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公开(公告)号:CN102446937A
公开(公告)日:2012-05-09
申请号:CN201110303506.6
申请日:2011-09-30
Applicant: 索尼公司
IPC: H01L27/146 , H04N5/225
CPC classification number: H01L27/14685 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14818 , H01L27/14843 , H04N9/045
Abstract: 本发明公开了固体摄像器件、固体摄像器件制造方法和电子装置。所述固体摄像器件包括:多个像素,各所述像素形成在半导体基板上并且包括光电转换单元和用于读出所述光电转换单元的信号电荷的单元;位于各所述像素上的滤色器;片上微透镜,所述片上微透镜由有机膜制成且位于与各所述像素对应的所述滤色器上;第一无机膜,所述第一无机膜形成在所述片上微透镜的表面上并具有比所述片上微透镜高的折射率;以及第二无机膜,所述第二无机膜形成在所述第一无机膜的表面上并具有比所述片上微透镜及所述第一无机膜低的折射率。至少所述第二无机膜在相邻的第二无机膜间的界面处不存在非透镜区域。本发明能够改善图像质量并且提高灵敏度特性。
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公开(公告)号:CN101887901A
公开(公告)日:2010-11-17
申请号:CN201010174450.4
申请日:2010-05-10
Applicant: 索尼公司
IPC: H01L27/146 , H04N5/335
CPC classification number: H04N5/335 , H01L27/1462 , H01L27/14632 , H01L27/14685
Abstract: 本发明涉及固态图像拾取装置及其制造方法、以及电子设备。这里公开了一种固态图像拾取装置,包括:固态图像拾取元件,其能够根据所接收的光的量而产生电荷;透镜,其布置在所述固态图像拾取元件的像素的上侧;保护膜,其覆盖所述透镜的上侧,并且其表面被平坦化;表面膜,其形成于所述保护膜的所述表面处,并且比所述保护膜的内部亲水性高。
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公开(公告)号:CN101853869A
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN201010140808.1
申请日:2010-03-24
Applicant: 索尼公司
IPC: H01L27/146 , H04N5/335 , H04N5/225
CPC classification number: H01L27/14627 , H01L27/14685 , H01L27/14843 , H04N5/2257 , H04N5/3728 , H04N9/045
Abstract: 本发明提供抑制了杂光和光斑的产生的固态成像装置、固态成像装置的制造方法以及电子设备。在本发明的固态成像装置(1)中,使用矩形形状的片上微透镜(19)将入射光汇集到形成在衬底(9)上的受光部(2)。另外,在片上微透镜(19)上部形成平坦化透镜层(20)。通过形成平坦化透镜层(20),在固态成像装置(1)的光入射面和空气的界面上不形成片上微透镜(19)这样的周期性构造,因此能够抑制由周期性构造体引起的反射衍射光的产生。由此,抑制了杂光或光斑的产生。另外,通过将片上微透镜(19)形成为矩形形状(或梯度折射率型),在使用了平坦化透镜层(20)的情况下也能够得到充分的集光特性,可提高灵敏度。
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公开(公告)号:CN101800234A
公开(公告)日:2010-08-11
申请号:CN201010111330.X
申请日:2010-02-02
Applicant: 索尼公司
IPC: H01L27/148 , H04N5/335 , H04N5/225
CPC classification number: H01L27/14818 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14843
Abstract: 提供能够将如OCB膜(43)这样的光刻胶图案层形成为期望图案、并提高成像图像的图像质量的固态成像装置及其制造方法、相机以及电子设备。在光刻胶膜(PR)的形成OCB膜(43)的部分的下方设置光反射膜(42)。由此在执行曝光处理时,被位于光刻胶膜(PR)下方的金属遮光膜(41)反射的曝光光被光反射膜(42)的下表面遮挡。在衬底(101)的成像区域(PA)中的受光面(JS)的上方设置使入射光(H)着色并透射到受光面JS的彩色滤光器(151)。使彩色滤光器(151)包含黑色素,以调整向受光面(JS)入射的光量。
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公开(公告)号:CN105308746B
公开(公告)日:2019-10-22
申请号:CN201480005896.0
申请日:2014-03-06
Applicant: 索尼公司
Abstract: 本发明涉及固态成像器件及其制造方法以及电子设备,所述固态成像器件被构造为能够使成像像素的倾斜入射光特性和相位差检测像素的AF特性都变得优异。所述固态成像器件包括:以矩阵的方式二维地布置的多个成像像素;和分散在所述成像像素之间的相位差检测像素。所述固态成像器件还包括:第一微透镜,所述第一微透镜以分别对应于所述成像像素的方式而形成;平坦化膜,所述平坦化膜形成在所述第一微透镜上且折射率比第一微透镜的折射率更低;和第二微透镜,所述第二微透镜仅在位于所述相位差检测像素上方的位置处形成在平坦化膜上。本发明例如能够应用于CMOS固态成像器件。
