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公开(公告)号：CN118957543A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411452051.8
申请日：2024-10-17
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/52 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种PECVD设备石墨舟电极引入装置及电极引入控制方法，包括：驱动元件、支撑底座、固定座、滑动组件和电极杆，支撑底座的一侧与PECVD设备的炉尾法兰连接，支撑底座的另一侧设有驱动元件，驱动元件的输出端与固定座连接，支撑底座上设有滑动组件，固定座的下部与滑动组件连接，固定座的上部与电极杆连接，电极杆穿过炉尾法兰，伸入反应室内；在驱动元件的驱动下，固定座和滑动组件带动电极杆进行直线往复移动，以实现电极杆插入或脱离石墨舟的电极孔。本发明具有结构紧凑、体积小巧且拆装便捷等优点，在电极引入过程中，电极杆仅进行直线位移，无下压动作，不容易变形，也避免了电极杆与石墨舟冲击而造成石墨舟损耗。
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公开(公告)号：CN117102156A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202310938980.9
申请日：2023-07-27
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种石墨舟干法清洗装置及清洗方法，装置包括：清洗腔室、电极板、炉门、放电单元、真空单元、进气单元和光谱测试单元，石墨舟放置在清洗腔室内部进行清洗；清洗腔室的一端设有便于石墨舟进出的炉门，另一端与真空单元连接，以实现抽真空；清洗腔室外侧均布有多组放电单元，用于实现工艺气体在清洗腔室内部电离，以清洗石墨舟；清洗腔室底部设有进气单元和光谱测试单元，进气单元用于输送工艺气体至清洗腔室内部，光谱测试单元采用光谱法对清洗过程产生的等离子辉光进行监测，得到清洗前后的光谱变化，根据光谱变化判断石墨舟的清洗终点。本发明具有结构紧凑、操作便捷、清洗效率高且能够精准判定石墨舟清洗终点等优点。
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公开(公告)号：CN111754490B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202010598314.1
申请日：2020-06-28
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于视觉的石墨舟倒片检测方法、装置及系统，属于管式PECVD设备技术领域，用于解决目前倒片检测结构复杂、检测精度低的技术问题，此方法包括步骤：获取在石墨舟的不同位置采集的石墨舟图像；2)对各石墨舟图像进行图像处理，得到石墨舟图像中硅片边缘与较近的石墨舟槽边缘距离的较大距离值；3)基于较大距离值判断对应的石墨舟槽内的硅片是否存在倒片。本发明具有检测精度高、检测可靠性高等优点。
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公开(公告)号：CN110822903B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN201911182187.0
申请日：2019-11-27
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种电加热炉体，包括炉壳、隔热层、内腔体和加热装置，内腔体设于炉壳内，隔热层设于内腔体与炉壳之间，炉壳的两端分别设有端盖和炉门，加热装置包括至少一组环形布置的加热丝，加热丝设于隔热层与内腔体之间，加热丝由一根铠装电热丝沿圆周方向S形布置形成，铠装电热丝的两端各连接一个加热器冷端，加热器冷端固定在端盖上，各组加热丝沿轴向依次布置。本发明将内腔体即反应腔体跟炉壳做成一体式的炉体结构，免去是石英管的搬运和安装环节，用铠装电热丝代替原有结构的整个炉丝，降低炉丝的热容，免去复杂的绕丝和卡绝缘子，将用于与铠装电热丝接线的加热器冷端安装在端盖上，不在炉壳的外圆周面上，避免搬运安装过程中碰断。
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公开(公告)号：CN111041458B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201911413582.5
申请日：2019-12-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种连续式PECVD设备，所述包括载料板、进料平台、反应腔体和出料平台，反应腔体包括依次连接的装载腔、预热腔、工艺腔和卸载腔，装载腔的进料口设有第一隔断阀门，预热腔的的进料口设有第二隔断阀门，预热腔与工艺腔相通，工艺腔的出料口设有第三隔断阀门，卸载腔的出料口设有第四隔断阀门，进料平台设于装载腔的进料口，出料平台设于卸载腔的出料口，进料平台、装载腔、预热腔、工艺腔、卸载腔和出料平台上均设有用于传输载料板的传输机构，载料板用于承载石墨舟，预热腔和工艺腔均设有加热装置，工艺腔连有进气系统。本发明具有缩短了工艺时间、大幅提升了设备产能的优点。
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公开(公告)号：CN110373657A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910790369.X
