涂布机构和涂布装置
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116847933A

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202280016477.1

    申请日:2022-02-24

    Inventor: 山中昭浩

    Abstract: 涂布机构(10、10A)在涂布面上涂布液体材料。涂布机构具有涂布针保持件固定部(117)、能拆装地安装于涂布针保持件固定部的涂布针保持件(12)、保持于涂布针保持件的涂布针(13)、缓冲机构(116)。缓冲机构构成为能够对涂布针与涂布面接触时的冲击进行缓冲。

    液体涂布单元和液体涂布装置

    公开(公告)号:CN110337334A

    公开(公告)日:2019-10-15

    申请号:CN201880013944.9

    申请日:2018-02-22

    Inventor: 山中昭浩

    Abstract: 本发明提供一种液体涂布单元和液体涂布装置,能够容易地进行液体材料的再供给或替换。液体涂布单元(100)包括:多个涂布针单元(10),多个涂布针单元(10)分别具有涂布针(1)和储存液体材料的液体材料容器(2),液体材料从液体材料容器(2)被供给至涂布针(1);以及第一驱动单元(20),第一驱动单元(20)构造成使涂布针(1)相对于目标物和液体材料容器(2)在第一方向上移动。多个涂布针单元(10)能够一体地附接到第一驱动单元(20),并且能够一体地从第一驱动单元(20)拆卸。

    涂布机构、涂布装置、涂有涂布材料的对象物的制造方法以及基板的制造方法

    公开(公告)号:CN108602085A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201780007891.5

    申请日:2017-01-13

    Inventor: 山中昭浩

    Abstract: 涂布材料容器具有固定部(21b)和容器部(21a)。固定部(21b)构成为能够固定至涂布机构所包括的固定构件(69)。在容器部(21a)的上部和下部设置有供涂布针(24)贯穿的孔(71)和孔(72)。上述容器部(21a)的侧面具有第一凸缘(80)。第一凸缘(80)的下表面与固定部(21b)的上表面接触。在容器部(21a)的侧面上的比第一凸缘(80)低的部分和固定部(21b)的侧面之间设置有间隙。容器部(21a)能够在间隙的范围内水平地移动。

    涂布构件、涂布装置及涂布方法

    公开(公告)号:CN105828958A

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201480067703.4

    申请日:2014-12-10

    Inventor: 山中昭浩

    CPC classification number: B05C1/06 B05C1/027 B05C5/0225 H05K3/1241

    Abstract: 提供能高速驱动涂布针、并能在短时间内实施RFID标签等的电路描绘的涂布构件、涂布装置以及涂布方法。涂布构件包括:涂布针(24),该涂布针(24)用于将液体涂布于加工对象件(5);以及移动部(41、43~46),该移动部(41、43~46)用于使涂布针(24)在第一方向上移动。移动部包括电动机(41)、凸轮构件(43)及可动构件(44~46)。电动机(41)具有转轴,并被配置成该转轴的延伸方向沿着第一方向的状态。凸轮构件(43)包括凸轮面(61),并与转轴连接,上述凸轮面(61)具有相对于转轴的延伸方向倾斜的表面部分。可动构件(44~46)与凸轮面(61)接触,并能沿着转轴的延伸方向移动。涂布针(24)与可动构件(44~46)连接。

    涂布构件及涂布装置
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105813765A

    公开(公告)日:2016-07-27

    申请号:CN201480067690.0

    申请日:2014-12-10

    Inventor: 山中昭浩

    CPC classification number: H05K3/125 B05C1/02 B05C1/06 H05K2203/013

    Abstract: 提供一种能使用微小的涂布针高速地进行涂布的涂布构件及使用该涂布构件的涂布装置。本发明实施方式的涂布构件(4)包括:涂布针保持件(20),该涂布针保持件(20)具有涂布针(24);以及底座体,该底座体将涂布针保持件(20)保持成能进行装拆。涂布针保持件(20)包括:筐体(22、23);固定构件(25);以及直动构件(26)。固定构件(25)配置于筐体(22、23)内部,并固定有涂布针(24)。直动构件(26)在筐体(22、23)内部将固定构件(25)支承成能朝一个方向移动。

    激光制图装置和激光制图方法

    公开(公告)号:CN102259234A

    公开(公告)日:2011-11-30

    申请号:CN201110146519.7

    申请日:2011-05-25

    Inventor: 山中昭浩

    Abstract: 本发明涉及一种激光制图装置和激光制图方法。本发明的课题在于提供可实现划线宽度的变窄和划线间距的小间距化的激光制图装置和方法。用于集成型薄膜太阳能电池的电极等制图。包括光学头(5)和光学头相对移动机构(6),该光学头(5)搭载了多个分别照射激光加工束的激光加工用光学系统(4),该光学头相对移动机构(6)使该光学头(5)沿上述基板(1)在相垂直的两个轴方向上相对移动。在各激光加工用光学系统(4)中,设置自动对焦机构(7)。设置对焦功能控制机构(32),其在基板(1)的加工开始位置启动该自动对焦机构(7)的对焦功能,在加工结束位置关闭该对焦功能。

    图形修正装置及其涂布单元

    公开(公告)号:CN101047090B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200710091711.4

    申请日:2007-03-29

    CPC classification number: Y02W30/828

    Abstract: 一种图形修正装置(1),其涂布单元(20)具有:底部开设有第1孔(21a)、注入修正液(22)的容器(21);具有与第1孔(21a)大致相同直径的涂布针(24);使容器(21)及涂布针(24)上下移动并使容器(21)及涂布针(24)相对上下移动从而使涂布针前端部(24a)从第1孔(21a)中突出将修正液(22)附着在前端部(24a)上的气缸(34)。因此,本发明的图形修正装置与必须在容器和缺陷部之间使涂布针往复移动的以往技术相比,可用简单的结构迅速修正缺陷部。

    微小图案观察装置及采用该装置的微小图案修正装置

    公开(公告)号:CN1645189A

    公开(公告)日:2005-07-27

    申请号:CN200510006211.7

    申请日:2005-01-21

    Abstract: 本发明提供装置构成及控制方法简单且价格低廉的微小图案修正装置。该微小图案修正装置,将被修正对象玻璃基板(8)搭载于玻璃平台(9)的表面,在玻璃平台(9)的背面上形成反射膜(10),并且,将环状照明器(3)配设于观察光学系统(2)的物镜(11)的周围。自照明器(3)射出的环状光线,由反射膜(10)反射,透过玻璃平台(9)及被修正对象玻璃基板(8)的被观察部射入物镜(11)。因此,不需要在玻璃平台(9)的下方设置光源移动机构。

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