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公开(公告)号：CN113470896A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110775769.0
申请日：2021-07-09
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明公开了一种半膨胀微球囊表面集成可延展刺激电极方法，首先将水溶性胶带压覆在可延展刺激电极上方，并施加均匀的压覆力；然后向微球囊中充气或注入造影剂使微球囊达到半膨胀状态，并在微球囊表面均匀刷涂黏性硅胶作为微球囊与可延展刺激电极之间的粘附材料；接下来通过水溶性胶带将刺激电极从硅片上缓慢剥离，将刺激电极贴附在涂有黏性硅胶的微球囊目标位置，然后将整个微球囊置于烘箱中烘干黏性硅胶；最后将微球囊在热水中充分浸泡，确保水溶性胶带完全溶解，刺激电极点以及环形地电极完全暴露出来。该方法能保证可延展刺激电极随微球囊膨胀或收缩同步变形，满足微球囊较高的变形拉伸要求，具有重要的实用价值和创新意义。
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公开(公告)号：CN108333266B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201711452132.8
申请日：2017-12-28
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明公开了一种耐高压微型芯片式液相色谱，具体地说是一种在微流体芯片上集成进样器、色谱柱和检测器的耐高压微型液相色谱芯片，属于色谱分析领域。本发明利用微机电系统方法在微芯片上加工特殊设计的三层微流体通道网络来实现前述三项功能。具体而言，所述的集成式微型液相色谱芯片从下到上依次包括平面六通进样器层100、筛板层200和色谱柱层300。本发明在微芯片上将进样器、色谱分离柱、检测器等功能组件高度集成，采用集成微阀控制流路通/断，采用一种平面六通进样器实现精确进样，采用填充微通道进行色谱分离，采用集成检测器进行检测。功能组件高度集成的方式减小了柱外效应引起的谱带展宽并提高检测灵敏度；所有功能组件采用微加工方法一次成型，保证芯片耐受能力；液相色谱芯片体积小、重量轻，可便携至现场完成实时检测。
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公开(公告)号：CN109828141B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201910144732.0
申请日：2019-02-27
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： G01R19/00
摘要： 本发明公开了一种高灵敏度电压测量方法及装置，属于电子测量仪器领域。包括了电压测量芯片及信号处理电路，电压测量芯片包括了不低于两个，通过机械耦合梁或者静电耦合连接在一起的弱耦合谐振器、电压输入电极、检测电极和驱动电极。电压信号的输入将改变电压输入电极与谐振器形成的静电负刚度，从而改变弱耦合谐振器系统的总刚度，谐振器系统刚度的变化会使得谐振器能量分布出现急剧失衡，作为输出的两个谐振器的幅值比会剧烈变化，因此，以两谐振器幅值比作为输出可实现超高灵敏的电压测量；输出的两个谐振器都设计有两组检测电极，可实现对于单谐振器的振幅实现差分检测，不仅可以增强信号的强度还消除由驱动电极与检测电极之间存在的电势差引起的馈通电容信号干扰，可以大幅提升测量信号的稳定性与准确度。基于谐振式电压计的测量方法可实时对待测电压信号进行连续测量并且具有较强的抗干扰能力，弥补了数字电压表显示不连续、抗干扰能力差的缺点。
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公开(公告)号：CN109655674B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201910144728.4
申请日：2019-02-27
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 本发明涉及一种基于弱耦合微机械谐振器的微弱静电场测量装置及方法，属于微传感器技术(MEMS)领域。该电场强度测量芯片包括了通过机械耦合梁串联在一起的多个谐振器，电压输入电极、检测电极和驱动电极，通过桥型梁对多个谐振器进行弱耦合，该桥型耦合梁的设计可以释放由于加工过程中产生的轴向应力，保证了器件不受残余应力的影响。两个谐振器的输出信号均由两组检测电极检测引出并进行差分，增强信号的强度，消除由驱动电极与检测电极之间存在的电势差引起的馈通电容信号干扰，大幅提升测量信号的稳定性与准确度。谐振器两侧设计了大规模的梳齿阵容，均可用于敏感待测电场，提升了对待测电场强度的测量灵敏度，并保证了超高精度的静电场测量以及对环境噪声的抑制力。
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公开(公告)号：CN112066967A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010648228.7
申请日：2020-07-07
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： G01C19/5698 , G01C19/5776 , G01H9/00
摘要： 本发明属于微传感器领域，具体涉及一种新型基于MEMS技术的芯片级谐振式声光耦合固态波动陀螺。该陀螺将声表面行波模式敏感结构与谐振式微环谐振腔光学检测结构结合在一起应用于陀螺仪中，利用声光效应将一次声表面波与科氏力导致的二次声表面波振动引起器件晶体的机械应变转换成器件上刻蚀的光波导的折射率变化，使得在该波导中传输的光信号发生衍射，从而产生频率调制，同时利用谐振原理的微谐振腔剥离一次声表面波引入的频率变化，得到包含有外部角速度信息的输出信号。利用谐振式微环谐振腔的品质因数与检测分辨率成比例关系，提高接口检测分辨率的量级，在提升灵敏度、改善分辨率等多个方面同时优化陀螺仪的性能指标，实现其精度的提高。
