公开(公告)号：CN115498098A

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202211189216.8

申请日：2022-09-28

申请人： 南京航空航天大学

发明人： 季宏丽 ,  杜月敏 ,  渠娇 ,  裘进浩 ,  张超 ,  陶骢翀

IPC分类号： H01L41/18 ,  H01L41/09 ,  H01L41/37 ,  H01L41/277 ,  H01L41/257 ,  H02N2/00

摘要： 本发明提供了一种压电复合材料、驱动器及其制备方法，涉及压电复合材料驱动器技术领域，其中压电复合材料包括：自上而下依次设置的上交指型电极层、压电纤维复合层和下交指型电极层；上交指型电极层、压电纤维复合层和下交指型电极层均为平行四边形结构；压电纤维复合层上嵌设有压电陶瓷纤维阵列；压电陶瓷纤维阵列为平行四边形结构。通过设置平行四边形的压电陶瓷纤维阵列，能够增大驱动器的有效面积，进而提高驱动器的驱动效果。

公开(公告)号：CN112234138B

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN202011168250.8

申请日：2020-10-28

申请人： 中科传感技术(青岛)研究院

发明人： 赵兵 ,  段连威 ,  彭大松 ,  李文文 ,  宫丹丹

IPC分类号： H01L41/187 ,  H01L41/277 ,  C04B35/622

摘要： 本发明专利公布一种大尺寸多层压电陶瓷的制备方法，包括流延膜片打孔、丝网印刷、叠层、等静压、切割、排胶、烧结、极化等工艺步骤。发明专利涉及多层压电陶瓷制作领域。本发明提供的制备方法适用于多层压电陶瓷片长度>3cm,宽度>3cm的制备，扩展了压电陶瓷在大驱动领域的应用。

公开(公告)号：CN110265543B

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN201910521336.5

申请日：2019-06-17

申请人： 中北大学

发明人： 李晨 ,  孙博山 ,  熊继军

IPC分类号： H01L41/083 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/277 ,  H01L41/293 ,  G01L1/14 ,  G01L9/12

摘要： 本发明公开了一种差动电容式陶瓷耐高温压敏芯片及其高温压力传感器，该压敏芯片由生瓷片与Pt浆料通过高温烧结而成，包括经叠片技术层压成一个整体的第一生瓷片、第二生瓷片、第三生瓷片、第四生瓷片、第五生瓷片、第六生瓷片、第七生瓷片、第八生瓷片；第一生瓷片的下表面丝印一电容上极板Pt浆料层，第二生瓷片上开设有与电容上极板Pt浆料层相配合的第一空腔；第三生瓷片的下表面丝印一电容中间板Pt浆料层，第五生瓷片的下表面丝印一电容下极板Pt浆料层。本发明可实现高温环境下压力参数的动态精准测量，且后端电路无需进行温度补偿、灵敏度高、可靠性高、动态响应快、稳定性好。

公开(公告)号：CN112216786B

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN201910665258.6

申请日：2019-07-23

申请人： 北京大学 ,  新奥科技发展有限公司

发明人： 董蜀湘 ,  袁小婷 ,  高翔宇 ,  杨继昆 ,  沈心怡 ,  聂革 ,  齐会龙

IPC分类号： H01L41/083 ,  H01L41/113 ,  H01L41/053 ,  H01L41/277

摘要： 本发明公开了一种柔性压电高分子微机械能采集器及其制备方法。本发明采用将并联的多层压电薄膜沿长度方向缠绕在高分子弹性体的侧壁上，将并联电极用导线引出；高分子弹性体受到沿轴向的外力施加在高分子弹性体上，由于上下表面的弧度，通过弯张机理，将沿轴向的力放大并转变成沿径向的应力，施加到多层压电薄膜上，提高施加到压电薄膜上的应力；多层压电薄膜通过压电效应，将应力转化成电能；本发明采用多层压电薄膜的并联结构，使得电容增加，降低内阻抗，增强有效的压电响应，从而提高压电能量回收器的输出电流和功率密度；本发明在微能源领域具有很好的应用前景。

公开(公告)号：CN109273591B

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN201811002681.X

申请日：2018-08-30

申请人： 广州大学

发明人： 赵若红 ,  周新雨 ,  徐安 ,  傅继阳 ,  刘爱荣 ,  吴玖荣

IPC分类号： H01L41/277 ,  H01L41/37 ,  H01L41/083 ,  H01L41/18 ,  C04B33/13 ,  C04B33/135 ,  C04B33/138 ,  C04B41/88

摘要： 本发明公开了一种碱激发粉煤灰矿渣压电传感器及其制备方法。其制备方法包括：将粉煤灰和矿渣按质量比为7:3的比例混合后搅拌，获得灰体混合物，依次在灰体混合物中加入碱激发剂和PZT粉末并搅拌均匀，获得第一压电混合物；依次对第一压电混合物进行模具成型、脱模和养护处理后，获得片状结构的第二压电混合物；对第二压电混合物进行表面处理后，将导电银浆均匀涂覆在第二混合物片状结构的顶面和底面，继而放置在二甲基硅油中极化，获得第一压电片；将第一压电片和柔性电路板连接，获得第二压电片；将第二压电片嵌入预设的壳体中，获得碱激发粉煤灰矿渣压电传感器，通过实施本发明的实施例能够降低压电传感器的生产成本和降低能耗。

