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公开(公告)号：CN113405946B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202110682858.0
申请日：2021-06-18
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G01N11/16
Abstract: 本公开提供了一种微机电谐振式粘度传感器，包括依次键合连接的第一液体接触膜、SOI组合体和第二液体接触膜，第一液体接触膜与第二液体接触膜关于SOI组合体镜像对称，SOI组合体包括谐振器，第一液体接触膜具有第一薄膜，第二液体接触膜具有第二薄膜，第一薄膜与第二薄膜的中心通过刚性体连接于谐振器的中心；第一薄膜与第二薄膜之间形成有真空腔体，谐振器位于真空腔体内，谐振器在驱动力作用下带动第一薄膜与第二薄膜沿着垂直于薄膜平面的方向谐振工作。利用本公开，粘度变化与谐振能量损耗的转换过程简单，有利于提高粘度的检测灵敏度，降低后端算法处理难度，提高传感器的输出精度，并且使得传感器的量程有大幅提升。
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公开(公告)号：CN109928359A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910231599.2
申请日：2019-03-25
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种微结构封装方法，包括：在单晶硅圆片上表面刻蚀出导电硅柱和硅凹槽，硅凹槽底部与单晶硅圆片背面之间剩余的单晶硅材料为微结构功能层；将玻璃粉末填充至硅凹槽内；以玻璃粉末软化点以上的温度，高温烧结玻璃粉末，形成玻璃体；在单晶硅圆片背面刻蚀出包含功能结构和电学连接结构的微结构和边框；盖帽与边框通过键合工艺粘接，将微结构密闭封装；以及在导电硅柱上沉积金属电极，实现与外部电路的欧姆接触。
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公开(公告)号：CN109144007A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811072926.6
申请日：2018-09-12
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G05B19/418
CPC classification number: G05B19/41885 , G05B2219/32339
Abstract: 本发明公开了一种面向数字化车间制造装备集成与互联互通的自动构造系统，主要包括信息模型建模方法模块、信息模型结构组织方法模块、信息模型编辑器以及信息模型加载器。信息模型建模方法模块包括设备、组件、组件集、属性、属性集、引用、方法、方法集的定义；信息模型结构组织方法模块中定义了模型元素的结构和标准描述；信息模型编辑器对信息模型建模方法和组织方法模块进行软件实现，通过信息模型编辑器可以生成制造装备信息模型XML描述文件；信息模型加载器对XML描述文件进行解析，自动构造制造装备信息模型OPC UA地址空间和服务器。利用该发明可以快速实现数字化车间内制造装备与云平台等系统的集成与互联互通。
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公开(公告)号：CN106951469A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710122721.3
申请日：2017-03-17
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G06F17/30
CPC classification number: G06F17/30294 , G06F17/30569
Abstract: 本发明公开一种离散制造的能效数据处理方法及装置，所述能效数据处理方法包括：确定待处理的离散制造生产线上涉及能效数据的各个实体的边界范围；依据所述边界范围内的实体之间的能效关系，构建能效数据结构模型；采集所述能效数据结构模型中各终端节点的能效相关数据；将所述能效相关数据转化为统一的数据格式输入所述能效数据结构模型，计算所述离散制造生产线的能效数据评估值。通过将来源于不同的设备、工艺过程和系统的离散制造能效数据统一为相同的数据结构，并将采集的能效相关数据以相同的数据格式输入，可以将能效数据直接导入数据能效评估模块，操作更加快捷、简便，节省了大量时间，提高了工作效率。
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公开(公告)号：CN104676831A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410820353.6
申请日：2014-12-24
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
CPC classification number: F24F2110/10 , F24F11/30 , F24F11/58 , F24F11/62 , F24F2110/00 , F24F2110/20 , F24F2110/70
