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公开(公告)号：CN110137203B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201910370969.0
申请日：2019-05-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L27/28
Abstract: 本发明提供了一种像素传感结构、传感装置及像素传感结构的形成方法。所述像素传感结构包括：衬底；第一晶体管，位于所述衬底表面，包括第一源电极、第一漏电极、第一有源层、第一顶栅电极和第一漏极金属层；所述第一晶体管为低温多晶硅薄膜晶体管或者非晶氧化物薄膜晶体管；第二晶体管，位于所述衬底表面，包括第二源电极、所述第一漏极金属层、第二底栅电极、第二顶栅电极和第二有源层；所述第二底栅电极与所述第一顶栅电极同层设置；所述第二有源层位于所述第二源电极与所述第一漏极金属层之间；所述第一漏极金属层与所述第一漏电极电连接。本发明提高了像素传感结构的开关速度，有效改善了传感装置的性能。
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公开(公告)号：CN111811700A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010527954.3
申请日：2020-06-11
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明涉及一种压力传感器、压力传感装置及其制备方法。所述压力传感器包括：衬底；薄膜晶体管，包括位于所述衬底表面的栅电极、覆盖所述栅电极的绝缘层、位于所述绝缘层表面的源电极和漏电极、以及覆盖所述源电极和所述漏电极的半导体层；压力敏感薄膜，位于所述半导体层表面；下触发电极，位于所述压力敏感薄膜背离所述半导体层的表面；隔离柱，位于所述下触发电极背离所述压力敏感薄膜的表面；柔性防静电薄膜，位于所述隔离柱上方；上触发电极，位于所述柔性防静电薄膜朝向所述下触发电极的表面。由本发明提供的压力传感器组成的压力传感装置能够提高读取速度，降低功耗。
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公开(公告)号：CN110137204A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910402350.3
申请日：2019-05-15
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及传感技术领域，尤其涉及一种有机薄膜晶体管型传感像素电路及微阵列芯片。所述有机薄膜晶体管型传感像素电路包括像素单元，所述像素单元包括：衬底；同层设置的第一底栅电极和第二底栅电极；覆盖所述第一底栅电极和第二底栅电极的底栅绝缘层；同层设置的第一源极、公共电极、第二源极，且所述公共电极位于所述第一源极与所述第二源极之间；第一有机半导体层；第二有机半导体层；覆盖所述第一有机半导体层和第二有机半导体层的顶栅绝缘层，且所述顶栅绝缘层的电容值大于所述底栅绝缘层；同层设置于的第一顶栅电极和第二顶栅电极。本发明不仅便于调控有机薄膜晶体管的阈值电压，而且有利于提升传感微阵列中传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN106123928B
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201610417269.9
申请日：2016-06-15
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01D5/12
Abstract: 一种基于有机薄膜晶体管反相器的传感器，包括电接触端子以及设置于衬底之上的第一有机薄膜晶体管和第二有机薄膜晶体管，所述第一有机薄膜晶体管作为负载元件，采用有机半导体层埋在栅绝缘层下面的顶栅底接触型结构，所述第二有机薄膜晶体管作为传感元件实现各类传感功能，采用有机半导体层暴露在外面的底栅底接触型结构，该第一有机薄膜晶体管和第二有机薄膜晶体管公用同一栅绝缘层，组成互补反相器，所述电接触端子与所述第一有机薄膜晶体管连接。较之于单一有机薄膜晶体管传感器而言，本发明极大地提升了传感器的稳定性和降低了传感器的功耗，具有稳定性好、功耗低、结构简单、加工工序简化和制造成本低的优点。
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公开(公告)号：CN103413891B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310370777.2
申请日：2013-08-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L51/40
Abstract: 一种用以改进结构性能的有机薄膜晶体管制备方法，其通过对栅绝缘层进行表面改性同时实现电极精细化和有机半导体层图形化，具体步骤为：1）在绝缘衬底之上制备栅电极；2）在绝缘衬底和栅电极之上制备栅极绝缘层；3）采用自组装单分子层修饰栅极绝缘层的上表面形成表面改性层；4）在表面改性层上打印精细化的源电极和漏电极；5）采用紫外光照射处于源电极与漏电极之间的沟道区域，除去该区域内的表面改性层；6）采用电极修饰材料修饰源电极和漏电极；7)在栅极绝缘层和电极修饰材料之上自组装形成图形化的有机半导体层。本发明与全溶液法加工工艺兼容，能有效降低成本，实现高效生产，提升有机薄膜晶体管的电学性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106129001A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610644886.2
