一种基于多探针五轴式电化学纳米3D打印机床

    公开(公告)号:CN118241263A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202410003698.6

    申请日:2024-01-02

    Abstract: 本发明公开了一种基于多探针五轴式电化学纳米3D打印机床,包括x、y、z三轴运动位移控制平台、旋转台、探针摆动机构、纳米3D打印探针、液压微泵系统、高速摄像机成像系统。硅基导电衬底放置在打印台基底上。硅基导电衬底与电源的阴极连接,电源的阳极与纳米3D打印探针连接,电源同时给液压微泵供电。液压微泵后设有微泵推进器,推进器后设有管路与纳米3D打印探针尾部连接,给探针恒压供液,探针尾部同时与旋转台的探针摆动机构连接,旋转台与电机夹具通过伺服电机的旋转轴相连接,工控机显示器安装在隔震台上,高速摄像机安装在摄像机升降台上,实现任意曲面复杂微纳金属基结构的电化学3D打印。

    一种自由曲面上大面积原子级层级结构模具及器件的制造方法

    公开(公告)号:CN118166332A

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202410194444.7

    申请日:2024-02-22

    Abstract: 本发明公开了一种自由曲面上大面积原子级层级结构模具及器件的制造方法,包括涂胶、光刻、镀膜、电铸、金属模具脱模、纳米压印、金属薄片脱模、阳极氧化、原子层沉积、浇注、聚合物薄膜脱模。通过在自由曲面基板表面涂覆光刻胶并进行光刻步骤,得到图案化的凹型表面结构;图案表面经过镀膜金属化后进行电铸复制工艺步骤,脱模得到凸型金属模具;随后以金属模具为模板进行金属薄片的纳米压印,实现结构转印;对结构化的金属薄片进行阳极氧化形成层级纳米结构,并进行原子层沉积将纳米结构弥合至原子尺寸;最后以原子层级金属薄片为模版进行聚合物浇注工艺,脱模得到自由曲面上大面积原子级层级结构器件;本发明提供了一种精准制造方法。

    一种基于Conv-Dueling与泛化表征的动态车间调度方法

    公开(公告)号:CN116562584A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310600842.X

    申请日:2023-05-25

    Abstract: 本发明公开了一种基于Conv‑Dueling与泛化表征的动态车间调度方法,首先采用多维矩阵来表示设备状态和工件状态;设计了复合奖励函数,以引导算法的收敛。提出Conv‑Dueling网络模型,以多维状态矩阵作为输入,以调度规则价值作为输出,在不同的重调度决策点上选择最优的调度规则。该网络模型由特征提取网络、状态网络和优势网络三部分组成,实现全局最优调度。经过静态和动态情况下的验证,该网络模型均能得到良好的优化效果。本发明提出的动态车间调度方法可以减少最大完工时间、提高准时完成率和降低总延迟时间,同时保证了鲁棒性和稳定性,其综合调度性能优于现有的调度方法。

    一种二维材料增强的自润滑镍模仁的超声电铸加工方法

    公开(公告)号:CN115230026A

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN202210869394.9

    申请日:2022-07-21

    Abstract: 本发明公开了一种二维材料增强的自润滑镍模仁的超声电铸加工方法。具体工艺方法为:硫化镍珠作为阳极材料,硅片作为阴极沉积基底,二维材料作为增强相,十二烷基硫酸钠作为表面活性剂;首先将水般二维材料与表面活性剂搅拌混合,随后将其与电铸液搅拌混合,最后进行电铸工艺。在电铸期间,电铸液进行机械和超声复合搅拌,镍离子和二维材料通过氧化还原和吸附的方式共沉积到阴极表面,最后将沉积层从基底上剥离下来得到二维材料复合镍模仁。该发明使用成本低廉,工艺简单的电铸加工方法可以得到永久自润滑的镍基复合模仁,对于解决聚合物微纳米结构微注塑成型过程中聚合物与模仁表面接触摩擦粘连导致聚合物变形、微结构损坏等问题具有重要的意义。

    一种面向原子及近原子尺度功能结构器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115180589A

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN202210864922.1

    申请日:2022-07-21

    Abstract: 本发明公开了一种面向原子及近原子尺度功能结构器件的制造方法。本发明的一种制造方法,顺序包括电子束光刻、原子层沉积、电铸、模具脱模、金属薄膜腐蚀、纳米压印、聚合物功能器件的脱模步骤;本发明的另一种制造方法,顺序包括光刻、原子层沉积、选择性刻蚀、除胶、硅刻蚀、侧墙刻蚀、原子层沉积、电铸、模具脱模、腐蚀、纳米压印、聚合物功能器件的脱模步骤。本发明结合电子束光刻对纳米级结构的极限加工能力、原子层沉积技术的原子级厚度可控沉积与电铸技术原子顺序电沉积的优势,通过多种微纳制造技术的叠加,突破现存半导体加工技术的极限,在纳米结构的基础上实现更小尺度结构的精准制造,也就是面向原子及近原子尺度功能结构器件的制造。

    一种体声波驱动的浓度梯度实时可调的微流体发生器

    公开(公告)号:CN112808332A

    公开(公告)日:2021-05-18

    申请号:CN202011564392.6

    申请日:2020-12-26

    Abstract: 本发明是一种体声波驱动的浓度梯度实时可调的微流体发生器。该发生器基于PDMS的气体渗透性,通过改变PDMS墙两端的气压差可以使气液界面通道产生的气液界面远离或者靠近主通道。通过改变声波激励的气液界面的位置可以使主通道溶液的浓度梯度实时可调。浓度梯度发生器由玻璃基板,PDMS芯片和压电振子组成。当气液界面被声波激励时,其附近的溶液会产生声流现象,进而使溶液发生混合。调节使流道内溶液发生混合的气液界面数量、位置和驱动电压就可以产生实时可调的溶液浓度梯度。这种新设备易于制造,反应灵敏且具有生物相容性,具有广阔的应用前景,适用于对时间可控性有较高要求的生物化学研究。

    一种用于摩擦增材制造的双轴肩工具头

    公开(公告)号:CN112620917A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011595894.5

    申请日:2020-12-29

    Abstract: 本发明涉及一种用于摩擦增材制造的双轴肩工具头,属于增材制造领域,用于解决产热不足,层间缺陷严重的问题。本发明基于夹持柄,还包括内轴肩,搅拌针,外轴肩,环槽螺母,开口销、引流槽;夹持柄依次贯穿内轴肩,搅拌针,外轴肩,环槽螺母,其中,内轴肩与夹持柄做成一体的结构,内轴肩与搅拌针相邻端面上开有多个引流槽;搅拌针为一带有螺纹花样的圆柱轴段;外轴肩通过螺纹连接安装在夹持柄上,外轴肩上开有多个引流槽,紧邻搅拌针;环槽螺母和开口销构成紧固件,用于防止外轴肩因为随夹持柄旋转而松动;本发明通过内、外双轴肩的形式同时与工件摩擦,可以显著提高产热量,从而有效避免层间结合不足等缺陷。

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