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公开(公告)号：CN115327236A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210985907.2
申请日：2022-08-16
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了基于多端口环形结的可重构频率MEMS驻波计及制备方法，其主要由环形定向耦合器、MEMS热电式微波功率传感器和MEMS可变电容器构成。位于环形定向耦合器的耦合端口和隔离端口的两个热电式MEMS微波功率传感器分别测量出耦合端口和隔离端口处的输出微波功率大小，进而可得入射微波功率和反射微波功率的大小，从而得到驻波比的大小；六个相同的MEMS可变电容器分别等距放置在环形定向耦合器上，在驱动电极上施加不同的驱动电压，即可改变MEMS双端固支梁的高度，从而改变环形定向耦合器各端口之间的电长度，实现该微波驻波计的工作频率连续调谐。本发明具有微型化和可调谐特点，与硅基CMOS工艺兼容，便于集成。
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公开(公告)号：CN114235233A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111541027.8
申请日：2021-12-16
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压力传感器及其制备方法，主要包括体硅层、埋氧层、顶硅层、压敏电阻、重掺杂区、绝缘介质层、压焊块和钝化层；顶硅层中心位置设有大空腔，并在大空腔四边中心位置的上方设有小空腔；大空腔上方的顶硅层和绝缘介质层构成压力敏感薄膜；压力敏感薄膜上表面设置十字梁结构，在所述的十字梁结构四个端部设置有压敏电阻、重掺杂区和金属引线，各组压敏电阻通过重掺杂区与金属引线形成惠斯通电桥；所述的十字梁结构抑制了压力敏感薄膜的形变，进而提高了线性度；所述的小空腔结构提高了压敏电阻区域的应力集中，使得传感器在保持微型化的同时提高了灵敏度；此外该传感器制备方法与CMOS与MEMS工艺兼容，节约成本。
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公开(公告)号：CN114235231A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111540689.3
申请日：2021-12-16
Applicant: 东南大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明的目的是提出一种单片集成压力传感器、制备及封装方法，首先在SOI硅片上制备信号调理电路、压敏电阻、金属引线、第一压焊块以及第一密封环；然后在一块玻璃基片上进行刻蚀腔体、通孔以及导电金属填充，制备第二压焊块、金属触点以及第二密封环；最后通过第一密封环与第二密封环对准键和方式，将加工好的SOI硅片键合在已填充金属的玻璃基片上，其中在SOI硅片上的第一压焊块与玻璃基片上的第二压焊块通过玻璃通孔及金属触点与外部电路实现电连接，进而构成了单片集成压力传感器，同时实现了该压力传感器的三维封装。本发明不仅降低封装难度、增强电学通讯可靠性、优化传感器的传感性能，还具有更高的集成度、降低体积和制造成本。
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公开(公告)号：CN113903982A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202111171771.3
申请日：2021-10-08
Applicant: 东南大学
IPC: H01M10/0525 , H01M10/058
Abstract: 本发明公开了一种微型全固态锂离子电池及制备方法，结构包括依次层叠设置的负极集流体、负极层、固态电解质层、正极层、正极集流体层；还包括包裹整体层叠结构的钝化层，在钝化层外侧还包裹柔性防水保护层；还包括从外侧连通到正极集流体层表面中央的正极引出孔，以及从外侧连通到负极集流体表面中央的负极引出孔。本发明通过去除电池基底并制作柔性防水保护层，在有效释放电池充放电过程中由于体积膨胀产生的应力的同时还提升电池的能量密度，并且对电池进行良好的密封以改善其可靠性和使用寿命。
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公开(公告)号：CN113701927A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202111251494.7
申请日：2021-10-27
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种实现可靠性测试及阻值偏差补偿的压阻式传感器，包括压力敏感薄膜、压敏电阻、隧穿层，电荷存储层设置在隧穿层的上表面，并位于压敏电阻的上方，且部分覆盖压敏电阻；阻挡层完全覆盖隧穿层和电荷存储层的上表面；压阻电极设置在阻挡层的上表面，并穿过隧穿层和阻挡层上的通孔与压敏电阻电连接；调控电极设置在阻挡层的上表面，与压阻电极相间隔，并部分覆盖电荷存储层。其中，压敏电阻、隧穿层、电荷存储层、阻挡层与调控电极构成电荷型非易失性存储器结构，该结构能够实现定量调控电荷存储层中的俘获电荷数目以及通过俘获的电荷调控压敏电阻的载流子浓度进而调整压敏电阻的阻值，从而实现压敏电阻的有效修正与补偿。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113241509A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110512088.5