Abstract: 一种用于洞窟微环境调节控制系统的控制方法。该控制方法基于CFD分析，对洞窟微环境引入的主动送风以及主动抽风的控制手段进行分析，分析结果发现，洞窟墙壁表面的最大风速，主动抽风比主动送风小。从保护壁画的角度，主动抽风优于主动送风。在风险分析基础上提出洞窟微环境控制方案。该微环境控制系统由分隔门、无线传感器、多功能网关等模块组成，具备环境分隔、自然通风、主动抽风等功能。分隔门主要由主控制器(1)、抽风风扇(2)、多功能网关(3)、纱帘(4)、百叶(5)组成。在自然通风状态下，通过调整分隔门上百叶的旋转角度，控制进入洞窟的风量和风速。当自然通风不能调整洞窟的微环境的时候，采用主动抽风的方式，向洞窟内送入干燥空气，使洞窟微环境的湿度、CO2含量保持在一种稳定的、理想的状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115140702B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202210723630.6
申请日：2022-06-23
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于高深宽比二氧化硅微纳结构的光学调制器的制备方法，包括：对硅晶圆正面进行刻蚀，形成硅微纳结构阵列；对硅晶圆背面进行刻蚀或腐蚀，完全释放出硅微纳结构阵列，同时在硅微纳结构阵列的外围形成支撑结构；对硅晶圆进行热氧化处理，将硅氧化为二氧化硅；在进行热氧化处理的硅晶圆表面沉积透明电极层；另取一块玻璃圆片，在玻璃圆片上加工出填充液出入口，并在玻璃圆片的一面沉积透明电极层；将玻璃圆片沉积有透明电极层的一面与二氧化硅微纳结构阵列外围的支撑结构进行键合，形成封闭腔体。本公开利用刻蚀结合热氧化工艺，实现了高深宽比的二氧化硅微纳结构阵列的制备，进而得到高深宽比的光学调制器。
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公开(公告)号：CN117521432B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202410022727.3
申请日：2024-01-08
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G06F30/20 , G06N7/01 , G06F119/02
Abstract: 本发明涉及设备检测技术领域，具体涉及一种面向在役过程设备的失效模式与影响分析方法，包括：确定在役过程设备失效检测的风险评价指标，风险评价指标的计算方式为：失效影响严重度乘以失效原因发生度，再除以失效检测度；对照构建好的量化评价准则，计算风险评价指标的具体数值，并根据计算得到的数值评估在役设备是否处于失效风险。本发明可提高在役过程设备的失效检测能力，并可准确评估是否处于失效风险状态。
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公开(公告)号：CN117521432A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202410022727.3
申请日：2024-01-08
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G06F30/20 , G06N7/01 , G06F119/02
Abstract: 本发明涉及设备检测技术领域，具体涉及一种面向在役过程设备的失效模式与影响分析方法，包括：确定在役过程设备失效检测的风险评价指标，风险评价指标的计算方式为：失效影响严重度乘以失效原因发生度，再除以失效检测度；对照构建好的量化评价准则，计算风险评价指标的具体数值，并根据计算得到的数值评估在役设备是否处于失效风险。本发明可提高在役过程设备的失效检测能力，并可准确评估是否处于失效风险状态。
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公开(公告)号：CN117240616A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311500544.X
申请日：2023-11-13
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: H04L9/40
Abstract: 本发明公开了威胁攻击视角下网络物理生产系统一体化风险分析方法，该方法包括：从数据流、控制流视角建立网络空间、物理空间的架构图；确定构建一体化风险图谱的物理空间顶事件；分析物理空间内的危险事件，建立物理空间内的图谱结构；遍历物理空间的输入事件和中间事件，确定混合事件和网络空间顶事件；分析网络空间内的攻击事件，建立网络空间中的图谱结构，形成一体化风险图谱；构建一体化风险图谱的布尔表达式，计算得出最小割集；计算最小割集的可能性，得到最小割集的二元序偶，并利用混淆矩阵判断一体化风险等级。本发明方法适用于数字化转型背景下网络物理生产系统的风险评价与管控，有助于提高风险管控的全面性和准确性。
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公开(公告)号：CN117008552A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311002997.X
申请日：2023-08-10
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明公开了一种面向数字化车间管理系统与制造装备的动态重构方法。本发明中，包括业务重构模块、设备重构模块以及IT和OT融合的产物可重构控制器。业务重构模块是通过原子事件、服务编排、服务绑定以及事件触发的形式应对当前生产过程业务变化需求，以零代码和低门槛的方式让业务人员参与到系统开发中来；设备重构模型通过将物理世界的资源抽象成计算机服务器，通过网络连接建立联系，经由资源的动作按照业务逻辑进行编排，形成一个完整的工作流，再通过专用的驱动与硬件PLC寄存器通讯，实时完成IT与OT的深层交互，可实现不同场景和不同设备的快速配置，减少开发，快速实施。
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