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公开(公告)号：CN109896500A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910162534.7
申请日：2019-03-05
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法，制造工艺是在基底上制备一个网格凹槽的光刻胶模具，在光刻胶模具上刮涂碳纳米管及聚乙烯醇，加热定型制备出凹槽内有网格型结构的光刻胶模具；再将光刻胶模具置于可溶解光刻胶的溶液中，牺牲光刻胶模具获得无基底的网格型结构，在网格型结构上镀金，获得网格型传感结构；网格型传感结构的声波检测方法是先营造磁场环境，将网格型传感结构置于磁场环境中，磁场环境的磁感线方向与网格型传感结构网格方形的一条边接近平行，沿着不平行磁感线方向的网格型传感结构网格方形的另一条边引出导线形成闭合回路，获得感应电流信号；本发明制造工艺简单，能检测空气介质微弱声波传递。
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公开(公告)号：CN109887768A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910270471.7
申请日：2019-04-04
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01G11/86 , H01G11/36 , H01L23/373
Abstract: 一种直立石墨烯的卷对卷制造方法，利用辊压印技术连续制备大深宽比微结构，利用微结构调制石墨烯流动定向组装行为，实现石墨烯片层由水平层状堆叠变为直立定向组装，实现了直立石墨烯的卷对卷大规模制备；本发明可用于三明治结构超级电容器，使电场方向与片层取向平行，形成快速离子通道，解决了石墨烯超级电容器大膜厚高负载与离子传输距离之间的制约关系，同时突破叉指结构微型超级电容器对负载能力的限制；适用于芯片散热器，引导热量沿导热率高的方向定向传导，实现了有限空间内高效散热，对于CPU等集成芯片制造有着重要意义。
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公开(公告)号：CN108063183A
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201711240330.8
申请日：2017-11-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: H01L41/277 , H01L41/312 , H01L41/333
CPC classification number: H01L41/277 , H01L41/312 , H01L41/333
Abstract: 一种基于纳米压印制备封闭多孔压电驻极体俘能器的方法，先进行压印模具的制备及处理，再进行压电驻极体薄膜制备，然后进行压印及脱模，得到压电驻极体的孔状薄膜；再将多张孔状薄膜键合形成多层封闭多孔膜；进行电晕驻极，最后进行多层封闭多孔膜两端溅射工作电极，本发明封闭孔腔室能够极大提高电荷存储强度和稳定性，多层孔结构能提高力电转换效率，提高俘能器输出。
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公开(公告)号：CN106395729B
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201610887764.6
申请日：2016-10-11
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于液晶弹性聚合物的干粘附功能结构及制造工艺，功能结构包含两层结构，顶层为隆起状态的蘑菇状阵列结构，底层为高弹性模量聚合物的凹槽结构，制造工艺是先进行顶层蘑菇状阵列结构的制备，然后进行底层高弹性模量聚合物的凹槽结构，再把顶层蘑菇状阵列结构和底层高弹性模量聚合物的凹槽结构粘结在一起形成复合结构，最后进行顶层液晶弹性聚合物蘑菇状阵列结构电致动特性的激活，制造出隆起状态的液晶弹性聚合物的顶层蘑菇状阵列结构和底层高弹性模量聚合物凹槽结构复合的功能结构，基于液晶弹性聚合物的干粘附功能结构能够在保持蘑菇状阵列结构高粘附强度的前提下，实现干粘附功能结构在电场调控下的可控脱附与粘附。
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公开(公告)号：CN104614410B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201510039153.1
申请日：2015-01-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于纳米间隙电极的柔性pH传感器及制造方法，柔性pH传感器包括柔性衬底，在柔性衬底上旋涂环氧树脂层，在环氧树脂层上制备一对以上的50～500纳米的纳米间隙电极，在每一对纳米间隙电极之间组装羧基功能化单壁碳纳米管，制造方法是先制作羧基功能化单壁碳纳米管悬浮液，然后制备纳米间隙电极，再介电泳组装羧基功能化单壁碳纳米管，最后进行柔性pH传感器预处理，去除与纳米间隙电极连接较弱的羧基功能化单壁碳纳米管并保留与纳米间隙电极强作用的羧基功能化单壁碳纳米管。本发明柔性pH传感器结构简单，适用范围广、灵敏度高、响应速度快、测试电压较低并且能够与集成电路相容，具有广大的发展前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103771336B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201410027619.1
申请日：2014-01-21
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
CPC classification number: H02N2/22 , H01L41/193 , H01L41/45 , H02N2/18 , H02N2/181 , H02N2/186 , Y10T29/42 , Y10T29/49124 , Y10T29/49153
Abstract: 一种基于压电聚合物微结构阵列的俘能器制造方法，先在导电基材上制备压电聚合物微柱阵列，然后使用另一块平板电极作为上电极，与基材形成一对平行平板电极，并在电极间施加直流电压，当加热基材至压电聚合物的玻璃态转换温度以上时，受电场力诱导作用，微柱阵列重新流变直至接触上电极形成具有蘑菇状顶部的大深宽比微柱阵列，在电场诱导流变的过程中，压电聚合物微结构化的同时其内部分子沿电场方向取向，获得具有强压电效应的微型俘能器，本发明得到的压电聚合物微结构阵列连接上下电极直接形成最终需要的器件，不需要复杂的工艺控制，大大降低了加工成本，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN104330841A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410604446.5
申请日：2014-10-30
Applicant: 西安交通大学
CPC classification number: G02B3/0012
Abstract: 一种数值孔径可控的微透镜阵列的电辅助制造方法，采用透明导电玻璃作为基材，先在基材上制备介电层，再在介电层上制备微型液滴阵列，然后搭接直流电源，将透明导电玻璃的导电面接入电压负极端，并将插入微型液滴的铜丝电极接入电压的正极端施加电压，增大电压可减小微型液滴的表观接触角，同时增大微型液滴的曲率半径，对不同的微型液滴施加不同的电压可获得不同的曲率半径，最后撤去电压并抬起铜丝电极，采用紫外灯箱辐照将成型的微型液滴阵列固化，获得变数值孔径的固态微透镜阵列，本发明在电润湿作用下能够精确且可重复地调控微型液滴的接触角，实现了在同一个光学器件上获得具有不同数值孔径的微透镜阵列。
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公开(公告)号：CN103613064B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201310548925.5
申请日：2013-11-07
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种平板约束下的蒸发诱导纳米粒子线自组装方法，将纳米粒子胶体溶液从盖板-支架-基材结构侧面边缘滴加，并利用毛细力作用填充到盖板-支架-基材结构所形成的间隙中；然后平移放置到水平热板上，发生纳米粒子的沉降和粘滞，形成一条纳米粒子的密排单层线；溶液固-液-气三相接触线重复的粘滞-退却过程，会在基材表面形成周期性分布的纳米粒子密排单层线阵列；利用以上步骤所形成的纳米粒子密排单层线阵列为掩膜对基材材料进行干法刻蚀，通过控制刻蚀参数，形成不同结构的纳米柱子、纳米锥阵列结构，或者微米槽；本发明方法简单，容易操作，成本低廉，工艺可控性较强，且可以高效率地制备较大面积的纳米结构阵列。
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