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公开(公告)号:CN102975120B
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201210047902.1
申请日:2012-02-27
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: B24B53/017 , B24B37/04
CPC分类号: B24B53/017 , B24B53/003 , B24B53/02 , B24B53/053 , B24B53/12 , H01L21/30625
摘要: 提供了一种化学机械抛光(CMP)装置,该装置包括用于调节CMP装置的抛光垫的调节盘。该调节盘包括多个子系统盘部分。该部分可以是同心的盘区。该盘的每个部分可操作地以不同的角速度转动。在一些实施例中,除了不同的角速度之外或者代替不同的角速度,向盘的每个部分提供不同的外加负荷。本发明还提供了用于CMP垫调节的方法和装置。
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公开(公告)号:CN103329253B
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201280003831.3
申请日:2012-05-23
申请人: 宋健民
发明人: 宋健民
IPC分类号: H01L21/304
CPC分类号: B24B53/017 , B24B53/12 , B24D3/06 , B24D7/00 , H01L21/304 , Y10T428/24372
摘要: 本发明提供了一种具有平坦化尖端的化学机械研磨垫修整器及其相关方法。在本发明的一方面中,例如,一种化学机械研磨垫修整器可包括:一基质层;以及一单层超研磨颗粒,为多个嵌入该基质层的超研磨颗粒,其中每个超研磨颗粒突出于该基质层。该单层超研磨颗粒的最高突出尖端与次高突出尖端的突出距离差异小于或等于约20微米,且在单层超研磨颗粒的最高1%突出尖端间的突出距离差异为约80微米或更小。
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公开(公告)号:CN105345665A
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:CN201510855976.1
申请日:2015-11-30
申请人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
CPC分类号: B24B53/12 , B24B53/062
摘要: 本发明公开了一种平面磨削用超硬砂轮修整工具及修整方法,平面磨削用超硬砂轮修整工具包括底座,底座上固定有修整盘,修整盘上间隔设置有修整条、修锐块和排屑槽,修整条镶嵌于修整盘上。本发明公开的一种平面磨削用超硬砂轮修整工具,结构简单,兼具修整和修锐的功能,使用过程中易于操作,且能够循环使用,大大减少修整时的劳动强度和劳动时间,且修出的超硬砂轮出刃高度适中,磨削效果优良,加工效率高,加工质量好。
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公开(公告)号:CN105234776A
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:CN201510556762.4
申请日:2015-09-02
申请人: 无锡市普森精密机床制造有限公司
IPC分类号: B24B19/06 , B24B53/12 , B24B53/075
CPC分类号: B24B19/06 , B24B53/075 , B24B53/12
摘要: 本发明公开了一种轴承内圈滚道及滚子凸度的加工方法,其包括以下步骤:S1、修整砂轮的外缘:在砂轮的一侧设置金刚笔,当砂轮在围绕自身中心线回转的同时,所述金刚笔也围绕自身的回转中心点,且在垂直于所述砂轮的回转中心的平面内旋转;此时,保证所述金刚笔的最高回转点与所述砂轮的回转中心一致,把砂轮的外缘修整成微量的凹形凸度形状;S2、调节金刚笔的回转半径R的大小,把砂轮修整出不同的凹形凸度形状;S3、用修整好的砂轮去切入磨削工件,把工件内圈外表面磨削成砂轮上的凸度形状。用本发明方法修整出来的曲线,比双曲线更接近(甚至超过)对数曲线,是轴承滚道中更加完美的一种凸度曲线,使轴承的各项精度有显著的提高。
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公开(公告)号:CN105081977A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201510403745.7
申请日:2015-07-10
申请人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
