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    流体控制器
    31.
    发明授权
    流体控制器 有权

    公开(公告)号：CN106662270B

    公开(公告)日：2019-09-06

    申请号：CN201580034364.4

    申请日：2015-12-14

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 谷川毅 ,  山路道雄 ,  药师神忠幸 ,  石桥圭介 ,  柳田保昌

    IPC分类号： F16K35/00 ,  F16K31/122

    摘要： 本发明提供一种在确保耐久性的基础上，能够进行高精度的流量调整的流体控制器。本发明的流体控制器具备用于设定伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元(10)，还具备使伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量在上限值以下的范围内变化的阀杆上下移动量微调整单元(11)。

    密封构造及密封方法以及具有该密封构造的联轴器
    32.
    发明公开
    密封构造及密封方法以及具有该密封构造的联轴器 有权

    公开(公告)号：CN109863334A

    公开(公告)日：2019-06-07

    申请号：CN201780065703.4

    申请日：2017-10-26

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 平松浩司 ,  山路道雄 ,  大道邦彦 ,  药师神忠幸 ,  柳田保昌 ,  船越高志

    IPC分类号： F16J15/06 ,  F16L19/03

    摘要： 提供一种即使用于低温流体也能够长时间确保密封性的密封构造及密封方法以及具有该密封构造的联轴器。具有夹设在第1部件及第2部件(2、3)之间的环状垫圈(6)。第1部件(2)的垫圈对置面包括：内径侧的第1面(41)；环状的第1突起(42)，其设置在第1面(41)的外径侧；第2面(43)，其设置在第1突起(42)的外径侧；环状的第2突起(44)，其设置在第2面(43)的外径侧，相对于第2面(43)的突出量大于第1突起(42)；以及第3面(45)，其设置在第2突起(44)的外径侧。第1突起(42)及第2突起(44)咬入垫圈(6)，第2面(43)按压垫圈。

    流体控制器
    35.
    发明公开
    流体控制器 有权

    公开(公告)号：CN106662270A

    公开(公告)日：2017-05-10

    申请号：CN201580034364.4

    申请日：2015-12-14

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 谷川毅 ,  山路道雄 ,  药师神忠幸 ,  石桥圭介 ,  柳田保昌

    IPC分类号： F16K35/00 ,  F16K31/122

    摘要： 本发明提供一种在确保耐久性的基础上，能够进行高精度的流量调整的流体控制器。本发明的流体控制器具备用于设定伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元(10)，还具备使伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量在上限值以下的范围内变化的阀杆上下移动量微调整单元(11)。

    在线型浓度计和浓度检测方法
    37.
    发明公开
    在线型浓度计和浓度检测方法 有权

    公开(公告)号：CN105556283A

    公开(公告)日：2016-05-04

    申请号：CN201480022888.7

    申请日：2014-07-18

    申请人： 国立大学法人德岛大学 ,  株式会社富士金

    发明人： 出口祥啓 ,  永濑正明 ,  池田信一 ,  山路道雄

    IPC分类号： G01N21/33

    CPC分类号： G01N21/5907 ,  G01N21/33 ,  G01N2021/3148 ,  G01N2021/5969 ,  G01N2021/8411 ,  G01N2021/8578 ,  G01N2201/0627 ,  G01N2201/0691

    摘要： 本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，并且能够在高精度、高灵敏度下进行再现性高的浓度测定。本发明由以下部件构成：发射具有相位差的至少两种波长的光的光源部；具备将来自光源部的光入射至检测器主体的流体通路内的光入射部和对流体通路内通过的光进行受光的至少两个光检测部的检测部；对来自检测部的至少两个波长的检测信号分别进行频率解析，并且计算与上述各检测信号的至少三个频率域的吸光度对应的强度，根据该各检测信号的至少三个频率域的吸光度强度计算流体通路内的流体浓度的运算处理部；记录和/或显示运算处理部的流体浓度的计算值的记录显示部。

    隔膜阀
    38.
    发明公开
    隔膜阀 失效

    公开(公告)号：CN105452741A

    公开(公告)日：2016-03-30

    申请号：CN201480034016.2

    申请日：2014-07-04

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 石桥圭介 ,  北野太一 ,  谷川毅 ,  山路道雄

    IPC分类号： F16K7/14

    CPC分类号： F16K7/17

    摘要： 提供一种隔膜阀，通过进行适当的铆固，从而使耐老化性提高。在阀体(2)的凹部(2c)的底面(2d)设置有环状且直径相对小的内侧突出部(22)和环状且直径相对大的外侧突出部(23)。阀座(5)设为合成树脂制，且插入内侧突出部(22)与外侧突出部(23)之间。两个突出部(22、23)被铆固，从而防止阀座(5)的脱落。内侧突出部(22)的高度比外侧突出部(23)的高度低，并且内侧突出部(22)的外侧的角(22a)为曲面。

    集成型气体供给装置
    40.
    发明公开
    集成型气体供给装置 失效

    公开(公告)号：CN104737086A

    公开(公告)日：2015-06-24

    申请号：CN201380057366.6

    申请日：2013-10-18

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 小艾睦典 ,  广濑隆 ,  山路道雄 ,  松田隆博

    IPC分类号： G05D7/00 ,  F16K27/00

    CPC分类号： G05D7/00 ,  F15B13/044 ,  F16K27/003 ,  G05D7/0652 ,  G05D7/0682 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T137/87885

    摘要： 本发明实现半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给线路的增加、装置的小型化、装置内部的气体流路内容积的减小，提高装置的气体置换性，并且实现设置空间的削减、各仪器类的维护管理的容易化。通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上，将设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3）对置状地组合固定，并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个气体供给线路（S）的气体供给单元（U），将该气体供给单元（U）堆叠多台并固定。