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公开(公告)号：CN112051307B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202010851263.9
申请日：2020-08-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法，器件结构包括在石英晶振片，包覆于晶振片表面的上下电极，在石英晶振片表面的上电极表面定点形成的敏感层阵列。制备方法主要包括：在晶振片表面光刻电极图案；对电极图案之外的光刻胶及光刻胶表面的电极材料进行剥离；于电极表面光刻敏感层图案；于上述敏感层图案表面沉积敏感层材料；对敏感层图案之外的光刻胶及光刻胶表面的敏感材料进行剥离；重复上述操作，对已有敏感层图案的电极表面进行套刻直到制备完成敏感阵列。本发明所设计的一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法，可以同时检测多种目标传感对象，提升检测范围，提高检测效率，得到更准确的测试结果。
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公开(公告)号：CN109580723B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201811235063.X
申请日：2018-10-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/04
Abstract: 本发明属于湿度传感器技术领域，并公开了一种柔性湿度传感器的制备方法及产品。其制备方法包括以下步骤：(1)光刻和显影；(2)去残胶及活化柔性基底，以增强基底的粘附性；(3)溅射制备金属电极，将所述活化的基底表面溅射一层金属电极材料，从而得到具有呈阵列排布的金属电极结构的基底；(4)生长超亲水湿敏层，在基底表面沉积一层Cu种子层，水平放置在NaOH和(NH4)2S2O8混合溶液中，以在Cu种子层上生长超亲水Cu(OH)2纳米线。本发明还公开了一种湿度传感器。本发明所制备的湿度传感器具备柔性和透明、延展性能好、响应快、湿滞小、灵敏度高、重复性好、性能稳定等特性，且制备工艺简单、便于操控、成本低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109161851B
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201810850180.0
申请日：2018-07-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于固体材料表面改性的技术领域，并公开了一种基于激光诱导的超亲水PET表面的制备方法及产品。该方法包括下列步骤：(a)将待处理PET薄膜贴附在基底上，在PET薄膜上采用溅射的方式制备金属有色层；(b)采用激光聚焦到有色层，有色层吸收激光的能量，并使其作用在与有色层交界处的PET薄膜表面上，以此使得PET薄膜表面形成亲水表面层；(c)采用溶液法腐蚀亲水表面层，以此改变亲水表面层的形貌形成超亲水表面层，由此完成待处理PET薄膜的超亲水层的制备。本方法所制备的结构具有超亲水性和高耐用性等特点。工艺简单，成本低廉。
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公开(公告)号：CN109161851A
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201810850180.0
申请日：2018-07-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于固体材料表面改性的技术领域，并公开了一种基于激光诱导的超亲水PET表面的制备方法及产品。该方法包括下列步骤：(a)将待处理PET薄膜贴附在基底上，在PET薄膜上采用溅射的方式制备金属有色层；(b)采用激光聚焦到有色层，有色层吸收激光的能量，并使其作用在与有色层交界处的PET薄膜表面上，以此使得PET薄膜表面形成亲水表面层；(c)采用溶液法腐蚀亲水表面层，以此改变亲水表面层的形貌形成超亲水表面层，由此完成待处理PET薄膜的超亲水层的制备。本方法所制备的结构具有超亲水性和高耐用性等特点。工艺简单，成本低廉。
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公开(公告)号：CN108085652A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201711367562.X
申请日：2017-12-18
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/048 , C23C14/205 , C23C14/5846 , C23C22/63
Abstract: 本发明属于柔性微纳结构的制造工艺领域，并公开了基于柔性基底的高耐用性超亲水集水流道结构的制备方法，包括以下步骤：1)光刻和显影；2)去残胶及活化柔性基底表面；3)镀Cu种子层：采用磁控溅射在柔性基底的上表面、负性光刻胶的上表面和侧面溅射Cu种子层；4)去除光刻胶；5)生长Cu(OH)2纳米线和CuO纳米片分层结构：将沉积有Cu种子层的柔性基底放在NaOH和(NH4)2S2O8的混合溶液中，以在Cu种子层上进行超亲水Cu(OH)2纳米线和CuO纳米片分层结构的生长，从而获得超亲水集水流道结构。本方法所制备的结构具有超亲水特性和优异的柔性耐用性，适用于干旱区域的水汽收集，有望用于沙漠中的集水装置。
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公开(公告)号：CN107297020A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201710416112.9
申请日：2017-06-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: A61M37/00
CPC classification number: A61M37/0015 , A61M2037/0053
Abstract: 本发明属于微纳结构制造工艺领域，并公开了一种空心微针阵列制造方法，包括以下步骤：1)镀金属种子层；2)旋涂负性光刻胶层；3)对负性光刻胶层进行前烘；4)曝光：在掩膜版的上方采用紫外光源对负性光刻胶层进行曝光，则光穿过掩膜版后透入负性光刻胶层，使负性光刻胶层的部分区域发生光固化反应；5)显影：采用显影液对负性光刻胶层进行显影，以去除未发生光固化反应的负性光刻胶；6)电镀结构层，形成微针针壁；7)采用有机溶剂去除负性光刻胶，在基底上获得空心微针阵列结构。本发明由于小尺寸掩膜版图形的光学衍射作用，显影后会在负性光刻胶层上形成上小下大的空洞结构，由此电镀填充得到的金属微针针壁具有很好的结构稳定性。
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公开(公告)号：CN212807107U
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202021983454.2
申请日：2020-09-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01D18/00
Abstract: 本实用新型属于传感器测试领域，并具体公开了一种石英晶体微天平传感器的性能测试装置。该性能测试装置包括上盖和底座，其中上盖中进气孔和出气孔与反应腔相连通；反应腔下方的上盖密封圈凹槽用于放置上盖密封圈，上盖限位凹槽用于与底座配合，以放置待测石英晶体微天平传感器；底座中底座限位凹槽与上盖限位凹槽配合用于放置待测石英晶体微天平传感器；底座密封圈凹槽用于放置底座密封圈；引线孔用于放置引线。本实用新型利用上盖限位凹槽和底座限位凹槽相互配合对石英晶体微天平传感器进行限位，并利用上盖密封圈和下盖密封圈增强气密性，并保证较好的电极接触性能，同时还能够缓解石英晶体微天平传感器的接触压力。
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