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公开(公告)号：CN103140741B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201180047277.4
申请日：2011-08-12
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
IPC分类号： G01D5/20
CPC分类号： G01B7/14 , G01D5/14 , G01R33/1223
摘要： 本发明涉及一种用于检测磁场的方法，特别用于通过连接到电子器件（5）的优选为椭圆形的软磁元件（2）来检测物体（3）的位置，其中电子器件用于测量软磁材料的阻抗，其特征在于，根据物体的位置来使用磁场，该物体位于关于软磁材料的装置中，软磁材料在其位置调整磁场，从而所述软磁材料的磁导率（μ）根据所述磁场并且从而根据所述物体（3）的位置（d）被调整。合适设计的设备（1）用于应用根据本发明的方法。
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公开(公告)号：CN109313020B
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201680086023.6
申请日：2016-09-14
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
IPC分类号： G01B21/14 , G01B21/20 , G01B11/12 , G01B11/24 , G01N21/954
摘要： 本发明涉及用于测量孔、钻孔和通道的内壁几何形状的装置，这些孔、钻孔和通道可选地是沉头的且特别是用于工件的螺纹、销和铆钉连接，所述装置包括至少一个光学传感器，该光学传感器朝向内壁测量，并且能够被引入钻孔中以及通过进给/转动单元转动，其中，辅助件设置有通道且搁置在工件的表面上，所述传感器通过该通道进入沉头部和/或孔中。该装置的特征在于，辅助件的内壁设置有结构，且传感器在穿过辅助件时扫描所述结构。本发明还涉及对应的方法。
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公开(公告)号：CN105705905B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201480059316.6
申请日：2014-08-28
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
CPC分类号： G01B11/06 , G01B11/14 , G01B21/042 , G01B21/045 , G01B21/08 , G01B2210/44
摘要： 一种用于测量测量物体的厚度的方法，其中至少一个传感器从顶部对着所述物体进行测量，而至少一个其他传感器从底部对着所述物体进行测量，并且以传感器彼此的已知距离，根据公式D＝Gap‑(S1+S2)计算所述物体的厚度，其中D＝所述测量物体的厚度，Gap＝传感器之间的距离，S1＝顶部传感器至所述测量物体的上面的距离，而S2＝低部传感器至所述测量物体的下面的距离，所述方法的特征在于补偿由所述测量物体的倾斜和/或由所述传感器的位移和/或由所述传感器的倾斜造成的测量误差，其中所述位移和/或所述倾斜是通过校准来确定的，且所计算出的厚度或者所计算出的厚度轮廓被相应地校正。本发明还涉及用于应用所述方法的设备。
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公开(公告)号：CN101052860A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200680001153.1
申请日：2006-03-30
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
IPC分类号： G01D5/20
CPC分类号： G01D5/202
摘要： 本发明涉及一种非接触性的涡流传感器，具体用于检测基本上平的测试物(1)，其包括至少一能够在测试物(1)中感应涡电流(5)的传感线圈(4)。本发明的特征在于，当线圈(4)通过测试物(1)时，使线圈轴线(2)的方向基本上与测试物的表面法线(6)平行，并且可将测试物(1)基本平行于线圈轴线(2)经过传感线圈(4)，或者将传感线圈(4)经过测试物(1)。本发明还实现一种相应的方法，以致当测试物或传感线圈只通过一次时，产生一涡电流。
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公开(公告)号：CN105705905A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201480059316.6
申请日：2014-08-28
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
CPC分类号： G01B11/06 , G01B11/14 , G01B21/042 , G01B21/045 , G01B21/08 , G01B2210/44
