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公开(公告)号：CN103292686A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310003704.X
申请日：2013-01-06
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B9/02041 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01B11/272
Abstract: 本发明提供一种图像传感器、姿势检测器、接触探头以及多传感探头，该图像传感器是成为比以往的线阵图像传感器更简单的光学系统的结构并且能够进行高速检测的干涉条纹等条纹图像用的图像传感器。图像传感器(10)具备配置在受光面上的两个以上的直线状的像素列，根据各像素(2)的受光量对基于来自被照射体的反射光产生的有规则的条纹进行拍摄。像素列中的至少两个像素列(线(1)、线(2))配置为成大致90度的交角，获取投射于受光面的条纹中的以大致90度交叉的两个方向的线状条纹的像。
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公开(公告)号：CN1811646A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200610001477.7
申请日：2006-01-17
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 石川修弘
IPC: G05D3/12
CPC classification number: G05B19/19 , G05B2219/42062 , G05B2219/42091
Abstract: 本发明提供位置控制装置、测量装置以及加工装置。在包括具有控制电机电流(I)的电流控制环和控制电机速度(Vm)的电机速度控制环的驱动控制部(5)、控制被驱动体(2)的速度(Vd)的速度控制环(3)、以及控制被驱动体(2)的位置(Pd)的位置控制环(4)的4层环位置控制装置(1)中，设置加法器(6)，对来自位置控制环(4)的输出值和来自速度控制环(3)的输出值进行加法计算，将结果输入电机速度控制环。通过设置加法器(6)，位置控制装置(1)作为线性滞后系统的控制装置进行动作，因此即使从抑制被驱动体(2)的振动性的动作的角度设定了位置控制装置(1)的各项传递函数，也能可靠地防止发生过冲。
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公开(公告)号：CN1801024A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510127424.5
申请日：2005-12-02
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G05B19/19 , G05B2219/42104
Abstract: 本发明提供一种控制装置，所述控制装置包括：第1切换器(第1切换装置)(400)，使对电机速度控制环(910)的输入信号在位置控制环(300)的信号和速度控制环(200)的信号之间切换，和切换控制部(500)，进行第1切换器(400)的切换控制；所述控制装置，按照过渡状态和稳定装置，利用该第1切换器(400)，对包括速度控制环(200)的4层环(电流控制环、电机速度控制环、速度控制环(200)、以及位置控制环(300))，和不包括速度控制环(200)的3层环(电流控制环、电机速度控制环、位置控制环(300))进行切换。
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公开(公告)号：CN1155803C
公开(公告)日：2004-06-30
申请号：CN98800150.0
申请日：1998-02-16
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
CPC classification number: G01B7/012
Abstract: 触针(1)具有压电元件支承部分(1C)，用以支承并固定压电元件(21-24)，压电元件支承部分(1C)是规则多边形体，与触针(1)正交的截面是规则多边形。压电元件(21-24)分别安装在规则多边形体的每一侧面上，并产生从压电元件(21-24)输出的信号的和、差和平方和，并根据所产生的信号产生接触检测信号。计算从压电元件(21-24)输出的信号的和，并获取作用在触针轴上的应变分量，计算从压电元件(21-24)输出的信号的差，并获得作用在触针轴上的弯曲应变分量。
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