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公开(公告)号：CN106502081A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610808726.7
申请日：2016-09-05
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
Inventor： P·杜博瓦
CPC classification number: G04B31/08 , B81B2201/035 , B81C1/00674 , G04B15/14 , G04D3/0017 , B81B1/002 , B81C1/00087 , G04D3/0028
Abstract: 本发明涉及包含具有至少一个表面的硅基基底(1)的微机械钟表部件，所述表面的至少一个部分具有在微机械钟表部件的外表面处打开并包含摩擦学试剂(5)的孔(2)。本发明还涉及由硅基基底(1)制造微机械钟表部件的方法，所述硅基基底具有至少一个表面，该表面的至少一个部分通过摩擦学试剂(5)润滑，所述方法依序包括步骤：a)在所述硅基基底(1)的所述表面的所述部分的表面上形成孔(2)，b)在所述孔(2)中沉积所述摩擦学试剂(5)。
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公开(公告)号：CN106276772A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610465132.0
申请日：2016-06-23
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
CPC classification number: B81C1/00619 , B81B2201/035 , B81B2203/0384 , B81C1/00103 , B81C2201/0112 , B81C2201/0132 , B81C2201/0138 , B81C2201/014 , B81C2201/0188 , B81C2201/0198 , G04B13/02 , G04B13/026 , G04B13/027 , G04D99/00 , B81B7/0032 , B81B7/0074 , B81C1/00 , B81C1/00388
Abstract: 本发明涉及具有至少一个减少的接触面的硅基部件，所述硅基部件是由这样的方法形成的：所述方法结合了至少一个倾斜侧壁蚀刻步骤和竖直侧壁“博世”蚀刻，所述硅基部件特别是改进了由微加工硅基片形成的部件的摩擦性能。
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公开(公告)号：CN102471047B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201080032968.2
申请日：2010-07-20
Applicant: 宝玑表有限公司
Inventor： N.卡拉帕蒂斯
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00682 , B81B2201/035 , B81C1/00674 , B81C2201/0178 , Y10T29/49986
Abstract: 本发明涉及用于制备由增强的硅制成的微机械部件的方法，所述方法包括以下步骤：在硅晶片中微加工该部件或一组部件；在一个或多个步骤中在该部件的整个表面上形成二氧化硅层，以便获得为天然二氧化硅的厚度至少五倍的二氧化硅厚度；通过化学侵蚀除去二氧化硅层。
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公开(公告)号：CN103347809A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201280007435.8
申请日：2012-01-05
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
IPC: B81C99/00
CPC classification number: B81B1/006 , B81B2201/035 , B81C1/00634 , B81C99/0085 , Y10T74/19949
Abstract: 本发明涉及一种用单件材料生产微机械零件（11，21，31，41，51，61）的方法。该方法包括以下步骤：a）形成基材（1），所述基材包括用于制造所述微机械零件的负腔（3）；b）用材料的层（5）覆盖基材（1）的所述负腔；c）从基材（1）移除比所沉积的层（5）的厚度（e1）更大的厚度（e2），从而留下所述所沉积的层的位于所述负腔中的部分；d）移除基材（1），从而释放在所述负腔中形成的微机械零件（11，21，31，41，51，61）。
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公开(公告)号：CN101675392B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN200880014906.1
申请日：2008-02-15
Applicant: 百达翡丽日内瓦公司
CPC classification number: G04D3/00 , B81B2201/035 , B81C99/0085 , B81C99/0095 , G04B5/165 , G04B13/02 , G04B13/022 , G04B13/026 , G04B17/063 , G04D3/0069 , G04F7/08 , Y10T29/49579 , Y10T29/49581
Abstract: 本发明涉及一种时钟部件，诸如摆轮(1)、摆陀(12)或轮(20)，其包括根据微制造技术、诸如DRIE技术所制成的结构(2)。该部件特征在于其还包括形成在结构(2)中或外围、并且材料不同于结构(2)的至少一个部件(3)。该部件(3)通常是金属，并且使用结构(2)的腔(7)作为模具、通过电铸而形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101625542B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200910140230.7