申请日：2016-08-09
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: H01L27/1292 , H01L27/1222 , H01L51/0005 , H01L51/0512
Abstract: 本发明公开了一种阵列背板电路及其制备方法，所述阵列背板电路由驱动信号总线、数据信号总线、接地总线和若干单元电路组成，每一单元电路的结构包括：绝缘衬底、栅电极、共用电极、栅极绝缘层、源电极、漏电极、电极修饰材料、有机半导体层、层间绝缘膜、下层像素电极、显示材料和上层像素电极；所述的制备方法通过全溶液法实现所述阵列背板电路的器件的全部制作过程，按照加法工艺流程采用喷墨打印方法依次打印该阵列背板电路的各功能层，同时实现薄膜的图形化和过孔结构。本发明具有工艺简便、材料节省、滴定精确、易于大面积集成等优点，大大降低了设备和生产成本。
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公开(公告)号：CN103050626A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210525390.5
申请日：2012-12-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L51/10 , H01L51/30 , H01L51/40 , H01L29/786 , H01L29/49 , H01L21/336
Abstract: 一种溶液法电解质薄膜晶体管及其制备方法，该电解质薄膜晶体管为顶栅顶接触结构，包括绝缘衬底、半导体层、电解质绝缘层、源电极、漏电极和栅电极；其中，绝缘衬底位于电解质薄膜晶体管的最底层，半导体层位于绝缘衬底之上，电解质绝缘层覆盖于半导体层的部分上表面之上，源电极和漏电极分别制备在电解质绝缘层两侧的半导体层上并被电解质绝缘层隔开，栅电极制备在电解质绝缘层上；所述制备方法通过图案化光交联处理，并使用溶剂将部分电解质绝缘层处理掉，再进行单次真空蒸镀，利用表面高度差同时分别形成栅极、源极和漏极。本发明实现了低开态电压和大工作电流，并简化了加工工艺，降低了成本，适用于低成本的柔性电子技术。
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公开(公告)号：CN102832344A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210316399.5
申请日：2012-08-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种用于实现印刷柔性集成电路的互联、封装结构，其中基本单元晶体管为底栅底接触结构，所述互联、封装结构包括有绝缘衬底、器件互联层、栅电极、栅极绝缘层、源漏电极、半导体层、缓冲层和封装层，其中，绝缘衬底位于所述互联、封装结构的底层，器件互联层位于绝缘衬底之上，栅电极位于器件互联层之上，栅极绝缘层覆盖器件互联层和栅电极，源漏电极位于栅极绝缘层之上，半导体层覆盖源漏电极电极之间的沟道区域，缓冲层覆盖栅极绝缘层、源漏电极和半导体层，封装层位于缓冲层之上且在整个互联、封装结构的顶层。本发明采用全溶液法制备，极大地节约了成本，同时具有散热性好、半导体层得到充分保护以及底栅底接触结构晶体管易于集成的优点。
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公开(公告)号：CN115112743B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202210796636.6
申请日：2022-07-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N27/416 , G01N27/49 , G01N27/27 , G01N27/30 , G01N27/327 , G01K7/18
Abstract: 本发明涉及传感电路技术领域，尤其公开了一种基于有机晶体管微阵列的气体和生物分子传感芯片，包括集成在同一芯片上的有机电化学晶体管(简称OECT)气体分子传感像素单元、OECT生物分子传感像素单元、pH传感像素单元、温度传感像素单元，所述上述像素单元包括开关晶体管；覆盖所述第一有机半导体层的第一封装层；覆盖于第一封装层的防水层；所述OECT气体分子传感像素单元、OECT生物分子传感像素单元还包括有机电化学晶体管。本发明具有的有益效果是：实现了在同一基底上OFET与OECT的异质集成，并结合温度、pH值，对多种气体分子、生物分子进行检测，提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN109752423B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN201910053174.7
申请日：2019-01-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N27/26 , G01N27/327
Abstract: 本发明公开了一种基于有机薄膜晶体管阵列的尿酸传感器，涉及尿酸技术领域，包括若干传感单元，任意所述传感单元包括有机薄膜晶体管和活性电极；其特征在于，所有传感单元构成N行和M列的传感单元阵列；任意所述列的所有行的所述传感单元相同，且某所述列中的所有行的所述传感单元均用于测试所述待测溶液中尿酸的浓度，其余M‑1所述列中的所有行的所述传感单元的每列分别用于测试待测溶液中M‑1种所述尿酸干扰物质浓度。本发明还公开了所述尿酸传感器的控制方法，通过一次测试快速获取所有N×M列所有传感单元的测试数据，原理简单，方法快捷方便，特别适用于准确检测人体血液和其他体液中的尿酸浓度。
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