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公开(公告)号:CN106129077B
公开(公告)日:2019-05-10
申请号:CN201610626493.9
申请日:2012-03-07
Applicant: 索尼公司
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明涉及能抑制滤色器分离的成像装置和包括该成像装置的电子设备。该成像装置包括:多个光电转换元件;多个滤色器部件,所述多个滤色器部件包括第一滤色器部件和第二滤色器部件;遮光部,在截面图中,所述遮光部的至少一部分布置在所述第一滤色器部件与所述第二滤色器部件之间;以及粘合剂膜,在所述截面图中,所述粘合剂膜的至少一部分布置在所述第一滤色器部件与所述遮光部之间,其中,所述粘合剂膜的面对所述第一滤色器部件和所述第二滤色器部件的表面是非平坦的,且其中,所述粘合剂膜层的厚度小于所述遮光部的厚度。
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公开(公告)号:CN106098716B
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201610623971.0
申请日:2012-03-07
Applicant: 索尼公司
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14627 , H01L27/14685
Abstract: 本发明涉及能抑制滤色器分离的成像装置和包括该成像装置的电子设备。该成像装置包括:多个光电转换元件;多个滤色器部件,所述多个滤色器部件包括第一滤色器部件和第二滤色器部件;遮光部,在截面图中,所述遮光部的至少一部分布置在所述第一滤色器部件与所述第二滤色器部件之间;以及透明膜,在所述截面图中,所述透明膜的至少一部分布置在所述第一滤色器部件与所述遮光部之间,其中,所述透明膜的面对所述第一滤色器部件和所述第二滤色器部件的表面是非平坦的,且所述透明膜的厚度小于所述遮光部的厚度。
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公开(公告)号:CN105308746A
公开(公告)日:2016-02-03
申请号:CN201480005896.0
申请日:2014-03-06
Applicant: 索尼公司
Abstract: 本发明涉及固态成像器件及其制造方法以及电子设备,所述固态成像器件被构造为能够使成像像素的倾斜入射光特性和相位差检测像素的AF特性都变得优异。所述固态成像器件包括:以矩阵的方式二维地布置的多个成像像素;和分散在所述成像像素之间的相位差检测像素。所述固态成像器件还包括:第一微透镜,所述第一微透镜以分别对应于所述成像像素的方式而形成;平坦化膜,所述平坦化膜形成在所述第一微透镜上且折射率比第一微透镜的折射率更低;和第二微透镜,所述第二微透镜仅在位于所述相位差检测像素上方的位置处形成在平坦化膜上。本发明例如能够应用于CMOS固态成像器件。
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公开(公告)号:CN101853869B
公开(公告)日:2012-12-12
申请号:CN201010140808.1
申请日:2010-03-24
Applicant: 索尼公司
IPC: H01L27/146 , H04N5/225 , H04N5/3728 , H04N9/04
CPC classification number: H01L27/14627 , H01L27/14685 , H01L27/14843 , H04N5/2257 , H04N5/3728 , H04N9/045
Abstract: 本发明提供抑制了杂光和光斑的产生的固态成像装置、固态成像装置的制造方法以及电子设备。在本发明的固态成像装置(1)中,使用矩形形状的片上微透镜(19)将入射光汇集到形成在衬底(9)上的受光部(2)。另外,在片上微透镜(19)上部形成平坦化透镜层(20)。通过形成平坦化透镜层(20),在固态成像装置(1)的光入射面和空气的界面上不形成片上微透镜(19)这样的周期性构造,因此能够抑制由周期性构造体引起的反射衍射光的产生。由此,抑制了杂光或光斑的产生。另外,通过将片上微透镜(19)形成为矩形形状(或梯度折射率型),在使用了平坦化透镜层(20)的情况下也能够得到充分的集光特性,可提高灵敏度。
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公开(公告)号:CN102569315A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201110409373.0
申请日:2011-12-09
Applicant: 索尼公司
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14629 , H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/1464 , H01L27/14685 , H01L27/14687
Abstract: 在此公开固态成像器件、其制造方法和电子装置。所述固态成像器件包括:光阻挡层,其形成在光入射侧的像素区的有效像素区中以围绕每个像素的光电转换单元,并且以延伸方式形成至光学黑区;凹入部分,其在对应于光电转换单元的区域中形成以便由光阻挡层围绕;第一屈光率层,其形成在光阻挡层和凹入部分的表面上,并具有相对低的屈光率;第二屈光率层,其形成在第一屈光率层上以便埋入凹入部分中,并具有相对高的屈光率;以及防闪光层,其形成在光学黑区中的第一屈光率层上。
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