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公开(公告)号：CN111921955B
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202010796490.6
申请日：2020-08-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种风刀装置，涉及清洗设备技术领域，所述风刀装置包括风刀，所述风刀内开设有气体通道、液体通道和气液混合转换通道，还包括设置于所述气液混合转换通道内的气液混合转换开关，所述气液混合转换开关适于动作以连通所述气液混合转换通道与所述气体通道和所述液体通道，所述风刀上还开设有与所述气体通道连通的进气口、出气口以及与所述液体通道连通的进液口、出液口。本发明中风刀可自由切换采用气体、液体以及气液混合模式的清洗方式，能够有效清扫难以去除的灰尘、污渍等。
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公开(公告)号：CN110699653B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201911046675.9
申请日：2019-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种适用于多面共体反射镜的金属薄膜制备装置及方法，属于金属薄膜制备领域。装置是：X‑Y向位移平台与密封腔盖下表面固接，密封腔盖与升降机构的升降杆固接，升降机构与密封腔外侧壁固接，圆柱形磁控溅射靶上端与X‑Y向位移平台下表面固接，下端设置在转台内，转台设置在密封腔内。方法是：步骤一：运动轨迹规划；步骤二：参数和轨迹微调；步骤三：在转台上可拆卸固定待镀零件，闭合密封腔盖，圆柱靶到达指定位置，抽真空并通入工作气体；步骤四：检测反射率，不合格回到步骤二，调整磁控溅射制备参数，再检测均匀性，不合格回到步骤一调整运动轨迹；若合格，使用当前的磁控溅射参数和运动轨迹批量生产。本发明用于多面共体反射镜的金属薄膜制备。
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公开(公告)号：CN111921955A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010796490.6
申请日：2020-08-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种风刀装置，涉及清洗设备技术领域，所述风刀装置包括风刀，所述风刀内开设有气体通道、液体通道和气液混合转换通道，还包括设置于所述气液混合转换通道内的气液混合转换开关，所述气液混合转换开关适于动作以连通所述气液混合转换通道与所述气体通道和所述液体通道，所述风刀上还开设有与所述气体通道连通的进气口、出气口以及与所述液体通道连通的进液口、出液口。本发明中风刀可自由切换采用气体、液体以及气液混合模式的清洗方式，能够有效清扫难以去除的灰尘、污渍等。
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公开(公告)号：CN110747433A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911046706.0
申请日：2019-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种为多面共体反射镜制备金属薄膜的异形靶，本发明属于金属薄膜领域。水咀座后端与支撑管一端可拆卸连接，多个永磁铁套装在支撑管上且与支撑管间隙配合，每个隔离圈均由两个半圆环体组成，每两个半圆环体扣合设置在支撑管上，每两个半圆环体设置在支撑管外壁上并扣合且互相连接，多个隔离圈和多个永磁铁依次交替设置，异形靶材中部设有空腔，异形靶材的外形为柱状，异形靶材套装在多个隔离圈及多个永磁铁外侧，水咀座后端与异形靶材前端可拆卸连接，异形靶材后端与端盖可拆卸连接。本发明的异形靶的多个溅射面与多个反射镜对应一一对应，镀制的薄膜均匀性可以保证，异形靶与多面共体反射镜之间无需运动，缩小了薄膜沉积设备内腔的体积。
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公开(公告)号：CN110699653A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201911046675.9
申请日：2019-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种适用于多面共体反射镜的金属薄膜制备装置及方法，属于金属薄膜制备领域。装置是：X-Y向位移平台与密封腔盖下表面固接，密封腔盖与升降机构的升降杆固接，升降机构与密封腔外侧壁固接，圆柱形磁控溅射靶上端与X-Y向位移平台下表面固接，下端设置在转台内，转台设置在密封腔内。方法是：步骤一：运动轨迹规划；步骤二：参数和轨迹微调；步骤三：在转台上可拆卸固定待镀零件，闭合密封腔盖，圆柱靶到达指定位置，抽真空并通入工作气体；步骤四：检测反射率，不合格回到步骤二，调整磁控溅射制备参数，再检测均匀性，不合格回到步骤一调整运动轨迹；若合格，使用当前的磁控溅射参数和运动轨迹批量生产。本发明用于多面共体反射镜的金属薄膜制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103235385B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201310155942.2
