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公开(公告)号：CN102433533B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201110441968.4
申请日：2011-12-26
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种制备高分子功能薄膜的真空喷射镀膜机，包括电控系统、喷射系统和系统支架，系统支架下部固定安装有抽气系统，抽气系统通过预抽管道和高真空管道连接一个带有观察窗和盲法兰的真空喷射室，真空喷射室内设置有可往复移动的移动基片加热转台，将溶液喷射到基片上实现喷射镀膜的喷射系统设置在真空喷射室侧部，喷射系统的喷嘴伸入真空喷射室内并对准固定在移动基片加热转台上的基片，电控系统通过导线与测量装置、基片加热转台相连。该镀膜机生产效率高，能实现高质量高分子功能薄膜的制备且成本低，可用于开发纳米级单层及多层功能薄膜、梯度薄膜、半导体薄膜、导电薄膜等。
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公开(公告)号：CN101457758B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN200810228430.3
申请日：2008-10-31
Applicant: 东北大学 , 成都南光机器有限公司
IPC: F04D19/04
Abstract: 本发明涉及一种增强排气型复合分子泵，涉及真空技术领域，包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子，转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成，光轴与转子体连接，转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方，螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子，增强排气级转子为光板；涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片，螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子，增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。并汇集了拖动气体分子运动和涡轮分子的原理，通过这种结构设计达到具有大抽速、高真空能力和增大排气能力的复合分子泵，该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。
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公开(公告)号：CN102176511A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201010563709.4
申请日：2010-11-29
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种液态金属微滴分子结的制备方法，清洗导电基片、制备锡溶胶后，旋涂溶胶成膜，进行热处理，配制TZ2的二氯甲烷溶液，进行裂隙填充；真空干燥获得有机分子层后，制作镓铟液滴微纳电极，所制备的分子结的尺寸为500～1000纳米。本发明方法通过调整金属氧化物薄膜旋涂的时间和转速，使薄膜平均厚度控制在100～200纳米，调整退火温度及升温速率，控制薄膜内形成裂隙的宽度和密度，使经过退火后胶状层的裂隙平均宽度为500～1000纳米，使进入裂隙内的有机功能分子极大减少，分子结的尺寸取决于与液态金属微滴接触的裂隙内分子层尺寸，使分子结尺度由几十微米级减小到了亚微米甚至百十纳米级范围内。
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公开(公告)号：CN101985937A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN201010565664.4
申请日：2010-11-30
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
Abstract: 本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种三轴爪型真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，所述的主轴两侧均设有一根装配爪型转子和从动齿轮的从动轴。不仅提高了泵的工作效率和抽气效率，还增强了泵工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN101392748A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810228432.2
申请日：2008-10-31
Applicant: 东北大学 , 成都南光机器有限公司
Abstract: 一种卧式干式真空泵，涉及真空技术，它针对现有真空设备不能同时满足高真空和直排大气的技术弊病。公开一种卧式干式真空泵，包括主泵体，电机、转子和定子，定子由牵引定子和旋涡定子组成，牵引定子包括螺旋肋筋和螺旋槽，旋涡定子由两个半圆空腔对接构成，旋涡定子的最外级设有排气道；转子由牵引转子、螺旋转子和旋涡转子组成，牵引转子为盘形，牵引转子的上平面设有一凸台，凸台圆周外侧具有环形圆板，螺旋转子外表面设有径向螺旋叶，旋涡转子为叶轮形式，在旋涡转子的圆周上设有沟槽，沟槽之间用薄板隔开。该泵用于获得真空环境，且可从大气压开始工作，直至将环境压力抽至高真空段，避免了使用真空机组获得高真空环境所带来的一系列问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100467664C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200510047679.0
申请日：2005-11-11
Applicant: 东北大学
IPC: C23C16/26 , C23C16/505 , C23C16/513
Abstract: 本发明提供了一种射频等离子体增强化学气相沉积方法，先在基底上沉积一层金属层，依次在金属层上沉积其氮化物层或者碳化物层，再在氮化物或者碳化物层上沉积类金刚石碳膜。本发明还提出了一种用该方法制造的带复合型包覆层的部件，部件的基材可以是金属、陶瓷、玻璃和有机树脂材料。本发明相应地提出了一种实施射频等离子体增强化学气相沉积方法的装置，该装置安装有至少一个金属溅射源，并把真空室分为等离子体生成室和等离子体处理室两个相连通的空间。在等离子体处理室内安有一对大面积的电极板，以确保镀层的均匀性和各向同性。通过调节电压、电流和真空室内Ar、N2和含碳气体组分，可沉积高附着力的类金刚石碳膜。
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公开(公告)号：CN101182845A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200710158763.9
申请日：2007-12-07
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种干式真空泵，涉及真空技术，它针对现有真空设备不能同时满足高真空和直排大气的技术弊病。公开一种干式的真空泵，它包括有机座，与机座相连的电机，其特征是机座上设有定子盘，定子盘上设有与电机轴相连的转子盘，转子盘上设与电机轴相连的螺旋转子，螺旋转子上方设有与定子盘相连的压盖，压盖上平面设有吸气口，定子盘腹内设有排气道，排气道与排气口相连。该真空泵具有高真空能力和能够直排大气，效率高，体积小，造价低的优点。
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公开(公告)号：CN114607599B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202011447652.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种多级罗茨真空泵，包括罗茨泵腔、隔板、罗茨转子、第一封盖、第二封盖和转子轴，其中罗茨泵腔和隔板交错设置，每个罗茨泵腔中均设有罗茨转子，罗茨泵腔包括可拆装的泵腔上部和泵腔下部，且罗茨泵腔上侧设有进气槽、下侧设有排气槽，隔板包括可拆装的隔板上部和隔板下部，且隔板内设有气体通道，并且所述气体通道一端设有隔板排气口与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，另一端设有隔板进气口与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，第一封盖设有进气腔与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，第二封盖设有排气腔与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，罗茨转子包括多个可拆装的半转子。本发明方便灵活拆装调节且增大了进排气口面积。
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公开(公告)号：CN109737034B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN201910109694.5
申请日：2019-02-11
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于干式真空泵系统领域，尤其涉及一种含有泵前冷凝器的干式真空系统。该系统包括真空泵单元和泵前冷凝单元，所述泵前冷凝单元包括泵前冷凝器，所述泵前冷凝器包括五个端口；泵前冷凝器的第一端口通过物料进管与真空物料入口连接，第二端口通过第一物料管与真空泵单元连接，第三端口与冷凝液排出管连接，第四端口和第五端口分别通过第三冷冻盐水出管和第三冷冻盐水进管与第三冷冻盐水出口和第三冷冻盐水入口连接。本发明提供一种含有泵前冷凝器的干式真空系统，该系统中在真空泵之前设置泵前冷凝器，作为可凝性气体的捕集单元，改善真空泵及管路容易产生积水现象。
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公开(公告)号：CN114607603A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011445863.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法，转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段，并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙，转子设计方法包括如下步骤：步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线；步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理，形成平直段ef；步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构；步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构；步骤五、调整平直段ef的长度，进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态，降低转子泄露，且间隙设计可调。
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