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公开(公告)号：CN111657937A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010535628.7
申请日：2020-06-12
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： A61B5/0478 , C23C14/04 , C23C14/10 , C23C14/20 , C23C14/34
摘要： 本发明涉及一种基于自膨胀水凝胶的三维柔性神经微电极及制备方法，利用温度敏感水凝胶在一定温度环境下的体积自膨胀效应，设计一种具有三维凸起形貌的柔性神经微电极，相比现有的平面柔性神经微电极，本发明可进一步保证电极位点与大脑皮层表面紧密接触。主要结构包括高模量弹性基底层，中模量温敏水凝胶，低模量弹性基底层，聚合物衬底蛇形电极。本发明还提供了一种基于自膨胀水凝胶的三维柔性神经微电极的制备方法，使中模量温敏水凝胶被封装在两层不同模量的弹性基底层中间，转印聚合物衬底蛇形电极，使电极点位于图形化水凝胶正上方，以实现植入后温敏水凝胶自膨胀，驱动电极点发生面外变形，形成三维凸起结构。
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公开(公告)号：CN111498792A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010323520.1
申请日：2020-04-22
申请人： 西北工业大学
摘要： 本发明公开了一种基于材料热失配的MEMS器件刚度调节方法，属于微机电系统领域。所述MEMS器件包括结构层1和基底层2；结构层1为材料I，其在[TA，TB]温度范围的平均热膨胀系数为αI；基底层2为材料II，其在[TA，TB]温度范围的平均热膨胀系数为αII，且满足αI＜αII；所述结构层1与基底层2在温度TB时键合，然后降温至工作温度TA，且满足TB＞TA；所述结构层1上设计有悬浮结构3，键合后结构层1固定在基底层2上，改变工作温度TA即可实现悬浮结构3的刚度调节，且依据本专利提出的设计准则可使MEMS器件的刚度达到负值。本发明提出的方法可通过调节MEMS器件的工作温度来改变其刚度，与现有技术相比，无需装配步骤且可更精准地对刚度进行动态调节。
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公开(公告)号：CN110504860A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910768834.X
申请日：2019-08-20
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： H02N1/08
摘要： 本发明一种堆栈式旋转静电发电机，属于微能源系统，包括动力收集组件、轴承座板、固定圆筒、动圆盘组件、静圆盘、连接螺钉组件、油封轴承和旋转轴；动力收集组件固定于所述的旋转轴上，在外力的驱动下带动旋转轴、转轴上固定的动圆盘组件同步旋转，使动圆盘上的驻极体电极与静圆盘上的工作电极的正对面积发生周期性的变化，造成电容值周期性的变化，由此产生电信号并向外电路输出。输出的电能可应用于各类无线传感节点的供电或作为环境流体流速的实时监测。由于采用的是正、负驻极体间隔等间距排列，大大提高了动圆盘表面的荷电效率，提升了发电机的输出功率。
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公开(公告)号：CN107702967B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201710961334.9
申请日：2017-10-17
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： G01N1/31 , G01N33/533
摘要： 本发明公开一种基于微流控芯片的空间站用细胞样本自动预处理装置，该装置包括微流控芯片、芯片夹具、多通道流体驱动泵以及控制器。该装置能够适应空间站微重力环境，可单独使用或者集成于微流式细胞仪中。该微流控芯片可以实现一次性使用，即插即用，避免了人工的过多参与，方便使用。本发明的预处理装置具有两种样品预处理功能，通过对流体的控制实现样品的预处理操作，具有连续、高效的样品预处理效果。
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公开(公告)号：CN109828141A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910144732.0
申请日：2019-02-27
申请人： 西北工业大学
IPC分类号： G01R19/00
摘要： 本发明公开了一种高灵敏度电压测量方法及装置，属于电子测量仪器领域。包括了电压测量芯片及信号处理电路，电压测量芯片包括了不低于两个，通过机械耦合梁或者静电耦合连接在一起的弱耦合谐振器、电压输入电极、检测电极和驱动电极。电压信号的输入将改变电压输入电极与谐振器形成的静电负刚度，从而改变弱耦合谐振器系统的总刚度，谐振器系统刚度的变化会使得谐振器能量分布出现急剧失衡，作为输出的两个谐振器的幅值比会剧烈变化，因此，以两谐振器幅值比作为输出可实现超高灵敏的电压测量；输出的两个谐振器都设计有两组检测电极，可实现对于单谐振器的振幅实现差分检测，不仅可以增强信号的强度还消除由驱动电极与检测电极之间存在的电势差引起的馈通电容信号干扰，可以大幅提升测量信号的稳定性与准确度。基于谐振式电压计的测量方法可实时对待测电压信号进行连续测量并且具有较强的抗干扰能力，弥补了数字电压表显示不连续、抗干扰能力差的缺点。
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