摘要： 一种用于测量测量物体的厚度的方法，其中至少一个传感器从顶部对着所述物体进行测量，而至少一个其他传感器从底部对着所述物体进行测量，并且以传感器彼此的已知距离，根据公式D＝Gap-(S1+S2)计算所述物体的厚度，其中D＝所述测量物体的厚度，Gap＝传感器之间的距离，S1＝顶部传感器至所述测量物体的上面的距离，而S2＝低部传感器至所述测量物体的下面的距离，所述方法的特征在于补偿由所述测量物体的倾斜和/或由所述传感器的位移和/或由所述传感器的倾斜造成的测量误差，其中所述位移和/或所述倾斜是通过校准来确定的，且所计算出的厚度或者所计算出的厚度轮廓被相应地校正。本发明还涉及用于应用所述方法的设备。
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公开(公告)号：CN105612404A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201480047911.8
申请日：2014-07-04
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
CPC分类号： G01D5/20 , G01D5/2033 , G01D5/2241
摘要： 本发明涉及用于使用一磁场来进行路径或距离测量的电感传感器的传感器元件，该磁场根据到测量对象的距离而变化但在时间上是恒定的，其中薄铁磁材料被集成到基板中。此外，本发明涉及包含该传感器元件的传感器以及用于制造该传感器元件的过程。
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公开(公告)号：CN101052860B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200680001153.1
申请日：2006-03-30
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
IPC分类号： G01D5/20
CPC分类号： G01D5/202
摘要： 本发明涉及一种非接触性的涡流传感器，具体用于检测基本上平的测试物(1)，其包括至少一能够在测试物(1)中感应涡电流(5)的传感线圈(4)。本发明的特征在于，当线圈(4)通过测试物(1)时，使线圈轴线(2)的方向基本上与测试物的表面法线(6)平行，并且可将测试物(1)基本平行于线圈轴线(2)经过传感线圈(4)，或者将传感线圈(4)经过测试物(1)。本发明还实现一种相应的方法，以致当测试物或传感线圈只通过一次时，产生一涡电流。
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公开(公告)号：CN109313020A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201680086023.6
申请日：2016-09-14
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
IPC分类号： G01B21/14 , G01B21/20 , G01B11/12 , G01B11/24 , G01N21/954
摘要： 本发明涉及用于测量孔、钻孔和通道的内壁几何形状的装置，这些孔、钻孔和通道可选地是沉头的且特别是用于工件的螺纹、销和铆钉连接，所述装置包括至少一个光学传感器，该光学传感器朝向内壁测量，并且能够被引入钻孔中以及通过进给/转动单元转动，其中，辅助件设置有通道且搁置在工件的表面上，所述传感器通过该通道进入沉头部和/或孔中。该装置的特征在于，辅助件的内壁设置有结构，且传感器在穿过辅助件时扫描所述结构。本发明还涉及对应的方法。
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公开(公告)号：CN102066872B
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN200980122077.3
申请日：2009-04-21
申请人： 微-埃普西龙测量技术有限两合公司
CPC分类号： G01B21/042 , G01B21/08 , G01B2210/44
摘要： 本发明涉及一种用于校准厚度测量装置的方法，其中所述厚度测量装置在可以预先设定的测量方向(Z)上测量被测对象的厚度，所述厚度测量装置具有至少一个非接触式或者扫描式位移传感器(1，2)，其中将具有已知厚度和形状的参考对象(3)移动到所述至少一个位移传感器(1，2)的测量场的至少一个局部区域之中，所述方法能进行特别精确且简单的校准，该方法包括以下步骤：首先在可以预先设定的时刻tj或者根据所述参考对象(3)在所述测量场中的可以预先设定的位置Pj，由所述至少一个位移传感器(1，2)在所述参考对象(3)的第一表面上的至少两个可以预先设定的位置处记录至少两个独立的测量值，其中j＝1、2......；随后从在所述时刻tj或者根据所述参考对象(3)的位置Pj所记录的测量值确定所述参考对象(3)在所述测量场中的倾斜度或者空间位置；然后由所述至少一个位移传感器(1，2)在与所述第一表面相反的第二表面上或者在与所述第一表面相反的参考对象(3)表面区域上的位于所述测量方向(Z)上的另一个位置处记录另一个测量值，以便在所述测量方向(Z)上确定所述参考对象(3)的厚度值；接下来根据所述至少一个位移传感器(1，3)在所述时刻tj或者在所述测量方向(Z)上的位置Pj中的测量值来计算所述参考对象(3)的厚度值；最后对厚度计算值与所述参考对象(3)的已知厚度之差进行计算，以得到所述局部区域或者所述测量场中与位置和倾斜度或方位相关的修正值，从而能够在厚度测量过程中补偿所述至少一个位移传感器(1，2)在所述局部区域或者所述测量场中的几何误差和/或非线性度。
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