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公开(公告)号：CN118914199A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411010366.7
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了一种基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置，涉及光学精密测量技术领域，涡旋光产生模块用于产生预定阶数的涡旋光，涡旋光干涉模块用于将涡旋光分为参考光和成像光，利用成像光照射待测样品的扫描位置，得到扫描位置的样品反射光，并使参考光和样品反射光进行重合干涉，得到干涉光，干涉光的光斑为花瓣状，旋转解调模块用于对干涉光进行旋转解调，得到扫描位置的振幅和相位信息，从而可表征缺陷的振幅和相位信息，实现相位型缺陷的检测。
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公开(公告)号：CN114383533B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202210031996.7
申请日：2022-01-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种暗场共焦显微测量宽度定值方法,包括基于暗场共焦显微镜通过调节成像端的探测孔径获取的下表面准焦反射图像PR和下表面准焦散射图像PS。基于深沟槽暗场共焦显微成像模型计算沟槽下表面准焦强度像中沟槽边缘位置的归一化光强值IE，根据实际测量得到的下表面准焦反射图像PR以及光强值IE确定实际边缘位置值，获得反射探测模式下沟槽宽度定值结果；通过实际测量得到的下表面准焦散射图像Ps，通过高斯拟合沟槽边缘响应峰值位置值，获得散射探测模式下沟槽宽度定值结果；将反射探测模式与散射探测模式下的宽度定值结果加权平均作为沟槽宽度的最终测量值。为暗场共焦显微镜提供一种更为准确合理的沟槽宽度定值方法。
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公开(公告)号：CN118483137A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410671443.7
申请日：2024-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于有限元的多孔材料孔隙结构热成像检测装置及方法，它涉及一种多孔材料孔隙结构热成像检测装置及方法。本发明为了解决现有孔隙结构检测方法，破坏性大，易损伤材料；无损检测精度受限的问题。本发明所述装置包括显微镜、多孔材料固定器、气管和可调温气源；多孔材料固定器设置在显微镜的载物台上，多孔材料固定器通过气管与可调温气源连接。本发明属于材料精密检测技术领域。
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公开(公告)号：CN117521351A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311435898.0
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大口径非球面的轨迹规划设计方法，它涉及一种轨迹规划设计方法。本发明为了解决现有非规则表面或非球面测量技术的测量精度和效率较低的问题。本发明首先根据回转件的面型方程建立面型模型，用做路径规划的基础；然后通过预扫确定轨迹扫描的范围和回转件的曲率、半径和高度等信息；再根据测量要求确定螺线扫描的上升速度和回转速度后，通过路径规划算法给出轨迹扫描中各途径点的空间坐标；最后对离散的轨迹扫描进行平滑处理后，发送给运动执行机构。本发明属于光学精密测量技术领域。
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公开(公告)号：CN117173115A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311096405.5
申请日：2023-08-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于统计量迭代的晶圆黄金图生成方法，它涉及一种晶圆黄金图生成方法。本发明为了解决传统的基于空域形态学处理的方法对待检测晶圆进行了尺寸分析，然而该方法的计算结果容易受到划痕、光照不均匀等因素的影响，鲁棒性不高的问题。本发明的步骤包括步骤1、对晶粒形态进行分析；步骤2、采用自适应多尺度滤波的方法来实现光照的统一化；步骤3、对图像序列进行基于特征的配准来实现图像对齐，并采用统计量迭代的方法去除图像序列中的奇异点；步骤4、生成无缺陷的晶圆黄金图。本发明属于图像处理技术领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117152512A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311103115.9
申请日：2023-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06V10/764 , G06V10/54 , G06V10/422 , G06T7/00
Abstract: 一种基于晶圆缺陷特征群的缺陷分类方法，它涉及一种缺陷分类方法。本发明为了解决当一个纹理方向不同的缺陷图像输入分类器时，分类器很可能无法准确的对其进行归类的问题。本发明所述方法是建立晶圆缺陷特征群，所述晶圆缺陷特征群包括晶圆缺陷的形状结构特征和灰度纹理特征两个大类特征。本发明属于图像处理技术领域。
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公开(公告)号：CN108592790B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201810332847.8
申请日：2018-04-13
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 南京谱锐西玛仪器有限公司 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种用于改进型α‑β扫描方法的延迟相位标定方法，其步骤包括：使用α‑β扫描方法完成对正交网格光栅样品扫描成像，即使用频率为f，初始相位分别为0和π/2正弦信号控制检流式振镜系统，偏转激光光束扫描；然后根据使用目标轨迹重构的扫描图像与目标图像相对位置关系确认扫描图像旋转角度θ，角度值θ转换弧度值φ，φ即为在频率为f时延迟相位大小；重复步骤上述测量过程获得不同频率fk下延迟相位大小φk；最后根据多组测量结果，拟合f‑φ函数关系，即为扫描频率与相位延迟函数关系，完成用于改进型α‑β扫描方法的延迟相位标定。本发明提供的延迟相位标定方法，精准确定相位延迟大小，提前校正由于振镜系统惯性导致的相位延迟。
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公开(公告)号：CN117495926B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202311435886.8
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大口径非球面的三维点云数据配准方法，它涉及一种三维点云数据配准方法。本发明为了解决在处理大口径非球面点云数据时，经常存在点云之间配准精度和效率较低的问题。本发明的步骤包括数据预处理、特征提取、初步配准、非球面形状分析、迭代优化处理和结果验证。本发明属于三维点云数据处理技术领域。
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公开(公告)号：CN118914200A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411010369.0
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了一种基于螺旋变换的涡旋二色性暗场共焦显微测量装置，涉及光学精密测量技术领域，相反阶涡旋光束产生模块用于产生混合涡旋光束，样品扫描模块用于利用混合涡旋光束照射待测样品的扫描位置，得到样品反射光束，螺旋变换模块用于对样品反射光束进行空间分离，得到空间分离光束，多阶探测模块用于对空间分离光束进行探测，得到扫描位置的涡旋二色性信号强度，当待测样品的扫描位置无缺陷时，涡旋二色性信号强度为0，当待测样品的扫描位置存在缺陷时，涡旋二色性信号强度不为0，且涡旋二色性信号强度的正负性与缺陷的左旋手性和右旋手性分别对应，从而可以探索三维集成电路层间缺陷的手性特性。
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公开(公告)号：CN117152214B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202311102953.4
申请日：2023-08-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于改进光流检测的缺陷识别方法，它涉及一种缺陷识别方法。本发明为了解决采用稀疏光流检测缺陷的方法虽然能降低缺陷检测时间复杂度，但是其只使用于单一背景或是图案复杂度低情况的问题。本发明的步骤包括步骤1、提取两帧图像中的特征点稀疏矩阵；步骤2、利用特征点匹配估计运动；步骤3、建立流光方程；步骤4、通过最小二乘法求解运动速度。本发明属于图像处理技术领域。
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