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公开(公告)号：CN111041458B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201911413582.5
申请日：2019-12-31
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种连续式PECVD设备，所述包括载料板、进料平台、反应腔体和出料平台，反应腔体包括依次连接的装载腔、预热腔、工艺腔和卸载腔，装载腔的进料口设有第一隔断阀门，预热腔的的进料口设有第二隔断阀门，预热腔与工艺腔相通，工艺腔的出料口设有第三隔断阀门，卸载腔的出料口设有第四隔断阀门，进料平台设于装载腔的进料口，出料平台设于卸载腔的出料口，进料平台、装载腔、预热腔、工艺腔、卸载腔和出料平台上均设有用于传输载料板的传输机构，载料板用于承载石墨舟，预热腔和工艺腔均设有加热装置，工艺腔连有进气系统。本发明具有缩短了工艺时间、大幅提升了设备产能的优点。
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公开(公告)号：CN110735130A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201911106895.6
申请日：2019-11-13
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/40 , C23C16/34 , C23C16/30 , C23C16/56 , C23C16/54 , H01L31/0216 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种制备背面钝化膜的管式PECVD设备及方法，该设备包括至少一个用于沉积AlOx膜的反应室，该室的进气口连通有N2O进气管、NH3进气管、TMA/Ar进气管和N2进气管，且该室的抽气口连通有真空泵，同时二者之间设有除尘装置；该设备还包括至少一个用于沉积SiON膜/SiNx膜的反应室，该室的进气口连通有N2O进气管、NH3进气管、N2进气管和SiH4进气管。采用上述管式PECVD设备制备背面钝化膜。本发明管式PECVD设备具有反应室搭配合理、除尘装置数量少、气路系统简单、易于维护、制造成本低等优点，用于制备背面钝化膜时能够显著提高钝化膜的钝化效果，有着很高的使用价值和很好的应用前景。
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公开(公告)号：CN110405658A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910566936.3
申请日：2019-06-27
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明公开了一种炉体装配工装及炉体装配方法，工装包括支座、转轴和转筒，所述转筒包括两个端座和多个支撑杆，所述多个支撑杆设于两个端座之间，且多个支撑杆呈环形均匀固定在端座上，所述两个端座穿设在转轴上，所述转轴可拆卸的安装在支座上。方法包括炉丝上工装、卡绝缘子、在炉丝上焊接引线、铺保温棉、炉体下工装、棉圈和端盖安装的步骤。本发明利用上述工装，可实现炉丝、绝缘子、引线、保温棉、炉壳等高质量和高效率安装。利用辅助装置确保了两端棉圈准确安装，大大降低棉圈安装过程的损坏。
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公开(公告)号：CN105483831A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510878226.6
申请日：2015-12-04
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C30B31/06
CPC分类号： C30B31/06
摘要： 本发明公开了一种用于减压扩散系统的二级密封装置，包括石英管，石英管的一端管口设有同心的内密封端面和外密封端面，内密封端面连接有一级密封门体并形成反应腔，外密封端面连接有二级密封门体并形成过渡腔，二级密封门体连接有用于防止二级密封门体压损外密封端面的顶推平衡组件。该二级密封装置具有结构简单可靠、可防止外密封端面的应力损伤的优点。
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公开(公告)号：CN117737696A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311764893.2
申请日：2023-12-20
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种CVD工艺设备的柔性尾气回收电路系统，包括加热单元、测温单元、加热开关单元和电子调节器，所述加热单元安装于所述尾气管路上，用于对尾气管路进行加热；所述测温单元安装于所述尾气管路上，用于检测所述尾气管路内的温度；所述测温单元与所述电子调节器相连，用于将检测的温度发送至电子调节器；所述加热开关单元的输入端与所述电子调节器相连，所述加热开关单元的输出端串联在所述加热单元的加热回路中，用于控制加热单元的开启与关闭。本发明能够将尾气管路的温度控制在设定在合理范围，来保证反应产物以气体形式进入尾气处理系统，而且具体过程全部自动完成，提高了系统的自动化水平。
