公开(公告)号：CN1561277A

公开(公告)日：2005-01-05

申请号：CN02808891.3

申请日：2002-03-22

申请人： 埃克赛尔技术有限公司

发明人： 爱德里安·鲍耶尔 ,  麦戈汉·翁纳哥 ,  沃尔什·吉莉安 ,  马赫·凯亚·沃恩

IPC分类号： B23K26/12 ,  B23K26/38

CPC分类号： B23K26/073 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/12 ,  B23K26/123 ,  B23K26/125 ,  B23K26/127 ,  B23K26/142 ,  B23K26/1462 ,  B23K26/16 ,  B23K26/384 ,  B23K26/389 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/12 ,  B23K2103/172 ,  H05K3/0026 ,  Y10S438/94

摘要： 基片(16)加工形成例如孔。基片位于气体环境受到控制的腔室(15)内。传输控制参数，比如激光脉冲参数的加工激光束(13)，以获得所需的效果。气体环境可以得到控制，以控制孔的绝缘衬里的整体生长，从而不再需要后续的蚀刻和氧化物生长步骤。而且，可以以多道工序进行加工，以使热损伤最小，且获得其它所需的效果，比如特定的孔的几何形状。

公开(公告)号：CN1117648C

公开(公告)日：2003-08-13

申请号：CN96100566.1

申请日：1996-04-30

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 小山内肇

IPC分类号： B23K26/00

CPC分类号： B23K26/123 ,  B23K26/06 ,  B23K26/125 ,  G02B26/0825

摘要： 在本发明中，由能够弹性变形的材料制成的曲率可变反射器，利用由诸如空气之类的流体所提供的压力，响应于该流体压力变形为曲面镜，如此，可以高速步进地或平滑地改变入射会聚光学部件之激光束的直径。并且，根据工件的类型和厚度，通过步进或无级地控制流体压力，总可以用一个合适的激光束直径进行加工。