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公开(公告)号：CN106574850B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201580040874.2
申请日：2015-06-29
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
摘要： 一种具有磁致动器(1)的致动器/传感器布置，该磁致动器具有至少一个优选地电枢绕组方式的线圈(3)以及用作转子的磁体(2)，其中线圈(3)产生施加作用力的磁场(4)，并且在这种情况下，磁场在至少一个方向上(例如在Z方向上)向转子(2)施加作用力，其特征在于，传感器(6)被布置在线圈(3)与转子之间的力传递磁通量(7)中，该传感器检测转子在至少一个方向(例如沿Z方向(间隔致动器/转子))上的移动。本发明要求保护一种用于根据本发明的致动器/传感器布置的方法。
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公开(公告)号：CN109313020A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201680086023.6
申请日：2016-09-14
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
IPC分类号： G01B21/14 , G01B21/20 , G01B11/12 , G01B11/24 , G01N21/954
摘要： 本发明涉及用于测量孔、钻孔和通道的内壁几何形状的装置，这些孔、钻孔和通道可选地是沉头的且特别是用于工件的螺纹、销和铆钉连接，所述装置包括至少一个光学传感器，该光学传感器朝向内壁测量，并且能够被引入钻孔中以及通过进给/转动单元转动，其中，辅助件设置有通道且搁置在工件的表面上，所述传感器通过该通道进入沉头部和/或孔中。该装置的特征在于，辅助件的内壁设置有结构，且传感器在穿过辅助件时扫描所述结构。本发明还涉及对应的方法。
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公开(公告)号：CN108291820A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680065874.2
申请日：2016-08-12
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
摘要： 本发明涉及一种以非接触方式确定测量物体(1)的距离和/或位置的装置，所述装置具有导电测量物体(1)和传感器(3)，所述传感器尤其根据感应、电容性或涡流原理进行操作，其中所述传感器(3)包括测量装置(4)，其特征在于，由至少两个在空间上彼此分隔开的测量元件(5、5’、5”)形成所述测量装置(4)。此外，本发明还涉及相应的传感器(3)。
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公开(公告)号：CN105992929A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201480064945.8
申请日：2014-11-12
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
CPC分类号： G01B11/0608 , G01B11/026 , G01B2210/50 , G02B13/18
摘要： 描述了一种用于非接触式光学测距的装置，其包括：多色光源(3)、光分析单元(4)和测量头(5)，其中，测量头(5)包括光圈孔(6)和具有轴向色像差的光学透镜系统(12)。所述光学透镜系统(12)包括第一折射透镜(1)和第二折射透镜(2)，其中，折射透镜(1、2)中的至少一个具有至少一个非球面透镜表面(11)，并且第一折射透镜(1)和/或第二折射透镜(2)具有阿贝数为20≤νd≤41的光学材料。所述光学透镜系统(12)具有这样的轴向色像差，使得等于波长在450nm至700nm之间的光学透镜系统(12)的轴向焦点位移的测量范围(MR)在(包含)0.2mm至(包含)10mm之间。
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公开(公告)号：CN102656419B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201080052410.0
申请日：2010-11-22
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
CPC分类号： G01B21/045 , G01D3/0365 , G05B19/404
摘要： 一种用于对任意物体进行自动的3D测量、尤其是用于确定物体的几何尺寸的机器人，所述机器人具有由其支承的传感机构（2），其中为了使所述传感机构（2）相对于所述物体（7）运动，所述机器人和/或支承所述传感机构（2）的可运动的测量臂（1）、测量悬臂等描述了一轨道，其特征在于，所述传感机构（2）包括至少一个测量传感器（3）和至少一个补偿传感器（4），其中所述补偿传感器（4）相对于所述测量传感器（3）的位置是恒定的或已知的，其中所述补偿传感器（4）相对于参考件（6）或相对于已测量部件（7）的测量结果与所述参考件（6）或所述已测量部件（7）的已知轮廓之间的差异用作机器人运动的不准确性以补偿因不准确的机器人运动而导致的所述测量传感器（3）的测量误差。同样要求保护一种用于使用根据本发明的机器人的方法。
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公开(公告)号：CN102272557B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201080004324.2
申请日：2010-02-01
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
发明人： F·赫鲁布斯
IPC分类号： G01D5/20
CPC分类号： G01D21/00 , G01D1/00 , G01D5/2086 , G01D15/00
摘要： 一种位置传感器，包括两个线圈，第一线圈(发射线圈1)以特定频率供电，以致于所述第一线圈发射恒定的电磁场，而所述电磁场则通过第二线圈(接收线圈3)来接收和/或检测，其特征在于：所述第二线圈的轴线相对于所述第一线圈的轴线成一角度，优选地相对于所述第一线圈的轴线成90°角地设置。