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公开(公告)号：CN111979530B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202010885351.0
申请日：2020-08-28
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种PECVD设备的加热系统、加热控制方法及PECVD设备。加热系统包括炉体和半导体加热单元，炉体包括炉壳、炉体保温层、炉丝、反应管和媒介管道，半导体加热单元的热端设有热媒输出管和热媒输入管且冷端设有冷媒输出管和冷媒输入管，媒介管道设于炉丝与反应管之间，热媒输出管和热媒输入管分别与媒介管道的两端连接，冷媒输出管和冷媒输入管分别与媒介管道的两端连接。方法包括一次镀膜、主动降温、二次镀膜，利用半导体冷端冷媒主动对反应管吸热降温。设备包括预热箱和上述加热系统，预热箱内设有第一热媒管道，其两端分别与热媒输出管和热媒输入管连接。本发明采用半导体一个热源实现多种加热循环回路和多种冷却循环回路。
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公开(公告)号：CN112391611A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201910749095.X
申请日：2019-08-14
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/50
摘要： 本发明公开了一种等离子体增强原子层沉积镀膜装置，包括反应炉、第一进气支路和第二进气支路，所述反应炉一端设有用于进气的进气端盖，所述第一进气支路和第二进气支路均与所述进气端盖相连、且交替进气。本发明具有有利于使气体反应更加充分、膜层更加均匀、膜厚可以更加精准控制、减少环境污染等优点。
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公开(公告)号：CN108300981B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201711385277.0
申请日：2017-12-20
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/50
摘要： 本发明公开了一种用于石墨舟的预热箱，包括盖板、预热箱主体和加热元件，预热箱主体包括顶板、后侧板和底板，盖板包括左侧板、右侧板和前侧板，顶板、后侧板、底板与左侧板、右侧板和前侧板围成一个放置石墨舟的空腔，加热元件设于该空腔内，底板的左侧、右侧和前侧分别设有左侧增高梁、右侧增高梁和前侧增高梁，左侧板、右侧板和前侧板分别支承于左侧增高梁、右侧增高梁和前侧增高梁上，前侧增高梁与左侧增高梁和右侧增高梁之间预留石墨舟通道，顶板左端面与左侧板的内侧面共面，顶板的右端面与右侧板的内侧面共面，盖板、预热箱主体之间设有驱动盖板沿后侧板升降的升降驱动。本发明具有专门针对石墨舟进行加热、占用空间小的优点。
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公开(公告)号：CN105299291B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201510714972.1
申请日：2015-10-29
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于PECVD设备真空管道中蝶阀的调整锁紧装置，包括调整组件、支撑组件和锁紧组件，支撑组件固装于管道的端部法兰上，锁紧组件装设于支撑组件上，调整组件与蝶阀的转动轴连接并伸至锁紧组件处，调整调整组件并带动转动轴转动后锁紧组件锁紧调整组件。该装置具有结构简单、成本低廉、可大大提高整体工艺效果的优点。
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公开(公告)号：CN106546101A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610954401.X
申请日：2016-10-27
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： F27D1/18
CPC分类号： F27D1/1858
摘要： 本发明公开了一种扩散炉炉门装置，包括炉门执行结构、炉门支撑组件、炉门及与炉门连接的内石英门，还包括调节组件，所述调节组件包括调节柱及多个沿调节柱径向布置的延伸臂，所述调节柱安装于所述炉门的中心，相邻两延伸臂之间的夹角相等，延伸臂一端与所述调节柱固定连接，另一端安装有调节件，所述调节件与所述炉门相抵，所述炉门支撑组件一端与炉门执行结构连接，另一端与所述调节柱连接。本发明具有结构简单、调节方便、密封性好等优点。
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