从氯碱工业放空尾气中回收氢气制备高纯氢的装置和方法

    公开(公告)号:CN105776136B

    公开(公告)日:2018-11-20

    申请号:CN201410825460.8

    申请日:2014-12-25

    IPC分类号: C01B3/50

    摘要: 本发明提供了从氯碱工业放空尾气中回收氢气制备高纯氢的装置和方法,采用两次碱洗、一次水洗及吸附深度脱氯、水环压缩机增压、催化脱氧、水冷却、终端净化、反流氢气稀释氧含量及防爆措施的技术路线。该方法可以使所得到的产品氢气纯度达99.9%~99.999999%,回收率可高达98%。残存杂质中的氯气、氧气等可分别低至1×10‑8,并可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于从氯碱生产过程中的放空废气中分离和回收氢气,具有十分良好的经济效益、环保效益。

    一种超高纯氢气、氩气、氦气纯化方法

    公开(公告)号:CN107434243A

    公开(公告)日:2017-12-05

    申请号:CN201710609233.5

    申请日:2017-07-25

    IPC分类号: C01B3/56 C01B23/00

    摘要: 本发明涉及半导体、LED、光伏太阳能生产等领域,具体的涉及一种超高纯氢气、氩气、氦气纯化方法。主要技术方案如下:包括干燥脱氧工序、吸气工序、再生工序;三个工序通过控制系统实现,所述的控制系统包括中央控制单元、以及分别与中央控制单元的流量计、程控阀门组、交流接触器、压力传感器、加温元件。本发明的对原料气中O2、H2O、CO、CO2、N2、CH4、TCH等杂质深度脱出,解决了气体杂质影响电子行业生产器件,造成电子元件质量下降的问题。且采用两塔纯化流程,其中一个吸附干燥器工作,另一个吸附干燥器则进行再生,这样两个吸附干燥器交替工作和再生,从而可实现对原料气的连续净化。

    从硅外延炉放空尾气中回收氢气的装置及制高纯氢的方法

    公开(公告)号:CN106145037A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201510153117.8

    申请日:2015-04-01

    IPC分类号: C01B3/52 C01B3/56

    摘要: 本发明提供了一种从硅外延炉放空尾气中回收氢气的装置及制高纯氢的方法,采用一次水洗、化学吸附深度脱氯、氢气压缩机增压、PSA气体分离系统、催化脱氧、水冷却、终端净化、回流氢气控制前端管道压力、再生气返回前端净化回收及防爆措施的技术路线。将氢气中残余的微量杂质脱除到99.99999%以下得到高纯氢气;该方法可以使所得到的产品氢气纯度达99.9%~99.99999%,回收率可高达95%。残存杂质中的氯气、氧气、硅烷等可分别低至1×10-8,并可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于从硅外延生产过程中的放空废气中分离和回收氢气,具有十分良好的经济效益、环保效益。

    光纤生产过程中通入光纤冷却管中的冷却氦气的回收方法

    公开(公告)号:CN105776161A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201410822479.7

    申请日:2014-12-25

    IPC分类号: C01B23/00

    摘要: 本发明涉及一种光纤生产过程中的冷却氦气的回收净化方法,(1)将氦气回收装置安装在光纤冷却管的两端;(2)将两端的氦气回收装置连接到负压发生装置上;(3)在氦气回收装置与负压发生装置之间设置一台流量控制调节装置,保证冷却氦气、大气和回收氦气之间的压力保持一下关系:分析仪器安装在氦气回收装置和粗氦缓冲罐之间;(4)将回收的氦气集中到粗氦缓冲罐中;(5)将粗氦缓冲罐中的粗氦加压到净化所需要的压力,采用低温吸附或变压吸附加变温吸附加吸气剂净化联合流程净化至高纯氦气标准。本发明的氦气回收装置和工艺流程经过优化设计,优先考虑氦气的回收率,使价格昂贵的氦气得以充分的回收利用。

    从硅外延炉放空尾气中回收氢气的装置及制高纯氢的方法

    公开(公告)号:CN106145037B

    公开(公告)日:2018-07-27

    申请号:CN201510153117.8

    申请日:2015-04-01

    IPC分类号: C01B3/52 C01B3/56

    摘要: 本发明提供了种从硅外延炉放空尾气中回收氢气的装置及制高纯氢的方法,采用次水洗、化学吸附深度脱氯、氢气压缩机增压、PSA气体分离系统、催化脱氧、水冷却、终端净化、回流氢气控制前端管道压力、再生气返回前端净化回收及防爆措施的技术路线。将氢气中残余的微量杂质脱除到99.99999%以下得到高纯氢气;该方法可以使所得到的产品氢气纯度达99.9%~99.99999%,回收率可高达95%。残存杂质中的氯气、氧气、硅烷等可分别低至1×10,并可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于从硅外延生产过程中的放空废气中分离和回收氢气,具有十分良好的经济效益、环保效益。

    从煤制气中提纯氢气制备高纯及超高纯氢气的工艺方法

    公开(公告)号:CN107434242A

    公开(公告)日:2017-12-05

    申请号:CN201710568915.6

    申请日:2017-07-13

    IPC分类号: C01B3/56

    摘要: 本发明涉及从煤制气中提纯氢气制备高纯及超高纯氢气的工艺方法,属于煤化工制合成气的化工领域。主要技术方案如下:包括依次进行的过滤与吸附两个步骤;所述的过滤通过过滤装置将煤制气中的固体颗粒、油、水进行脱除;所述的吸附通过吸附装置深度脱除煤制气中包括O2、H2O、CO2、CH4、N2、CO的杂质;本发明提供的纯化煤制气的工艺方法,纯化效率高,装置成本低、纯化条件简单、可进行大规模的纯化生产过程,变压吸附工序采用6塔纯化流程,其中1台作为反应器工作(吸收杂质),另4台反应器则分别进行均压,剩余1台进行低压解吸,这样6台反应器交替工作和再生,从而可实现对原料气的连续分离和净化。

    光纤生产过程中通入光纤冷却管中的冷却氦气的回收方法

    公开(公告)号:CN105776161B

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201410822479.7

    申请日:2014-12-25

    IPC分类号: C01B23/00

    摘要: 本发明涉及一种光纤生产过程中的冷却氦气的回收净化方法,(1)将氦气回收装置安装在光纤冷却管的两端;(2)将两端的氦气回收装置连接到负压发生装置上;(3)在氦气回收装置与负压发生装置之间设置一台流量控制调节装置,保证冷却氦气、大气和回收氦气之间的压力保持一下关系:分析仪器安装在氦气回收装置和粗氦缓冲罐之间;(4)将回收的氦气集中到粗氦缓冲罐中;(5)将粗氦缓冲罐中的粗氦加压到净化所需要的压力,采用低温吸附或变压吸附加变温吸附加吸气剂净化联合流程净化至高纯氦气标准。本发明的氦气回收装置和工艺流程经过优化设计,优先考虑氦气的回收率,使价格昂贵的氦气得以充分的回收利用。