一种高质量钙钛矿厚膜及其制备方法和用途

    公开(公告)号:CN116940190A

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202310980247.3

    申请日:2023-08-04

    Abstract: 本发明涉及一种高质量钙钛矿厚膜及其制备方法和用途,包括将95‑105℃的过饱和浓度的钙钛矿前驱体溶液滴加到基底上,用不同狭缝高度的刮刀、以不同速度进行多次刮涂的步骤,通过特定的工艺,解决了现有技术中难以控制钙钛矿膜厚度以及钙钛矿厚膜缺陷密度高导致辐射探测器具有较高暗电流密度的技术问题,能够灵活、方便的进行钙钛矿厚膜的制备,获得了具有低缺陷密度、高致密度、高均匀性的钙钛矿厚膜,本发明具有低成本、制备方便、可大面积生产等优势,所需温度在200℃以下,尤其是刮涂和退火过程均在大气环境下即可完成,有利于工业化生产。

    一种中低温光热电协同催化氧化VOCs的催化剂的制备方法及应用

    公开(公告)号:CN113398904B

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202110491960.2

    申请日:2021-05-06

    Abstract: 本发明公开了一种中低温光热电协同催化氧化VOCs的催化剂的制备方法及应用,首先通过热电材料对二氧化钛纳米管外表面修饰,然后利用真空辅助超声浸渍的方法结合焙烧等工艺制备了热电材料表面修饰的二氧化钛纳米管限域过渡态金属氧化物活性组元的中低温光热电协同催化氧化VOCs的催化剂,构建热电‑限域协同光热催化氧化构效体系,充分利用光能、热能及电能之间的相互作用,光‑热‑电协同来有效调控纳米管限域组元的催化特性从而实现对内嵌过渡态金属氧化物活性组元的电子特性与结构的调控,实现光能利用的最大化及性能的最优化,实现中低温高效快速催化氧化VOCs。

    一种基于深硅刻蚀的柔性硅片的制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN111081541B

    公开(公告)日:2022-07-01

    申请号:CN201910995909.8

    申请日:2019-10-18

    Inventor: 彭英 苗蕾

    Abstract: 本发明公开了一种基于深硅刻蚀的柔性硅片及其制备方法。一种基于深硅刻蚀的柔性硅片的制备方法,包括如下步骤:将清洗后的硬质硅片非刻蚀面涂覆导热硅油,使硬质硅片吸附在工作台上,通过深硅刻蚀工艺刻蚀硬质硅片到设计厚度,所述的深硅刻蚀工艺参数为,刻蚀气体流量为80‑300sccm,保护气体的流量为10‑30sccm,工艺总时间为45‑90min,硅刻蚀速度为1‑10μm/min,待刻蚀完成后,去除刻蚀硅片上的导热硅油后,获得柔性硅片。本发明提出的柔型硅片的制备方法易于实现自动化操作,工艺稳定,适合大规模量产,且制备得到的柔性硅片柔韧性很好,能够满足柔性半导体器件的工艺需求,具有很好的推广价值。

    一种中低温光热电协同催化氧化VOCs的催化剂的制备方法及应用

    公开(公告)号:CN113398904A

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN202110491960.2

    申请日:2021-05-06

    Abstract: 本发明公开了一种中低温光热电协同催化氧化VOCs的催化剂的制备方法及应用,首先通过热电材料对二氧化钛纳米管外表面修饰,然后利用真空辅助超声浸渍的方法结合焙烧等工艺制备了热电材料表面修饰的二氧化钛纳米管限域过渡态金属氧化物活性组元的中低温光热电协同催化氧化VOCs的催化剂,构建热电‑限域协同光热催化氧化构效体系,充分利用光能、热能及电能之间的相互作用,光‑热‑电协同来有效调控纳米管限域组元的催化特性从而实现对内嵌过渡态金属氧化物活性组元的电子特性与结构的调控,实现光能利用的最大化及性能的最优化,实现中低温高效快速催化氧化VOCs。

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