公开(公告)号：CN113394334A

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN202110583370.2

申请日：2021-05-27

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 刘迎春 ,  张洪军 ,  刘琳婧 ,  姜桂铖 ,  杨彬 ,  曹文武

IPC分类号： H01L41/047 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/257 ,  H01L41/277 ,  H01L41/297 ,  H01L41/43

摘要： 本发明公开了一种基于正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器及其制备方法，属于集成电路装备制造领域。本发明解决了现有压电叠堆致动器极化方向与电场方向不能正交相容的问题。本发明通过设计图案电极及压电单元层的排列，构建正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器，该压电叠堆致动器因非180°电畴翻转产生的应变，是线性压电效应的～5倍，在20kV/cm驱动电场下，输出应变高于0.6％，远优于现有压电叠堆致动器。

公开(公告)号：CN108172682B

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN201711276070.X

申请日：2017-12-06

申请人： TDK株式会社

发明人： 七尾胜 ,  大桥光平 ,  石井健太

IPC分类号： H01L41/083 ,  H01L41/18 ,  H01L41/277

摘要： 本发明的目的在于提供一种位移量大并且位移量的温度依存性小的压电薄膜层叠体。压电薄膜层叠体(100)具备第一电极层(3)、被层叠于第一电极层(3)的第一中间层(4)、被层叠于第一中间层(4)的第二中间层(5)、被层叠于第二中间层(5)的压电薄膜(6)，第一中间层(4)含有K、Na以及Nb，第二中间层(5)为使压缩方向的应力产生于压电薄膜(6)的层，压电薄膜(6)含有(K,Na)NbO3。

公开(公告)号：CN108511596B

公开(公告)日：2020-10-02

申请号：CN201810286996.5

申请日：2018-03-30

申请人： 同济大学

发明人： 李文晓 ,  李素贞 ,  袁玮鸿

IPC分类号： H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/277

摘要： 本发明涉及一种管道用压电纤维复合材料微驱动器及其制备方法，微驱动器包括压电纤维层，由层叠的压电陶瓷纤维组成，相邻两片陶瓷纤维之间经压敏胶粘结，胶膜层，涂覆在压电纤维层的上下表面；叉指电极层，贴合在胶膜层的外表面。与现有技术相比，本发明保留较强压电性能，同时具有较高韧性、在安装形变过程中不易开裂损坏的压电纤维复合材料层，能够解决在目前常规的环氧树脂材料在大曲率表面上使用时由于树脂基体韧性不足而导致的传感器本身被破坏的问题，同时可提高较高的压电驱动力。

公开(公告)号：CN111146327A

公开(公告)日：2020-05-12

申请号：CN201911356766.2

申请日：2019-12-25

申请人： 诺思(天津)微系统有限责任公司

发明人： 张孟伦 ,  庞慰 ,  杨清瑞

IPC分类号： H01L41/047 ,  H01L41/083 ,  H01L41/277 ,  H01L41/293 ,  B81B7/02

摘要： 本发明涉及单晶压电结构及其制造方法，及单晶压电层叠结构，以及电子设备。单晶压电结构包括：层叠结构，包括在单晶压电结构的厚度方向上层叠设置的多个压电层与多个电极，每个压电层为单晶压电层，每个压电层的上下两侧设置有电极，每个压电层及其上下两侧的电极构成薄膜结构，每个薄膜结构具有上、下电极层以及位于上、下电极层之间的压电层；基底，层叠结构设置于基底；声学镜，其中：在厚度方向上，位于上层的薄膜结构中的至少一层的面积不大于位于下层的薄膜结构中的对应层的面积，和/或位于上层的薄膜结构作为整体的面积不大于位于下层的薄膜结构作为整体的面积，和/或每一个薄膜结构中上电极层的面积≤压电层的面积≤下电极层的面积。

公开(公告)号：CN107408622B

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201680015826.2

申请日：2016-02-13

申请人： 君特·贝克曼

发明人： 恩瑞克·毕斯丘尔 ,  诺伯特·史威辛格 ,  桑迪·策林格

IPC分类号： H01L41/113 ,  H01L41/25 ,  H01L41/277 ,  H02N2/18 ,  H01L41/193

摘要： 一种压电发生器（1）包括一个跨越投影表面（6）的变形体（5），并具有与投影表面（6）相对的目标压力表面（8），其中当压力基本垂直于所述投影表面（6）施加在所述目标压力表面（8）时，所述投影表面从未被施加压力的情况下的较小的投影表面（6）转换成较大投影表面（7），并且提供弹簧效应抵抗施加在所述目标压力表面（8）的压力，其中具有压电材料的机电换能器元件全部或部分地超过所述投影表面，使得当压力施加到变形体（5）上时，换能器元件以可扩展的方式被实施，并且通过压电材料产生电微能量。