公开(公告)号：CN106282971A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610689377.1

申请日：2016-08-19

申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

发明人： 张宇 ,  朱辉 ,  瞿鸿海 ,  谢振勇

IPC分类号： C23C16/50

摘要： 一种用于多管PECVD设备的自动上下料系统，包括推车、缓存架、石墨舟、石墨舟装载机构、推舟、上水平导轨、下水平导轨及垂直导轨，垂直导轨滑设于水平导轨上，推舟滑设于垂直导轨上，石墨舟装载机构与推舟连接，推舟的推送方向与推舟导向机构所在的平面垂直，推车和缓存架的底部均预留取放口。上料：将石墨舟推送至设定位置，将石墨舟装载机构推送至取放口下方，石墨舟装载机构上升将石墨舟托起与推车分离，石墨舟装载机构上升至高度与反应腔体一致，石墨舟装载机构将石墨舟送入反应腔体内；下料：石墨舟装载机构将石墨舟从反应腔体内取出；推舟将石墨舟装载机构推送至取放口上方，石墨舟装载机构下降经过取放口后，石墨舟落于缓存架或推车上。

公开(公告)号：CN105299291A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201510714972.1

申请日：2015-10-29

申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

发明人： 詹辉 ,  谢振勇 ,  吴得轶

IPC分类号： F16K31/04 ,  F16L55/00

CPC分类号： F16K31/04 ,  F16L55/00

摘要： 本发明公开了一种用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，包括调整组件、支撑组件和锁紧组件，支撑组件固装于管道的端部法兰上，锁紧组件装设于支撑组件上，调整组件与蝶阀的转动轴连接并伸至锁紧组件处，调整调整组件并带动转动轴转动后锁紧组件锁紧调整组件。该装置具有结构简单、成本低廉、可大大提高整体工艺效果的优点。

公开(公告)号：CN219488497U

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202320284589.7

申请日：2023-02-22

申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

发明人： 丁杏 ,  张宇 ,  谢振勇

IPC分类号： B65G1/04 ,  B65G1/02

摘要： 本实用新型公开了一种基于磁耦合的传输装置，包括：导向定位机构、支撑架、磁力传输机构、货架和用于放置物料的皮带输送机构；导向定位机构设置在支撑架底部，用于实现支撑架与货架连接，磁力传输机构包括设置在支撑架上的主动磁力轮和第二驱动组件、以及设置在货架上的从动磁力轮和轮轴，从动磁力轮通过轮轴与设置在货架上的皮带输送机构连接；在第二驱动组件的驱动下，主动磁力轮转动以带动从动磁力轮旋转，并通过轮轴带动皮带输送机构运行，实现物料传送。本实用新型具有结构紧凑、稳定性高、传输效率高且清洁度高等优点，解决了因机械式齿轮对接结构复杂、稳定性不好而引起的传输效率和对接成功率低、泄漏的污渍对物料造成污染等问题。

公开(公告)号：CN204067313U

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201420383726.3

申请日：2014-07-11

申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

发明人： 谢振勇 ,  成秋云 ,  吴得轶 ,  李晔纯 ,  周顺峰

IPC分类号： H01L21/67

摘要： 本实用新型公开了一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备。为了解决现有的紫外光/臭氧表面清洗与氧化改性设备中存在的工艺时间过长，设备自动化程度不高的问题，所述表面清洗与氧化改性设备主要由上下料传送系统、预热腔、工艺腔、冷却腔、真空系统、紫外光光源系统、自动控制与监测系统组成。上下料传送系统采用链轮和链条带动滚轴，滚轴带动轴上小滚球转动的传动方式；预热腔、工艺腔与冷却腔紧凑连接，和上下料传送系统构成连续型结构；真空系统采用两个真空泵来快速地保持各腔室的真空环境。本实用新型样品清洗和氧化改性效果好，设备安全可靠，操作简单，自动化程度高，极大的提高了生产的质量和效率。

公开(公告)号：CN204138761U

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201420489774.0

申请日：2014-08-28

申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

发明人： 周顺峰 ,  李晔纯 ,  谢振勇 ,  吴德轶 ,  成秋云

IPC分类号： C23C16/00 ,  F27D1/18 ,  F27D19/00

摘要： 本实用新型公开了一种用于炉门的自动控制机构。所述用于炉门的自动控制机构包括至少一组控制机构单元；每组控制机构单元包括底座，固定安装在底座上的纵向移动机构，以及装在纵向移动机构上的横向移动机构；可沿着纵向移动机构纵向移动的所述横向移动机构上装有上支撑板，可沿着横向移动机构横向移动的该上支撑板通过一横向固定板与相应炉门的固定筒固定相连。本实用新型采用气缸控制的纵向移动可以保证炉门纵向垂直打开，且因为运用了导轨，工况平稳、安全，而且闭合时能够同时闭合，对电热炉的工作环境降到了最小，极大提高了成品率，提高了生产效率。

公开(公告)号：CN204138353U

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201420395633.2

申请日：2014-07-17

申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

发明人： 李晔纯 ,  成秋云 ,  吴得轶 ,  谢振勇 ,  周顺峰

IPC分类号： C01B33/021

摘要： 本实用新型公开了一种PECVD炉门精确控制机构。所述PECVD炉门精确控制机构包括底座，固定安装在底座上的纵向移动机构，以及装在纵向移动机构上的横向移动机构；可沿着纵向移动机构纵向移动的所述横向移动机构上装有上支撑板，可沿着横向移动机构横向移动的该上支撑板通过一横向固定板与炉门的固定筒固定相连；所述上支撑板上有竖向布置的腰孔，所述横向固定板通过两个穿过所述腰孔的紧固件固定在上支撑板上；所述上支撑板上还设有横向设置的定位凸台，该定位凸台上设有对横向固定板进行竖向定位的定位机构。由此，横向移动机构可以实现炉门的横向移动，再结合炉门上下的定位机构，实现了炉门位置的精确定位。