申请日：2009-07-09
Applicant: 斯沃奇集团研究及开发有限公司
CPC classification number: G04D3/0069 , B81B2201/035 , B81C3/008 , B81C99/008 , G04B13/02 , Y10T29/49579 , Y10T29/49581
Abstract: 本发明涉及一种制造机械部件(51)的方法(1)，包括如下步骤：a)提供(3)由可微加工材料制成的基片(53)；b)借助于光刻法，在所述整个基片上蚀刻(5)包含所述部件的图案(50)；根据本发明，该方法还包括如下步骤：c)在所述部件上组装(13)卡夹(91)，使得所述部件(51)随时可被安装，而不必触碰到由可微加工材料制成的部分；d)将部件(51)从基片(53)上分离(11)以将所述部件安装到例如时钟机械装置的装置中。本发明涉及时钟制造领域。
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公开(公告)号：CN102627254A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210024520.7
申请日：2012-02-03
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C99/0085 , B81B2201/035
Abstract: 本发明涉及一种在单块材料上制造微机械部件(11，31，41)的方法。根据本发明，所述方法包括以下步骤：a)形成衬底(1，21)，该衬底包括用于待制造的所述微机械部件的凹腔(3，23)；b)在所述衬底(1，21)的一部分上形成牺牲层(5，25)；c)在所述衬底(1，21)上沉积用于形成萌发点的颗粒(6，26)；d)移走所述牺牲层(5，25)，以选择性地使所述衬底(1，21)的一部分没有任何颗粒(6，26)；e)通过化学气相沉积沉积第一材料(7，27)层，使得所述第一材料只在所述颗粒(6，26)保留的地方沉积；f)移走衬底(1，21)，以释放在所述凹腔中形成的微机械部件(11，31，41)。
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公开(公告)号：CN101038440B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200710085765.X
申请日：2007-03-14
Applicant: 劳力士有限公司
Inventor： C·绍奇
CPC classification number: C25D1/003 , B81B2201/035 , B81C99/0085 , B81C2201/032 , C25D1/20 , G03F7/00
Abstract: 本发明涉及用于以LIGA工艺制造单层或多层金属结构体的方法，其中将光致抗蚀剂层沉积在平坦金属衬底上，通过辐照或电子或离子轰击产生光致抗蚀剂模具，将金属或合金电镀在该模具中，将电铸的金属结构体从所述衬底脱离，并且从该金属结构体分离所述光致抗蚀剂，其中将所述金属衬底用作涉及形成金属结构体除了由所述衬底的平表面形成的表面以外的至少一个表面的媒介。
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公开(公告)号：CN101920928A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010200250.1
申请日：2010-06-09
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
CPC classification number: B81C99/008 , B81B3/0075 , B81B2201/035 , B81C1/00031 , B81C1/00087 , B81C1/00119 , B81C2201/0132 , B81C2201/032 , C25D1/003 , C25D1/20 , C25D5/022 , G04B13/022 , G04B13/026 , G04D3/0069
Abstract: 本发明涉及制造复合微机械部件(41，41’)的方法(1)，包括如下步骤：a)提供(10)基材(9，9’)，该基材包括由导电的可微加工材料制成的水平顶层(21)和水平底层(23)，顶层和底层通过电绝缘的水平中间层(22)彼此紧固；b)在顶层中蚀刻至少一种图案(26)直至中间层，以在基材内形成至少一个腔室(25)；c)在基材的顶部涂覆(16)电绝缘的涂层；d)有方向性地蚀刻(18)涂层和中间层，以将该涂层限制为只存在于在顶层形成的各垂直壁(51，52)上；e)通过将电极与基材的导电的底层连接进行电沉积(5)，以形成复合部件的至少一个金属部分(33，43，43’)；f)从基材释放复合部件。本发明涉及微机械部件领域，特别用于钟表机芯。
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公开(公告)号：CN101675392A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200880014906.1
申请日：2008-02-15
Applicant: 百达翡丽日内瓦公司
CPC classification number: G04D3/00 , B81B2201/035 , B81C99/0085 , B81C99/0095 , G04B5/165 , G04B13/02 , G04B13/022 , G04B13/026 , G04B17/063 , G04D3/0069 , G04F7/08 , Y10T29/49579 , Y10T29/49581
Abstract: 本发明涉及一种时钟部件，诸如摆轮(1)、摆陀(12)或轮(20)，其包括根据微制造技术、诸如DRIE技术所制成的结构(2)。该部件特征在于其还包括形成在结构(2)中或外围、并且材料不同于结构(2)的至少一个部件(3)。该部件(3)通常是金属，并且使用结构(2)的腔(7)作为模具、通过电铸而形成。
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