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公开(公告)号：CN104359419A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410617213.9
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 差动结构光大曲率样品微观形貌测量膜厚校正装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括：激光光源、准直镜、正弦光栅、透镜、第一管镜、第一二向色镜、物镜、样品、第二二向色镜、第一滤光片、第二管镜、第一制冷CCD、第二滤光片、第三管镜、第二制冷CCD、载物台。每个被测平面光栅做三次相位平移，每个相位处，使样品表面出射的信号通过滤光片，取第一制冷CCD和第二制冷CCD收集信号之差。解调运算可以得到荧光膜上表面和样品表面两层结构信息，取下面一层信息即测得微观光滑曲率样品的表面形貌信息。
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公开(公告)号：CN104315994A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201410616948.X
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 共焦轴向响应曲线峰值位置提取算法属于共焦扫描光学测量技术领域；该方法首先归一化数据，从实测数据中选取有效数据；然后以sinc2(a(x-b))函数为目标函数，根据测量参数计算目标参数初值；再以sinc2(a(x-b))函数为目标函数，利用Levenberg-Marquardt算法进行拟合求得目标参数；最后根据目标参数计算峰值位置；本发明共焦轴向响应曲线峰值位置提取算法，通过使用sinc2作为拟合的目标函数来获得共焦轴向相应曲线峰值位置，可以提高数据利用率与测量不确定度，同时减少迭代次数，减少了提取算法的运算时间。
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公开(公告)号：CN104296686A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410617215.8
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于荧光差动共焦技术的光滑大曲率样品测量装置与方法光学精密测量技术领域，具体涉及一种利用差动共焦显微技术测量光滑大曲率样品表面形貌的装置和方法；该装置包括照明模块、第一探测模块、第二探测模块和镀膜样品；该方法首先使待测样品成为镀膜样品，然后利用照明模块激发样品表面的荧光膜发出荧光，再分别利用第一探测模块和第二探测模块得到的差动响应曲线，通过差动响应曲线零点来确定镀膜样品表面位置，最后形成三维扫描成像，清洗膜，恢复待测样品镀膜前的状态；本发明不仅可以提高测量精度，而且可以提高测量效率，同时还可以降低测量成本。
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公开(公告)号：CN104296685A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410617212.4
申请日：2014-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于差动STED测量光滑自由曲面样品的装置和方法属于光学显微测量领域。本发明在光滑自由曲面样品表面镀上一层荧光膜，利用荧光膜在激光照射下向各个方向辐射荧光的特性，避免光束在光滑自由曲面发生镜面反射导致信号光难以收集的问题；同时，采用STED显微术原理，将两束不同波长脉冲激光光束会聚成的光斑重合，位于光斑中心区域的样品上的荧光膜激发出荧光，位于光斑内但不在光斑中心区域中的荧光膜发生退激发，不发出荧光，从而实现对样品的超分辨成像；采用差动探测结构，将收集到的两路信号进行差分运算得到差动响应曲线，通过差动响应曲线零点来确定样品表面位置，最终解决高精度测量具有较大斜率的光滑自由曲面样品形貌的问题。
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公开(公告)号：CN115343829B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202211046963.6
申请日：2022-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种平场远心管镜，包括从物侧到像侧沿光轴依次设置的光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜，第一透镜和第二透镜相胶合，第三透镜和第四透镜相胶合；第一透镜为具有负光焦度的正弯月透镜；第二透镜为具有负光焦度的负弯月透镜；第三透镜为具有正光焦度的正弯月透镜；第四透镜为具有正光焦度的弯月透镜；第五透镜为具有正光焦度的双凸透镜；第六透镜为具有正光焦度的弯月透镜。该管镜在主光线在像面上的倾斜角度小于0.1°，各种像差得到很好矫正，且结构简单，设计合理，易于制造。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117521351B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202311435898.0
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大口径非球面的轨迹规划设计方法，它涉及一种轨迹规划设计方法。本发明为了解决现有非规则表面或非球面测量技术的测量精度和效率较低的问题。本发明首先根据回转件的面型方程建立面型模型，用做路径规划的基础；然后通过预扫确定轨迹扫描的范围和回转件的曲率、半径和高度等信息；再根据测量要求确定螺线扫描的上升速度和回转速度后，通过路径规划算法给出轨迹扫描中各途径点的空间坐标；最后对离散的轨迹扫描进行平滑处理后，发送给运动执行机构。本发明属于光学精密测量技术领域。
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公开(公告)号：CN117517318B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202311425900.6
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88 , G02B21/06 , G02B21/10 , G02B26/10 , G02B6/02 , G02B27/10 , G02B27/30 , G02F1/01 , G01N21/49 , G01N21/01
Abstract: 基于涡旋分量排序的暗场共焦显微测量装置及方法，它涉及一种暗场共焦显微测量装置及方法。本发明为了解决传统共焦显微测量的亚表面缺陷无损检测技术检测维度单一，无法实现缺陷的复杂几何特性表征及物理特性分析，亚表面缺陷判定准确率不足的问题。本发明所述测量装置包括高斯照明模块、涡旋排序模块、线阵探测模块和三维位移台；待测样品设置在三维位移台上，所述高斯照明模块发射的激光照射在待测样品上，待测样品的反射光经由所述高斯照明模块和所述涡旋排序模块后由所述线阵探测模块接收。本发明属于光学精密测量技术领域。
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公开(公告)号：CN116482107B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202310253087.2
申请日：2023-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于涡旋二向色性的暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括阵列涡旋光产生模块、阵列涡旋光照明模块和阵列暗场共焦探测模块；阵列涡旋光产生模块的阵列涡旋波片生成涡旋光照明阵列涡旋光照明模块的样品，阵列暗场共焦探测模块提取散射信号，并对相反阶数涡旋光照明下的收集的散射信号作差。直接分析一阶涡旋照明下的散射信号，可提取亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；分析相反阶涡旋光照明下的散射信号差值，可获取微纳结构的手性信息。
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公开(公告)号：CN118379467A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410616864.X
申请日：2024-05-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种并行共焦扫描的多点云融合方法，所述方法包括：对由单组虚拟针孔掩膜得到的散乱稀疏点云进行重整，得到规则密集点云；根据不同组针孔的位置信息，得到不同组点云的相对位置关系；根据位置关系对规则密集点云重新编号，并根据要求扩展点云x、y轴，变为规则稀疏点云；将所有规则稀疏点云进行叠加，得到含多组数据的规则密集点云。本发明实现了散乱点云的规则化，并实现多组点云之间的准确融合配准，为实现更高精度的三维形貌还原提供支持。
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公开(公告)号：CN116577334B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202310247164.3
申请日：2023-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于矢量偏振光束的差分暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括矢量偏振照明光产生模块、光束扫描照明模块和差分暗场共焦成像模块；通过调整半波片和涡旋波片，分别产生径向偏振信号光和角向偏振信号光，并控制声光调制器将光束调制为脉冲形式，实现在同一周期内，径向偏振信号光和角向偏振信号光交替进行照明，时间占比均为50％。同时利用照射在待测样品反射后的矢量偏振光偏振态不发生改变的特性，经由涡旋波片和偏振片，只收集散射信号。同时分析径向偏振信号光和角向偏振信号光分别照明下的散射信号差值，可以对亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息进行超分辨检测成像。
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