动操作输入和指示方向和大小；行进向量指令部生成由操纵杆指示的方向和大小的行进向量；压力向量指令部根据测头传感器的检测值生成指令压入方向的移动的压入向量；仿形向量指令部合成行进向量和压入向量，生成仿形向量；驱动控制电路根据仿形向量对驱动机构进行驱动控制。
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公开(公告)号：CN100340958C
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN98119174.6
申请日：1998-09-11
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G06F3/033 , G01B21/20 , G05B19/401
CPC classification number: G05B19/41
Abstract: 这里公开一种探针坐标系统驱动装置，其中，在一坐标测量机里，一探针可沿着与探针的方向一致的方向被驱动，从而通过操纵操纵杆可方便地驱动探针。还提供一通过设定仰角α和旋转角β可自由地改变探针方向的仰角和旋转角的探头，方向而根据设定的角可获得表示与探头方向操纵装置输出一致的探针坐标系统的轴的单位方向矢量。将通过因操纵者操纵而由操纵杆工作台输出的三个电信号和三个单位方向矢量的无向积而获得的矢量合成以计算驱动矢量，并按照该驱动矢量控制对坐标测量机的驱动。
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公开(公告)号：CN1704718A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN200510073330.4
申请日：2005-05-31
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 野田孝
CPC classification number: G01B5/20 , G01B5/008 , G01B21/045 , G05B2219/37359 , G05B2219/37402 , G05B2219/43124
Abstract: 本发明提供一种能够根据被测定物表面的状态，适当地调整仿形速度和采样间隔等测定条件的表面仿形测定装置等。为此，表面仿形测定装置包括：根据在进行仿形扫描的过程中所取得的测定数据，计算扫描地点的曲率半径的曲率半径计算装置(543)；根据所计算出的曲率半径，确定仿形探头的行进速度的行进速度确定部(544)；以及根据所计算出的曲率半径，确定采样间隔的采样间隔确定部(546)。
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公开(公告)号：CN1621778A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN200410091666.9
申请日：2004-11-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
CPC classification number: G01B21/045 , G01B5/20
Abstract: 测量系统包括有驱动仿形测头的三坐标测量机和主机。主机备有修正表(53)和形状解析部(54)。修正表(53)在每个接触方面上都存储了作为修正数据的用于修正测头计数器(415)的计数值的修正系数和与接触部的中心坐标值相对应的到被测量物表面的修正半径r。形状解析部(54)包括接触方向算出部(542)、修正数据选择部(543)和修正运算部(544)。用接触方向算出部(543)算出仿形测头和被测量物(W)的接触方向，修正数据选择部(543)根据该接触方向选择设定在修正表(53)中的修正数据。
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