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公开(公告)号：CN102066872B
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN200980122077.3
申请日：2009-04-21
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
CPC分类号： G01B21/042 , G01B21/08 , G01B2210/44
摘要： 本发明涉及一种用于校准厚度测量装置的方法，其中所述厚度测量装置在可以预先设定的测量方向(Z)上测量被测对象的厚度，所述厚度测量装置具有至少一个非接触式或者扫描式位移传感器(1，2)，其中将具有已知厚度和形状的参考对象(3)移动到所述至少一个位移传感器(1，2)的测量场的至少一个局部区域之中，所述方法能进行特别精确且简单的校准，该方法包括以下步骤：首先在可以预先设定的时刻tj或者根据所述参考对象(3)在所述测量场中的可以预先设定的位置Pj，由所述至少一个位移传感器(1，2)在所述参考对象(3)的第一表面上的至少两个可以预先设定的位置处记录至少两个独立的测量值，其中j＝1、2......；随后从在所述时刻tj或者根据所述参考对象(3)的位置Pj所记录的测量值确定所述参考对象(3)在所述测量场中的倾斜度或者空间位置；然后由所述至少一个位移传感器(1，2)在与所述第一表面相反的第二表面上或者在与所述第一表面相反的参考对象(3)表面区域上的位于所述测量方向(Z)上的另一个位置处记录另一个测量值，以便在所述测量方向(Z)上确定所述参考对象(3)的厚度值；接下来根据所述至少一个位移传感器(1，3)在所述时刻tj或者在所述测量方向(Z)上的位置Pj中的测量值来计算所述参考对象(3)的厚度值；最后对厚度计算值与所述参考对象(3)的已知厚度之差进行计算，以得到所述局部区域或者所述测量场中与位置和倾斜度或方位相关的修正值，从而能够在厚度测量过程中补偿所述至少一个位移传感器(1，2)在所述局部区域或者所述测量场中的几何误差和/或非线性度。
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公开(公告)号：CN103140741A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201180047277.4
申请日：2011-08-12
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
IPC分类号： G01D5/20
CPC分类号： G01B7/14 , G01D5/14 , G01R33/1223
摘要： 本发明涉及一种用于检测磁场的方法，特别用于通过连接到电子器件（5）的优选为椭圆形的软磁元件（2）来检测物体（3）的位置，其中电子器件用于测量软磁材料的阻抗，其特征在于，根据物体的位置来使用磁场，该物体位于关于软磁材料的装置中，软磁材料在其位置调整磁场，从而所述软磁材料的磁导率（μ）根据所述磁场并且从而根据所述物体（3）的位置（d）被调整。合适设计的设备（1）用于应用根据本发明的方法。
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公开(公告)号：CN102257362A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200980151573.1
申请日：2009-11-17
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
发明人： V·蒙德尼科夫
IPC分类号： G01D5/20
CPC分类号： G01D5/2033
摘要： 一种相对于传感器确定测量物体位置和/或位置变化的传感器配置，其中磁体(7)被分配给测量物体，该配置相对操作可靠的传感器来说制作成本较低，这样，所述传感器(1)具有第一导体(2)和与第一导体(2)并排配置的第二导体(3)，并且在第一导体和第二导体(2、3)的影响范围中配置软磁性膜(5、6)，所述软磁性膜的磁导率在磁场影响下产生变化并且影响第一导体和第二导体(2、3)之间的电磁耦合。本发明还涉及相关的方法。
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公开(公告)号：CN102066872A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980122077.3
申请日：2009-04-21
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
CPC分类号： G01B21/042 , G01B21/08 , G01B2210/44
摘要： 本发明涉及一种用于校准厚度测量装置的方法，其中所述厚度测量装置在可以预先设定的测量方向(Z)上测量被测对象的厚度，所述厚度测量装置具有至少一个非接触式或者扫描式位移传感器(1，2)，其中将具有已知厚度和形状的参考对象(3)移动到所述至少一个位移传感器(1，2)的测量场的至少一个局部区域之中，所述方法能进行特别精确且简单的校准，该方法包括以下步骤：首先在可以预先设定的时刻tj或者根据所述参考对象(3)在所述测量场中的可以预先设定的位置Pj，由所述至少一个位移传感器(1，2)在所述参考对象(3)的第一表面上的至少两个可以预先设定的位置处记录至少两个独立的测量值，其中j＝1、2......；随后从在所述时刻tj或者根据所述参考对象(3)的位置Pj所记录的测量值确定所述参考对象(3)在所述测量场中的倾斜度或者空间位置；然后由所述至少一个位移传感器(1，2)在与所述第一表面相反的第二表面上或者在与所述第一表面相反的参考对象(3)表面区域上的位于所述测量方向(Z)上的另一个位置处记录另一个测量值，以便在所述测量方向(Z)上确定所述参考对象(3)的厚度值；接下来根据所述至少一个位移传感器(1，3)在所述时刻tj或者在所述测量方向(Z)上的位置Pj中的测量值来计算所述参考对象(3)的厚度值；最后对厚度计算值与所述参考对象(3)的已知厚度之差进行计算，以得到所述局部区域或者所述测量场中与位置和倾斜度或方位相关的修正值，从而能够在厚度测量过程中补偿所述至少一个位移传感器(1，2)在所述局部区域或者所述测量场中的几何误差和/或非线性度。
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