一种柔性硅基纳米薄膜热电器件

    公开(公告)号:CN105870314A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610263449.6

    申请日:2016-04-26

    CPC classification number: H01L35/28 H01L35/12 H01L35/34

    Abstract: 本发明提出了一种柔性硅基纳米薄膜热电器件,包括柔性玻璃基底,在所述柔性玻璃基底上设置有硅基纳米薄膜热电臂、石墨烯电极、石墨烯涂层,所述硅基纳米薄膜热电臂采用物理气相沉积技术沉积在所述柔性玻璃基底上,所述硅基纳米薄膜热电臂之间采用石墨烯电极进行连接。本发明采用柔性玻璃基底,沉积在基底表面的纳米硅基薄膜在制备过程中可以采用高温快速退火工艺,有利于量子点和超晶格的生成,大幅提高硅基纳米薄膜热电性能。

    一种薄膜热电器件性能测试系统及方法

    公开(公告)号:CN116256572A

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202211497199.4

    申请日:2022-11-27

    Abstract: 本发明提供的是一种可用于薄膜热电器件的热电器件性能参数测试系统及方法,系统包括:待测薄膜热电器件1、热端上顶板2、热端上夹板3、热端下夹板5、热端支撑板固定螺母6、热端固定柱7、加热片8、热端下底板9、热端支撑板10、支撑底板11、冷端固定柱12、冷端支撑板13、半导体制冷片14、冷端下夹板15、冷端夹板固定螺母16、冷端下底板17、冷端上顶板18、冷端上夹板19、上位机控制模块20、下位机控制模块21、程控电阻箱22、电压表23及冷端支撑板固定螺母24。方法包括:1、调节所述冷端固定柱12按所述待测薄膜热电器件1尺寸进行冷端及热端固定。2、设定所述待测薄膜热电器件1的冷热端温度并进行温度控制。3、对所述程控电阻箱22进行阻值切换并记录电压值数据。4、根据阻值及电压数据计算开路电压、内阻、最大输出功率及塞贝克系数。按照尺寸本发明实现了对不同尺寸薄膜热电器件的测试并能够在上位机控制模块20准确实时显示待测器件的多种性能参数。

    一种基于深硅刻蚀的柔性硅片及其制备方法

    公开(公告)号:CN111081541A

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201910995909.8

    申请日:2019-10-18

    Inventor: 彭英 苗蕾

    Abstract: 本发明公开了一种基于深硅刻蚀的柔性硅片及其制备方法。一种基于深硅刻蚀的柔性硅片的制备方法,包括如下步骤:将清洗后的硬质硅片非刻蚀面涂覆导热硅油,使硬质硅片吸附在工作台上,通过深硅刻蚀工艺刻蚀硬质硅片到设计厚度,所述的深硅刻蚀工艺参数为,刻蚀气体流量为80-300sccm,保护气体的流量为10-30sccm,工艺总时间为45-90min,硅刻蚀速度为1-10μm/min,待刻蚀完成后,去除刻蚀硅片上的导热硅油后,获得柔性硅片。本发明提出的柔型硅片的制备方法易于实现自动化操作,工艺稳定,适合大规模量产,且制备得到的柔性硅片柔韧性很好,能够满足柔性半导体器件的工艺需求,具有很好的推广价值。

    一种柔性N型尼龙基硒化银热电薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN115483341A

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN202210977209.8

    申请日:2022-08-15

    Abstract: 本发明公开了一种柔性N型尼龙基硒化银热电薄膜的制备方法,先通过溶剂热法合成硒化银颗粒然后在乙二醇中均匀分散,之后均匀滴涂在玻璃纤维滤膜上,再经过放电等离子体烧结(SPS)处理,得到均匀致密的柔性尼龙基硒化银薄膜。本发明制备得到的薄膜热电性能较为优异,所采用的放电等离子体烧结(SPS)工艺可对薄膜微观形貌及载流子传输特性进行调控,降低了薄膜中的银含量,形成有序纤维结构,从而降低了载流子浓度并提高了载流子迁移率,使得Seebeck系数和电导率同时增强,该方法工艺简单,制备周期短,安全无污染,得到的薄膜热电性能优异,柔性良好。

    一种硼、铝双掺的硅锗基热电材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN113921690A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202111006809.1

    申请日:2021-08-30

    Abstract: 本发明公开了一种硼、铝双掺的硅锗基热电材料及其制备方法。一种硼、铝双掺的硅锗基热电材料的制备方法,包括如下步骤:(1)在惰性气氛保护下,将原材料加入混合容器中,使原材料混合均匀,得到混合均匀的前驱粉体;(2)将上述(1)中的前驱粉体装入可上下施加压力的模具中进行预压实;(3)将装有前驱粉体的模具转移到反应容器中,进行反应,冷却后,得到硼、铝双掺的硅锗基热电材料。本发明通过特定含量的硼与铝双掺杂,并结合特定合成工艺,综合提升硅锗基热电材料的性能,本发明制备的硅锗基热电材料,易于实现工业化制备,且在更低温度时,能实现更高的ZT值,可大幅提升其热电转化效率及获得更广阔的应用。

    一种柔性N型碲化银纳米线热电薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN106505142B

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201610831800.7

    申请日:2016-09-19

    Abstract: 本发明公开了一种柔性N型碲化银纳米线热电薄膜的制备方法,该方法包括以下步骤:将碲化银纳米线与聚乙烯吡咯烷酮混合,超声分散在溶剂中得到碲化银纳米线分散液;在真空抽滤的条件下,将碲化银纳米线分散液均匀滴涂在玻璃纤维滤膜上,于75℃真空烘干得到粘附在玻璃纤维滤膜上的碲化银纳米线薄膜;将其夹在两张复印纸之间,放置于压片机中挤压成型,然后用刷子去掉碲化银纳米线薄膜背面的玻璃纤维滤膜碎片,置于真空烘箱中退火得到目标产物。本发明简单可控、制备周期短、安全无污染、能耗低、得到的薄膜热电性能优异,柔性良好,可以灵活地根据玻璃纤维膜的大小及形状制备出不同大小及形状的柔性热电薄膜,具有广阔的应用前景。

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