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公开(公告)号：CN106145037A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201510153117.8
申请日：2015-04-01
申请人： 大连中鼎化学有限公司
摘要： 本发明提供了一种从硅外延炉放空尾气中回收氢气的装置及制高纯氢的方法，采用一次水洗、化学吸附深度脱氯、氢气压缩机增压、PSA气体分离系统、催化脱氧、水冷却、终端净化、回流氢气控制前端管道压力、再生气返回前端净化回收及防爆措施的技术路线。将氢气中残余的微量杂质脱除到99.99999％以下得到高纯氢气；该方法可以使所得到的产品氢气纯度达99.9％～99.99999％，回收率可高达95％。残存杂质中的氯气、氧气、硅烷等可分别低至1×10-8，并可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于从硅外延生产过程中的放空废气中分离和回收氢气，具有十分良好的经济效益、环保效益。
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公开(公告)号：CN105776161A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201410822479.7
申请日：2014-12-25
申请人： 大连中鼎化学有限公司
IPC分类号： C01B23/00
摘要： 本发明涉及一种光纤生产过程中的冷却氦气的回收净化方法，(1)将氦气回收装置安装在光纤冷却管的两端；(2)将两端的氦气回收装置连接到负压发生装置上；(3)在氦气回收装置与负压发生装置之间设置一台流量控制调节装置，保证冷却氦气、大气和回收氦气之间的压力保持一下关系：分析仪器安装在氦气回收装置和粗氦缓冲罐之间；(4)将回收的氦气集中到粗氦缓冲罐中；(5)将粗氦缓冲罐中的粗氦加压到净化所需要的压力，采用低温吸附或变压吸附加变温吸附加吸气剂净化联合流程净化至高纯氦气标准。本发明的氦气回收装置和工艺流程经过优化设计，优先考虑氦气的回收率，使价格昂贵的氦气得以充分的回收利用。
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公开(公告)号：CN211069400U
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201921131116.3
申请日：2019-07-18
申请人： 大连中鼎化学有限公司
摘要： 一种气体快速加热纯化装置，属于气体纯化技术领域。该气体纯化快速加热装置设有一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器三个不同孔径的过滤器；在气体入口设有加热器。本实用新型通过设置三级孔径不同的过滤器对气体中的机械杂质进行有效的过滤，同时在二级过滤器上方可以堆积固体物料用于去除气体中其他成分，二级过滤器既可以去除机械杂质又可去除非机械杂质，一举两得；加热器与进入的气体产生扰流，加热充分且加热时间短，起到均匀、快速加热气体的作用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210495553U
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201921131087.0
申请日：2019-07-18
申请人： 大连中鼎化学有限公司
摘要： 一种气体纯化装置，属于气体纯化技术领域。该装置由上封头部分、直筒段部分和下封头部分三部分组成，上封头部分设有气流分配器、一级过滤器和定位器，直筒段设有热偶套管、二级过滤器和三级过滤器，下封头下部连有出气管。三种过滤器的孔径按照孔径从大到小排列为一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器。本实用新型通过设置孔径不同的过滤器可以有效的去除气体中的机械杂质，二级过滤器还可以放入固体物料去除气体中不需要的成分，同一气体纯化装置可纯化不同的气体。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209306960U
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201821884830.5
申请日：2018-11-15
申请人： 大连中鼎化学有限公司 , 杭州士兰微电子股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种化合物半导体外延尾气回收利用装置。利用加压、低温氨分离、变温吸附纯化和低温再沸脱气设备，将尾气中的氨、氢气和氮气充分回收利用，具有回收的氨、氢气、氮气的纯度高和回收率高等优点。本实用新型可以将现有技术中使用一次就放空的昂贵液氨、氢气和氮气大量的回收，并通过分离净化方法使其再重新投入生产过程，大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本，提高了器件生产产量，具有回收效率高，回收液氨、氮气和氢气纯度高，纯化深度好，回收成本低的显著特点，同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的，促进本领域发展，具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208200380U
