一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法

    公开(公告)号:CN107653441A

    公开(公告)日:2018-02-02

    申请号:CN201710779538.0

    申请日:2017-09-01

    申请人: 麦世枝

    发明人: 麦世枝

    IPC分类号: C23C14/20 C23C14/34 C23C14/02

    摘要: 本发明为一种在塑胶上生产PVD防菌膜的方法,使用本技术方案整个过程不需加温能够在不损伤塑胶工件的前提下镀膜,使用钛靶和硅靶进行基底膜镀制,塑胶的主要成分包含大量的碳原子,和硅原子具有良好的结合力,因此使用钛靶和硅靶进行基底膜的镀制能够增加膜层和工件的结合力,基底膜镀制完成后加入银靶溅射,使具有防菌效果的银均匀分布在硅化钛膜层中,形成具有防菌效果的防菌膜,另外在镀膜过程中工件挂在挂架上,工件在自转的同时公转,使溅射过程成膜均匀,并且能够避免局部温度过高损伤工件。

    Ag/ZnO/Mg光电透明导电薄膜的沉积方法

    公开(公告)号:CN106637204A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201611094524.7

    申请日:2016-12-01

    申请人: 梁结平

    发明人: 梁结平

    摘要: 本发明涉及一种Ag/ZnO/Mg光电透明导电薄膜的沉积方法,属透明导电材料领域。本发明一种按照以下步骤进行:(1)将基片用丙酮、乙醇以及去离子水用超声波依次清洗后,用氮气吹干送入反应室;2)磁控溅射Mg膜的沉积;(3)有机物化学气相沉积制备中间层ZnO薄膜:(4)磁控溅射Ag膜的沉积:(5)对Ag/ZnO/Mg的多层结构的透明导电薄膜进行高温退火,退火温度为200~600℃,退火时间为20min,得到Ag、Mg共同掺杂的ZnO光电透明导电薄膜。本发明制备工艺简单,沉积过程易于控制。本发明制备的透明导电薄膜均匀性好,光电性能优异,电阻率可低至7.0×10‑4Ω·cm,而其透光率可达85%以上。可用于制造太阳能电池、发光二极管、LCD以及手机等光电器件的透明电极。