申请日：2021-05-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的基于自检测MEMS功分器和驱动电压可重构MEMS开关的TR组件采用自检测MEMS功分器的自检测功能对激励源产生的发射信号和各个收发支路上传输的RF信号进行实时在线监测，实现对自检测MEMS功分器的功率分配情况、各个收发支路上RF信号的功率情况以及第一环形器传送的RF信号的功率情况进行线上检测，解决了相控阵雷达T/R组件无法实时在线自检测的问题。通过采用驱动电压可重构MEMS开关替代传统开关能够提升相控阵雷达T/R组件中开关的射频性能和可靠性，并且该驱动电压可重构MEMS开关能够实现驱动电压的可重构，从而避免配置额外的向上变压器。由于这种自检测MEMS功分器和驱动电压可重构MEMS开关是基于MEMS技术实现的，因此它们还具有较低的损耗和较小的体积等特点。
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公开(公告)号：CN111627759B
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202010511287.X
申请日：2020-06-08
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明提供了一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法，包括：固支梁，所述固支梁的两端远离第二衬底的一面设置第一键合结构；CPW结构，包括CPW信号线以及位于所述CPW信号线两侧的CPW地线；所述CPW地线上设置第二键合结构，所述固支梁通过所述第一键合结构与所述第二键合结构的键合工艺设置在所述CPW结构上；驱动电极，位于所述CPW信号线与所述CPW地线之间；以及充电结构，所述充电结构包括驻极体以及压焊块，所述驻极体设置在所述驱动电极上。本发明的一种基于驻极体的可重构驱动电压RF MEMS开关及其制备方法，能够同时满足低驱动电压和高驱动电压的应用要求，这既能够有效降低开关的驱动电压，又能够防止粘连失效的发生。
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公开(公告)号：CN112260218B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202011537040.1
申请日：2020-12-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种额定电流可调且可监测的过流保护器及制备方法，过流保护器包括第一衬底；第二衬底；在第一衬底上形成开放腔、悬臂梁、第一绝缘层和第二绝缘层；第一电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的固定端；第二电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的中部位置；第三电极的两层分别对称设置在第二衬底和第二绝缘层上，且位于悬臂梁的悬空端。本发明利用MEMS体加工和键合工艺，设置开放腔、悬臂梁、第一电极、第二电极和第三电极，使过流保护器的额定电流可调且可监测，以提高电路或系统的可靠性。
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公开(公告)号：CN103812467B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201410053258.8
申请日：2014-02-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的微机械悬臂梁式十六状态可重构微波带通滤波器利用一个较小电感量的平面螺旋电感和八个较小电容值的MIM电容实现了具有十六状态的中心频率和带宽的变化，从而突破了传统可重构带通滤波器中电感数量多且电感量较大的限制。通过在一个平面螺旋电感的左右两侧依次对称放置两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容以及两个串联连接到CPW信号线的MIM电容，构成π型微波带通滤波器；将四个由引线连接的MIM电容对称放置在平面螺旋电感的左右两侧且位于两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容之间；四个由引线连接的MIM电容分别具有不同的电容值；通过四个MEMS悬臂梁分别控制四个由引线连接的MIM电容是否与CPW地线相连接，实现该滤波器的可重构变化。
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公开(公告)号：CN103812466B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201410052369.7
申请日：2014-02-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明是一种微机械悬臂梁式四状态可重构微波带通滤波器，不但具有传统可重构带通滤波器的低损耗和好的带外抑制等特点，而且因采用一个电感量较小的平面螺旋电感具有较小的芯片面积，宽的频带调谐以及与砷化镓单片微波集成电路兼容。两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容以及两个串联连接到CPW信号线的MIM电容依次对称放置在一个平面螺旋电感的左右两侧，构成该微波带通滤波器的基本结构；其滤波器的可重构是由两个MEMS悬臂梁和四个由引线连接的MIM电容构成的。通过控制MEMS悬臂梁使得由引线连接的MIM电容并联连接到CPW信号线和地线之间，从而改变了在平面螺旋电感左右两侧的并联的MIM电容的大小，实现了四状态的中心频率和带宽的改变。
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