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201820580240.7
申请日：2018-04-23
申请人： 大连中鼎化学有限公司
发明人： 邱长春
摘要： 本实用新型涉及一种超纯氯化氢的制备装置，属于纯化设备技术领域。主要包括超纯氯气净化装置、超高纯氢气净化器、催化反应器、低温再沸精馏系统；所述的超纯氯气净化装置、氯气质量流量控制器、混合器、催化反应器依次连接；所述的超高纯氢气净化器包括脱氧装置、吸气净化装置，所述的脱氧装置、吸气净化装置、氢气质量流量控制器、混合器、催化反应器依次连接。本实用新型整体结构简单、低温再沸精馏系统用液氮作为冷源简化了设备流程，方便操作管理，保障液态氯化氢的连续可靠生产。
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公开(公告)号：CN211644607U
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201922479776.7
申请日：2019-12-31
申请人： 大连中鼎化学有限公司
IPC分类号： C01B23/00
摘要： 本实用新型涉及一种从不凝气体中提取氦气的纯化装置，属于资源综合利用技术领域。主要技术方案为高压循环风机、循环气体流量计量和控制装置、催化脱氢反应器、水冷却和分水器形成的闭环系统；所述的催化脱氢反应器的入口设有原料气入口管道，在原料气入口管道上设有氢气分析仪和流量计；在原料气入口管道与催化脱氢反应器入口的交汇处，设有精确控制加氧系统，在氦气出口的管道上设有氢、氧分析仪。本实用新型属国内首创，具有回收效率高，运行安全可靠，回收氦气纯度高，净化深度好，回收成本低的显著特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210532691U
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201921131127.1
申请日：2019-07-18
申请人： 大连中鼎化学有限公司
摘要： 一种气体加热器，属于气体加热器领域。气体加热器包括加热器本体、进气管、加热器筒体、热偶套管和出气管。加热器本体包括：上部封头、换热体、流体通过孔、定位器、热源内槽和热偶内槽。气体通过进气管进入加热器本体经热源内槽内的加热源加热后由流体通过孔流入加热器筒体进行混合后从出气管流出。本实用新型在进气管处设有流体通过孔可对气体作初步加热，多个孔可将气体分散，提升加热效果和加热效率，加热器本体与加热器筒体之间留有的空隙，气体流出后可加大加热后的气体的流速，使气体充分混合。同时，气体在经过热器本体与加热器筒体之间留有的空隙时再次加热，提高气体的加热效率、均匀程度和速度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206985709U
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201720903095.7
申请日：2017-07-25
申请人： 大连中鼎化学有限公司
摘要： 本实用新型涉及半导体、LED、光伏太阳能生产等领域，具体的涉及一种超高纯氧气、氮气纯化系统。主要技术方案如下：包括机械装置和控制系统；所述的机械装置包括依次连通的原料气入口、程控阀门、换热器、催化脱烃器、水冷却器、脱氧干燥器、产品气出口；所述的催化脱烃器内设有加热系统和催化剂；本实用新型可以对氧气或氮气中的H2O、CO、CO2、CH4、TCH等杂质深度脱出，还可脱除氮气中的氧气杂质解决了气体杂质影响电子行业生产器件，造成电子元件质量下降的问题。
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公开(公告)号：CN206985701U
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201720903241.6
申请日：2017-07-25
申请人： 大连中鼎化学有限公司
CPC分类号： Y02P20/134
摘要： 本实用新型涉及半导体、LED、光伏太阳能生产等领域，具体的涉及一种超高纯氢气、氩氦气纯化系统。主要技术方案如下：包括机械装置和控制系统；所述的机械装置包括依次连通的原料气入口、程控阀门、吸附干燥器、换热器、吸气反应器、水冷却器；所述的吸附干燥器包括吸附干燥器A、吸附干燥器B，所述的吸附干燥器A、吸附干燥器B循环作为吸附反应器和再生反应器，所述的吸附干燥器A、吸附干燥器B内设有温度传感器、电加热器、储热机构；本实用新型的对原料气中O2、H2O、CO、CO2、N2、CH4、TCH等杂质深度脱出，解决了气体杂质影响电子行业生产器件，造成电子元件质量下降的问题。
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