一种新型增强型GaN HEMT器件结构

    公开(公告)号:CN112968059B

    公开(公告)日:2022-04-19

    申请号:CN202110154220.X

    申请日:2021-02-04

    Inventor: 翁加付 周炳

    Abstract: 本发明提供一种新型增强型GaN HEMT器件结构,由如下步骤制备而成:外延生长;PN结栅叠层生长;Si基GaN外延晶片清洗;光刻及对准标记形成;台面隔离;刻蚀PN结叠层;源、漏欧姆接触;钝化层沉积;栅槽刻蚀;栅金属沉积;保护层沉积;开孔及金属互联。本发明以p型栅为基础设计了PN结栅型GaN HEMT,通过在p‑GaN上面加了一层n‑GaN,形成PN结,利用PN结在栅加电压时,PN结反向偏置,增大栅极击穿电压Vg,具有大的栅压摆幅,非常适合于功率开关的应用,可以获得更大的栅极驱动偏置以确保安全操作。

    一种提高GaN HEMT界面质量的方法

    公开(公告)号:CN112993029A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202110154226.7

    申请日:2021-02-04

    Inventor: 翁加付 周炳

    Abstract: 本发明提供一种提高GaN HEMT界面质量的方法,包括如下步骤:外延生长;Si基GaN外延晶片清洗;光刻及对准标记形成;台面隔离;源、漏欧姆接触;钝化层沉积;栅槽刻蚀;紫外/O2处理;栅金属沉积;保护层沉积;开孔及金属互联。本发明采用有效波长为85%254nm和15%185nm紫外热阴极低压汞蒸汽灯,加上氧气对栅金属沉积前进行预处理生成Ga2O界面介质层,不仅具有低成本无污染的优势而且还有效提高了界面质量,有利于器件的产业化应用。

    一种窄带隙有机-无机低维杂化材料及其合成方法

    公开(公告)号:CN109371470A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811281294.4

    申请日:2018-10-30

    Abstract: 本发明公开了一种窄带隙有机-无机低维杂化材料及其合成方法。具体实验步骤如下:量取10.00~15.00mL乙二胺溶液于三口烧瓶中,在冰水浴条件下边搅拌边缓慢滴加45.00~60.00mL的浓度为45%氢碘酸溶液,磁力搅拌2~5小时,将混合溶液放入培养皿中60~80℃干燥20~30小时,得到白色晶体,将此白色晶体用30.00~60.00mL乙醚洗涤2~4次,然后60~80℃条件下真空干燥20~30小时,得到白色粉末A。称取5.0~5.5mmol Bi2O3加入样品瓶中,加入5~10mL的浓度为45%氢碘酸溶液得到澄清溶液,随后加入10.0~11.00mmol上述白色粉末A,将得到的反应液放入水热反应釜中,在90℃条件下保温10h;冷却至室温,在反应釜底部会生成晶体,即为(NH3CH2CH2NH3)Bi2I10晶体。其带隙约为1.89eV,并且其稳定性可达310℃,可以在空气中稳定存放15天左右。

Patent Agency Ranking