CPC分类号: B24B53/062 , B24B53/12
摘要: 本发明公开了一种超硬磨料砂轮快速高效整形方法,具体步骤为:在磨床上安装好修整轮驱动器,使磨床主轴和驱动器主轴相垂直;磨床主轴上安装好被修整砂轮,驱动器上安装好修整轮,被修整砂轮和修整轮的轴线呈十字交叉设置,使二者线速度方向相垂直;磨床主轴电机和驱动器电机分别与其变频器连接,变频器再与PLC连接;并且,被修整砂轮和修整轮转速的时域控制具有周期性,且二者周期相同、相位差180°;在超硬磨料砂轮磨削整形时,被修整砂轮高速与修整轮低速、被修整砂轮低速与修整轮高速相配合。本发明相对传统磨削法整形的砂轮表面单一修整彗尾,本发明可成倍提高超硬磨料砂轮整形效率,减少修整轮消耗,节能环保。
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公开(公告)号:CN105033862A
公开(公告)日:2015-11-11
申请号:CN201510366948.3
申请日:2015-06-29
申请人: 南通蒂龙针织制衣有限公司
发明人: 施辉
IPC分类号: B24B53/12
CPC分类号: B24B53/12
摘要: 本发明公开了一种多用金刚石修整笔,其创新点在于:包括多用金刚石修整笔头部部分和笔杆部分,所述多用金刚石修整笔头部用金刚石厚膜制作成一圆锥形,所述圆锥形的尖部设有一颗金刚石原石,所述笔杆部分的尾端通过铆钉连接有一圆形修整器,所述圆形修整器上的圆周上设有合金基体,金刚石均匀烧结在合金基体中。多用金刚石修整笔通过圆锥形的尖部设计和圆形修整器,能适用于不同的加工面,尖锐的金刚石原石自锐性好,磨削时发热量小,不易堵塞,减少了磨削时出现工作烧伤的现象,确保了精磨的质量;圆形修整器的加工面积大,磨削效率高,能有效改善工件表面的粗糙度。
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公开(公告)号:CN104942716A
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201410234279.X
申请日:2014-05-30
申请人: 盐城百圣机械有限公司
IPC分类号: B24B53/06
摘要: 本发明涉及一种金钢石滚轮修整外圆磨床砂轮的装置,包括导轨架、拖板、丝杆、拉簧,滚轮支架、金钢石滚轮、回转轴,导轨架的水平底面固装在外圆磨床的砂轮架上面;拖板与导轨架之间组成移动副、与丝杆之间组成螺旋副;丝杆螺纹的上部活动连接导轨架;金钢石滚轮紧固在回转轴的中部轴头上;回转轴的两端轴颈通过轴承安装在滚轮支架两平行侧壁部的孔内;滚轮支架外的回转轴轴头上装有带轮,其通过传动带与安装在滚轮支架上的电动机相连接;滚轮支架中的一侧壁与拖板紧固,并使金钢石滚轮位于砂轮上部,且轴线与砂轮轴线在同一平面内平行。本发明具有设计合理、结构简单、修整方便快捷、砂轮成型度好的优点。
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公开(公告)号:CN104842240A
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201510179971.1
申请日:2015-04-16
申请人: 河南科技大学
摘要: 本发明公开了一种全自动数控球轴承内圈沟道磨床,包括床身、往复工作台、砂轮轴箱、工件轴箱、砂轮修整器、工件进给机构,所述往复工作台安装在床身上,砂轮轴箱安装在往复工作台后侧的床身上,砂轮安装在砂轮轴箱上,砂轮修整器和工件轴箱均安装在往复工作台上,工件轴箱座上开有两个圆弧形凹槽,凹槽内安装有滑动螺丝,滑动螺丝与工件轴箱相连,使得工件轴与砂轮轴形成夹角,工件轴箱座下面设置有支撑板;砂轮修整器的底座上设置第二底座,第二底座上开有两个圆弧形槽,第二底座通过圆弧形槽上的滑动螺丝与砂轮修整器的底座相连;所述砂轮修整器采用直线修整器。该磨床可以加工多种产品,节约资金。
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公开(公告)号:CN104440571A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201410716989.6
申请日:2014-12-03
申请人: 无锡市翱宇特新科技发展有限公司
发明人: 张鹏 , 其他发明人请求不公开姓名
IPC分类号: B24B53/12
CPC分类号: B24B53/12
摘要: 本发明公开一种挡块,属于精密机床附件技术领域,包括本体,所述本体呈弧形结构,所述本体的截面呈等腰梯形,凸弧侧为短边,凹弧侧为长边,所述本体的中心加工有螺纹通孔。本发明的挡块,适合手轮的圆弧外形,具有结构简单,容易制造、安装方便等优点。
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