申请日：2019-08-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明的管式PECVD设备压力控制装置，包括控制器、第一反应室、第二反应室、第一薄膜规、第二薄膜规、主抽泵和VAT阀，主抽泵分别通过第一、第二主管路与第一、第二反应室连接，第一主管路与第二主管路并联形成汇流管路，VAT阀设于汇流管路上，第一反应室与第二反应室之间设有并联的第一支管路和第二支管路，第一支管路上设有第一气动阀和第二气动阀，第二支管路上设有第三气动阀和第四气动阀，第一、第三气动阀为互锁阀，第二、第四气动阀为互锁阀，第一薄膜规设于第一支管路上并在第一、第二气动阀之间，且通过第一控制线路与VAT阀连接，第二薄膜规设于第二支管路上并在第三、第四气动阀之间，且通过第二控制线路与控制器连接。
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公开(公告)号：CN110284103A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910677899.3
申请日：2019-07-25
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C14/08 , C23C14/35 , H01L31/0224 , H01L31/0747 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种能量过滤磁控溅射镀膜装置、透明导电氧化物薄膜的制备方法及HJT电池，该装置包括真空室内相对设置的溅射靶材和衬底支架，衬底支架与溅射靶材的相对面上装设有需要镀膜的衬底，溅射靶材和衬底之间设置有平行于溅射靶材的过滤电极，过滤电极由若干个相互平行的金属线组成，金属线连接在衬底支架上。透明导电氧化物薄膜由上述装置制得。HJT电池中包含的透明导电氧化物薄膜由上述方法制得。本发明装置具有遮挡面积小、沉积速率高、靶材利用率高、成本低、适用范围广等优点，适合工业大规模生产推广，能够减少对衬底和透明导电氧化物薄膜的损伤，进而制备得到高质量透明导电氧化物薄膜以及具有优异电学性能的异质结电池。
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公开(公告)号：CN109612277A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811455653.3
申请日：2018-11-30
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种自适应真空密封炉门机构，包括炉门和连接板，炉门包括密封部和安装部，连接板上设安装孔，密封部活动地贯穿安装孔，安装孔下侧支撑于支撑滚珠上，安装孔的外周设有多组弹性压紧组件。其初始调节方法，包括步骤；调节各组支撑组件使炉门与炉体的轴心重合；对炉门进行初步预紧；关闭炉门，确定炉门夹紧于炉体上所需的夹紧行程；打开炉门，调节密封部密封面的上下俯仰角度和左右摆动角度，使炉门密封面与炉体的端面平行；再次调节各组弹性压紧组件，使各组弹性压紧组件的压缩程度一致；关闭炉门并将炉门按照设定的夹紧行程向炉体所在的一侧夹紧。本发明具有结构简单、可靠，调节范围大，能够减少检修维护工作量等优点。
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公开(公告)号：CN109338333A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811455572.3
申请日：2018-11-30
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455 , C30B29/06 , C30B28/14
摘要： 本发明公开了管式LPCVD真空反应室，包括炉门、前端法兰、前支撑法兰、前密封组件、加热炉体、后支撑法兰、后密封组件、尾端法兰、内层石英管和外层石英管，加热炉体套于外层石英管上，前支撑法兰和后支撑法兰分别位于外层石英管的两端的外管壁上，前支撑法兰、加热炉体和后支撑法兰三者固定设置，炉门与前端法兰连接，前端法兰盖设于内、外层石英管的前端端口，前端法兰与外层石英管之间通过前密封组件连接，前密封组件固定在前支撑法兰上，尾端法兰设于内、外层石英管的后端，且尾端法兰与外、内层石英管之间通过后密封组件连接，后密封组件固定在后支撑法兰上。本发明具有拆卸维护更加简单、快捷，缩短了维护时间，经济效益显著的优点。
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公开(公告)号：CN105444571A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510886600.7
申请日：2015-12-07
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
CPC分类号： F27B17/0016 , F27D9/00 , F27D2009/0008 , F27M2003/01
摘要： 本发明公开了一种真空退火炉，包括炉管和套于炉管内的石英管，所炉管的前后两端分别设有前端盖和后端盖，石英管外壁与炉管内壁之间形成加热腔，石英管与前端盖和后端盖之间形成反应腔，后端盖上装设有伸入至反应腔内并延伸至前端盖附近的管内气冷吹扫组件，炉管上装设有与加热腔连通的管外气冷吹扫组件。该真空退火炉具有布局简单紧凑、使用环保、可大大提高降温速率的优点。
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