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置，它涉及一种大口径光学元件的横向洁净拆装装置。本发明为了解决大口径光学聚焦与频率转换系统维护光学元件时间长，装置运行效率低的问题。本发明包括5自由度位姿调整台、洁净拆装转运箱和连接手轮；5自由度位姿调整台的竖向位置调整单元、横向位置调整单元、纵向位置调整单元和2自由度姿态调整单元由上至下依次连接，横向位置调整单元通过横向手轮转动横向平动螺杆，驱动横向工作台平移；纵向位置调整单元通过纵向手轮转动纵向平动螺杆，驱动纵向工作台平移；洁净拆装转运箱与2自由度姿态调整单元连接，连接手轮安装在连接轴的外端。本发明用于大口径光学元件的横向在线洁净拆装中。
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公开(公告)号：CN103230901B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201310156290.4
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置和方法，它涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置和方法。本发明解决了激光传输光学系统中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。阶梯式布置的上节流板和下节流板上设置有相互连通的进气口和冲扫气口，下节流板设在透镜系统的正下方，排气口设在排气罩的顶面上，排气罩系统设在光学系统上端，上节流板设在光学系统内，下节流板设在光学系统下端。洁净气体由上节流板和下节流板按照特定进气流量进入光学系统内部，气体经过透镜系统时对透镜表面及附近空间实现冲扫效果，使污染物随冲扫气体经排气罩系统排出光学系统内部。本发明用于保持激光传输光学系统中洁净度。
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公开(公告)号：CN103230900A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310155856.1
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B08B5/02
Abstract: 一种用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置，它涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置和方法。本发明解决了激光通过光学元件时会产生气溶胶，污染光学元件表面，光学元件表面需要进一步的清理，目前还没有合适的装置来实现保持激光传输光学元件的洁净度问题。用于保持大口径光学元件表面洁净的冲扫装置包括进气端气体输送导管、不锈钢气刀、出气端组件；不锈钢气刀和出气端组件相对应安装在光学组件壳体上，不锈钢气刀和出气端组件的安装位置与光学组件壳体内的大口径光学组件相对应，进气端气体输送导管连接在不锈钢气刀的进气口处。本发明用于保持激光传输光学组件的洁净度。
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公开(公告)号：CN103226228A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310187480.2
申请日：2013-05-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 非线性大口径光学元件多姿态调整机构，它涉及一种光学元件工作姿态调整机构。该机构解决了现有的非线性大口径光学元件夹持技术试验研究中不能施加多角度重力载荷的问题。所述机构包括支架、支撑框、两个转轴组件、两个弧形导轨和两个限位块，支架由底座和框架二者固接制成一体，支撑框设在框架内且二者通过两个转轴组件转动连接，支撑框用于连接非线性大口径光学元件夹持组件，框架顶部的两端分别与弧形导轨的一端可拆卸连接，每个弧形导轨上开有定位孔，限位块在定位孔处通过定位螺钉与弧形导轨可拆卸连接，支撑框与两个限位块搭接。本发明用于非线性大口径光学元件夹持技术试验研究中。
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公开(公告)号：CN103212973A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310155810.X
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P19/02
Abstract: 一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装方法，它涉及一种大口径光学元件的横向洁净拆装方法。本发明为了解决大口径光学聚焦与频率转换系统维护光学元件时间长，装置运行效率低的问题。本发明主要步骤：打开大口径光学聚焦与频率转换系统壳体上的冲压接口法兰，将洁净风机与洁净充气接口相连；将拆装装置运输到转换系统附近；启动洁净风机；打开光学元件拆装接口法兰；调整拆装装置位姿，将其连接到光学元件拆装接口法兰上；拔出箱体盖板；通过操作口转移光学元件；插入箱体盖板；将拆装装置拆下；封闭拆装接口法兰口；停止洁净风机；将洁净风机从冲压接口法兰上拆除，并封闭冲压接口；将转运箱运输回百级洁净实验室进行维修。本发明将光学元件的维护周期从2天缩短到2小时。
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